Influence of the RF Power on the Optical and Electrical Properties of ITZO Thin Films Deposited on SiO2/PES Substrate (RF파워가 SiO2/PES 기판위에 증착한 ITZO 박막의 광학적 및 전기적 특성에 미치는 효과)
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- The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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- v.16 no.3
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- pp.443-450
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- 2021