Studies of Selectivity and RIE-lag in Deep Small Contact Hole Etching for Sub-100nm Devices (100nm급 이하 소자에서 Deep Small Contact Hole Etching시 선택비와 RIE-lag 에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 2002.06a
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- pp.172-173
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- 2002