반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔의 에너지 소비량 성능평가 실험 (An Experiment on Performance Evaluation of Energy Consumption of an Exhaust Air Heat Recovery Type Air Washer for Semiconductor Manufacturing Clean Rooms)
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- 대한설비공학회:학술대회논문집
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- 대한설비공학회 2008년도 하계학술발표대회 논문집
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- pp.844-849
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- 2008