• 제목/요약/키워드: Cold Chamber

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Ion Beam Assisted Deposition System의 제작 및 자동화

  • 손영호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.27-27
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    • 1998
  • 진공기술의 응용과 진공환경의 이용은 더 이상 논하지 않더라도 산업 전반에 그 충요성이 점점 더 커가고 있다. 이러한 여건에도 불구하고 진공율 이용하는 system 개밟의 국산화는 수 입하는 system으$\mid$ 수에 비하여 절대적으로 부족하며, 또한 개발하는 system의 자동화는 거의 이 루어지지 않고 있으며, 자동화된 진공판련 system은 거의 대부분 수입에 의흔하고 있다. 실험 실 규모에서부터 System올 하나하나 개밭하고, 이톨 자동화하는 노력과 일이 진행됨다면 산업 응용에 있어서도 자연스럽게 자동화된 system으$\mid$ 개발이 이루어 질 것이다 .. system 자동화는 상 품수명의 단축과 이에 따른 다품종 소량을 요구하는 시장수요에 대응하고, 인력절감과 고풀짙 화로 생산성 향상의 요구에 대응하기 위하여 필요하다. 본 연 구에 서 는 e-beam evaporator로 evaporation하면 서 ion beam으로 assist하여 thin film율 제 작하는 IBAD vacuum system율 싫 계 및 제 작하고[1,2], PLC[3,떼톨 이 용하여 system 자동화톨 하였다 .. thin film 제작 process는 먼저 기본 진공상태로 만뚫고 난 뒤, e-beam evaporator로 e evaporation하면서 ion beam source로 assist하여 substrate 011 thin film율 제조한다 226;. thin film올 제 조하면서 thickness monitor로 sample의 thickness rate톨 control 하고, sample의 균얼성과 밀착 성을 고려하여 substrate톨 rotation 및 heating 할 수 있도록 싫계, 제작하였다. 양질의 박막올 제조하기 위해서 진공환경이 좋은 상태로 제공되어야 한다. 이톨 위하여 oil free operation 0 I 가 능한 dry pump와 turbo molecular pump로 고진공 배기 하였다. 진공도의 흑점은 thermal effect 툴 고려하여 cold cathode ion gauge률 사용하였고, intro chamber와 main chamber 사이에는 g gate valve톨 설치하여 벌도로 운용되도록 하였다. 이러한 process를 박막의 두께, 진공도, 시 간, 온도, 공정 동의 조건올 기훈으로 자동화한 것이다. 또한 정전과 단수에 대한 interlock 기능 도 고려하였다.하였다.

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SiH$_4$를 이용한 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향 (The Effect of Pressure Increase on the Deposition of Tungsten by CVD using SiH4)

  • 박재현;이정중;금동화
    • 한국표면공학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.3-9
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    • 1993
  • Chemical vapor deposited tungsten films were formed in a cold wall reactor at pressures higher (10~120torr) than those conventionally employed (<1torr). SiH4, in addition to H2, was used as the reduction gas. The effects of pressure and reaction temperature on the deposition rate and morphology of the films were ex-amined under the above conditions. No encroachment or silicon consumption was observed in the tungsten de-posited specimens. A high deposition rate of tungsten and a good step coverage of the deposited films were ob-tained at 40~80 torr and at a temperature range of $360~380^{\circ}C$. The surface roughness and the resistivity of the deposited film increased with pressure. The deposition rate of tungsten increased with the total pressure in the reaction chamber when the pressure was below 40 torr, whereas it decreased when the total pressure ex-ceedeed 40 torr. The deposition rate also showed a maximum value at $360^{\circ}C$ regardless of the gas pressure in the chamber. The results suggest that the deposition mechanism varies with pressure and temperature, the surface reac-tion determines the overall reaction rate and (2) at higher pressures(>40 torr) or temperatures(>36$0^{\circ}C$), the rate is controlled by the dtransportation rate of reactive gas molecules. It was shown from XRD analysis that WSi2 and metastable $\beta$-W were also formed in addition to W by reactions between WF6 and SiH4.

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Flow Characteristics of An Atmospheric Pressure Plasma Torch

  • Moon, Jang-H.;Kim, Youn-J.;Han, Jeon-G.
    • 한국표면공학회지
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    • 제36권1호
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    • pp.69-73
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    • 2003
  • The atmospheric pressure plasma is regarded as an effective method for surface treatments because it can reduce the period of process and doesn't need expensive vacuum apparatus. The performance of non-transferred plasma torches is significantly depended on jet flow characteristics out of the nozzle. In order to produce the high performance of a torch, the maximum discharge velocity near an annular gap in the torch should be maintained. Also, the compulsory swirl is being produced to gain the shape that can concentrate the plasma at the center of gas flow. In this work, the distribution of gas flow that goes out to atmosphere through a plenum chamber and nozzle is analyzed to evaluate the performance of atmospheric pressure plasma torch which can present the optimum design of the torch. Numerical analysis is carried out with various angles of an inlet flow velocity. Especially, three-dimensional model of the torch is investigated to estimate swirl effect. We also investigate the stabilization of plasma distribution. For analyzing the swirl in the plenum chamber and the flow distribution, FVM (finite volume method) and SIMPLE algorithm are used for solving the governing equations. The standard k-model is used for simulating the turbulence.

