Effect of pH in Sodium Periodate based Slurry on Ru CMP (Sodium Periodate 기반 Slurry의 pH 변화가 Ru CMP에 미치는 영향)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- pp.117-117
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- 2008