$SF_6$ 가스의 실제 기체특성을 고려한 파퍼식 가스차단기 내의 냉가스 유동해석 (Analysis of Cold Gas Flow in Puffer Type GCB Considering the Real Gas Property of $SF_6$)

  • 김홍규;정진교;박경엽
    • 대한전기학회논문지:전기기기및에너지변환시스템부문B
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    • 제53권3호
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    • pp.129-134
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    • 2004
  • To analyze the performance of the gas circuit breaker(GCB), the flow field variables such as temperature, pressure and density should be evaluated accurately In the puffer chamber of puffer type GCB, the pressure rise may Exceed 20 bar and in this range of high pressure, $SF_6$ gas deviates the ideal gas property. Therefore, the real gas property of $SF_6$ should be taken into consideration for the accurate analysis of flow field. This paper presents the analysis technique of cold gas flow in GCB employing the real gas state equation of SF6. The FVFLIC method is Employed to solve the axisymmetric Euler equation. To reduce the computational effort of real gas state equation, the relationship between density and pressure is approximated by the polynomial at the temperature of 300K. The proposed method is applied to the test GCB model and simulation results show good agreement with the experimental ones.

상온기체 모사장치를 이용한 가변추력 고체추진기관의 압력제어 연구 (A Study on Pressure Control for Variable Thrust Solid Propulsion System Using Cold Gas Test Equipment)

  • 이호성;이도윤;박종승;김중근
    • 한국항공우주학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.76-81
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    • 2009
  • 본 논문에서는 가변 추력 고체추진기관을 모사할 수 있는 상온기체 시험장치를 이용하여 고체추진기관의 연소실 압력을 능동적으로 제어할 수 있는 비선형 압력 제어알고리듬을 제안하였다. 제안된 제어기법은 고체추진기관의 비선형성과 시변성을 고려하여 설계되었으며, 압력 및 온도조건 등에 따른 물리적 변수들의 변화를 적응제어 알고리듬을 통하여 보상하였다. 비선형 압력제어 알고리듬의 효과를 상온기체 모사장치를 이용한 압력제어 실험을 통하여 검증하였으며, 실험결과 일반적인 비례 제어기 및 비례-적분 제어기에 비하여 제안된 제어기법이 더 좋은 압력제어 성능을 보임을 확인하였다.

일렬형 다중 인젝터를 가진 분리형 헤드 제작 및 검증시험 (Design and Verification of a Injector-Head with Multiple Injectors Arranged in a Row)

  • 유이상;최지선;신동해;박진수;고영성;김선진
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2017년도 제48회 춘계학술대회논문집
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    • pp.1016-1020
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    • 2017
  • 본 연구는 실물형 발사체 연소실에서 발생하는 연소불안정을 모사하여 검증하는 시험 설비의 개발을 위해 진행됐다. 연소불안정 모사시험설비 개발을 위해 3개의 인젝터를 일렬로 배치한 분리형 헤드 엔진을 설계/제작했으며, 예비운영을 통해 검증했다. 분리형 헤드에 대한 수류시험을 통해 차압에 따른 유량과 분무형태를 확인했으며, 실추진제 분무시험와 연소시험이 진행됐다. 10bar에서 예비운용시험을 진행하였으며, 연소 시험 결과 연소실 압력이 목표 압력에 비해 상당히 낮게 계측되었다. 이는 저압 시험이었기 때문으로 판단되며, 향후 고압 시험에서 해결될 것으로 예상된다.

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핀틀 형상 및 위치에 따른 추력 성능 (Thrust performance at the various pintle shapes and positions)

  • 김중근;이지형;장홍빈
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2008년도 제31회 추계학술대회논문집
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    • pp.89-93
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    • 2008
  • 핀틀 형상과 위치가 고체 추진기관의 추력 성능에 미치는 영향을 공압 시험과 수치해석 기법으로 평가하였다. Fluent 해석 결과, Spalart-Allmaras 모델이 공압 시험에 얻은 노즐벽면 압력을 잘 모사하는 것으로 나타났다. 핀틀로 노즐목 크기를 감소시키면 추력은 증가하였으며, 핀틀 직경이 커질수록 핀틀 팁에 나타나는 재순환 영역의 압력에 의한 추력은 증가하지만 노즐 및 연소실 압력에 의한 추력은 감소하여 총 추력은 핀틀 직경이 작은 것 보다 감소하였다.

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초등학교 저학년 아동의 체온조절반응 -일본아동과 한국아동의 비교- (Thermo-physiological Responses of the Lower Grade Elementary School Children -A Comparison Between Japanese and Korean Children-)

  • 김성희;이욱자;전촌후자
    • 한국의류학회지
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    • 제29권12호
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    • pp.1527-1534
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    • 2005
  • 본 연구는 아동의 체온조절반응의 특징에 성장환경이 어떠한 영향을 미치는가를 명확히 하기 위해, 한국아동(K group)과 일본아동(J group)의 체온조절반응을 검토하였다. 팬츠 착용의 피험자는 중립환경 $(28.5^{\circ}C)$에서 1시간, 추운환경$(22^{\circ}C)$ 또는 더운환경$(37^{\circ}C)$으로 옮겨져 1시간 동안의 체온조절반응이 검토되었다. 그 결과, 직장온은 환경온이 높아짐에 따라 약간 높아졌으며, K group의 직장온이 J group보다 약간 높았다. 추운환경에서의 손과 발의 피부온은 현저히 저하되었으며, J group보다 K group에서 더 현저히 나타났다. 그리고, 두 group의 절대 국소 증발량은 환경온 $22^{\circ}C$$28.5^{\circ}C$에서 비슷한 분포를 나타내는 반면, 환경온 $37^{\circ}C$에서는 J group은 몸 전체에서 발한을 나타냈으나 K group은 사지보다 몸통부위의 발한량이 많았다. 맥박은 환경온의 상승에 따라 높아졌으며, J group의 맥박이 K group보다 더 높았다.

오픈형 스월 인젝터의 스월 챔버 형상 변화에 따른 동특성 연구 (Study on the Dynamic Characteristics of Open Type Swirl Injector with Varyng Swirl Chamber Geometry)

  • 김현태;정연재;정석규;윤영빈
    • 한국항공우주학회지
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    • 제43권7호
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    • pp.619-625
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    • 2015
  • 스월 인젝터는 액체로켓 엔진에서의 연료 분사 장치로 널리 사용되고 있으며, 이에 따른 연구 또한 활발하게 진행되고 있다. 특히 연소 불안정 문제를 해결하는 것은 모든 종류의 액체로켓 엔진에서 필수적이다. 본 연구에서는 연소불안정을 해결하기 위한 기초 연구로 오픈형 스월 인젝터에 대한 수류실험을 수행하였다. 인젝터로 유입되는 작동유체에 압력 섭동을 발생시키고, 그에 따른 응답특성을 실험적으로 파악하였다. 또한, 인젝터 스월 챔버의 길이와 지름을 변화시킴으로써 인젝터 구조의 변화에 따른 응답 특성의 변화를 확인하였다.

금궤요략(金?要略).창옹장옹침음병맥병증치제십팔(瘡癰腸癰浸淫病脈幷證治第十八)에 대(對)한 연구(硏究) (A Study on the 'Diagnosis and Treatment of the Woonded, Carbuncle, intestinal infection and acute eczema' in Synopsis of Golden Chamber(金?要略))

  • 한성규;윤주헌;유정규;이윤천;이영섭;정헌영
    • 대한한의학원전학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.365-380
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    • 2006
  • All of the disease which was referred in ${\ulcorner}$Diagnosis and Treatment of the Woonded, Carbuncle, intestinal infection and acute eczema in Synopsis of Golden Chamber${\lrcorner}$ are belong to surgery. Woonded in this chapter, specially, come under in case occur by metal, and spoke that this thing is metal wounded(金瘡). I am considered by something to use Wangbulryuhaengsan(王不留行散) in wound that is not festered, Baenongtang(排膿湯) and Baenongsan(排膿散) in wound that is festered. Carbuncle is one of Venus festering nature file that happen in skin and muscle because blood does not circulate with flag and part's flare, calorification, pain, puffiness are characteristic. Carbuncle is agreed with concept of inflammation of modern medicine. When treat carbuncle, without using surgery medical treatment, used together internal medicine surgery medical treatment. Intestines carbuncle(腸癰) is come in inflammation in abdominal cavity as kind of inflammation, partiality peritoneum festering disease round present cecum as one of inside carbuncle. I think, when treat intestines carbuncle, in case cold and moisture become stasis and heat is less, Uiibujapaedoksan(薏苡附子敗毒散) can be used. Independently of festering, Daehwangmokdantang(大黃收丹湯) can be used in case heat and extravasated blood become stasis. Saliva ulcer on the vulva is comes in impetigo In Case of young child, and is come in Venus eczema in case is general. Prognosis of saliva ulcer on the vulva widespread thing can treat by arm, leg at Lips region, but it does not treat to grow at Lips region from limb, and treatment uses Hwangryunbun(黃連粉)

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