• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
• /
• pp.15-16
• /
• 2006

The thermal stability of nickel silicide with compressively and tensilely stressed nitride capping layer has been investigated in this study. The Ni (10 nm) and Ni/Co/TiN (7/3/25 nm) structures were deposited on the p-type Si substrate. The stressed capping layer was deposited using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) after silicide formation by one-step rapid thermal process (RTP) at $500^{\circ}C$ for 30 sec. It was found that the thermal stability of nickel silicide depends on the stress induced by the nitride capping layer. In the case of Ni (10 nm) structure, the high compressive sample shows the best thermal stability, whereas in the case of Ni/Co/TiN (7/3/25 nm) structure, the high compressive sample shows the worst thermal stability.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
• /
• pp.167-170
• /
• 2002

The influence of Si surface damage on Ni-silicide with TiN Capping layer and the effect of $H_2$ anneal are characterized. Si surface is intentionally damaged using Ar Sputtering. The sheet resistance of NiSi formed on damaged silicon increased rapidly as Ar sputtering time increased. However, the thermal stability of Ni-Si on the damage silicon was more stable than that on at undamaged Si, which means that damaged region retards the formation of NiSi. It was shown that $H_2$ anneal and TiN capping is highly effective in reducing NiSi sheet resistance.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
• /
• 제25권3호
• /
• pp.395-396
• /
• 2004

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.379.1-379.1
• /
• 2016

Recently, new types of wearable devices such as textile electronics are considered as the next generation wearable electronics. To realize the textile electronics, conductive fibers are required to supply the power and for signal processing. Conventionally, silver nanowires (Ag NWs) have been attracted as one of the conductive additives in the fibers, however, using the Ag NWs may lead to high production cost since it is a noble metal. Many researches have been done to replace the Ag NWs into a cheaper materials such as copper nanowires (Cu NWs). Here, we synthesized ultra-long Cu NWs for a conductive filler material in conductive fibers, taking advantages of their structural features. To investigate the effect of capping agents on the aspect ratio of the synthesized Cu NWs, we used various capping agents such as hexadecylamine, butylamine, ethylenedilamine and oleylamine in the Cu NW synthesis. In this research, the effects of capping agents on the structure and the synthesis of Cu NWs are presented.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제33권2호
• /
• pp.165-172
• /
• 2006

오랜 기간동안 다양한 약제를 통한 직접 치수복조술이 시도되어 왔다. 그 중 가장 보편적으로 사용된 약제는 수산화칼슘이다. 하지만 유치에서 수산화칼슘을 이용한 직접 치수복조술의 성공률은 생활치수절단술에 비해 낮다고 보고되어 왔다. 수산화칼슘의 단점으로 인해 다른 치수복조제를 찾기 위한 많은 연구가 있었으며 최근 여러 연구가들은 치수복조제로 접착용 레진의 이용을 제안하였다. 그들은 노출된 치수에 접착용 레진이 적용되었을 때 임상적 증상이 없이 염증이나 치수괴사가 없다고 주장하였다. 이 연구의 목적은 유치에서 기계적으로 노출된 생활치수에 치수복조제로써 수산화칼슘과 접착용 레진을 적용하여 단 기간동안의 예후를 비교해 보고, 또한 각각의 직접 치수복조술을 시행한 유치에 있어 생리적인 치근흡수 유무에 따른 예후의 차이를 비교해보기 위함이다. 와동형성 중 기계적으로 치수가 노출되어 생활 치수인 유치 41개를 대상으로 하였다. 그중 접착용 레진으로 치수복조제로 사용한 치아 21개를 1군으로 하였고, 수산화칼슘을 이용한 치아 20개를 2군으로 하였다. 그리고 제 1군과 2군의 치아들은 치근단방사선 소견을 통해 생리적인 치근흡수의 유무여부에 따라 다시 세분되었다. 모든 치아는 복합 레진으로 수복하였으며, 시술 3개월 후 타진반응, 냉 검사, 전기치수검사 등의 치수 생활력검사와 치근단방사선 소견으로 성공여부를 판단하였다. 결과는 다음과 같다. 1. 1군과 2군 사이의 성공률에는 유의한 차이가 없었다. 2. 각 군에서 생리적인 치근흡수가 없는 유치보다 있는 유치에서 성공률이 현저히 높았다. 3. 전치와 구치사이의 성공률에는 유의한 차이가 없었다.

• 대한환경공학회지
• /
• 제36권8호
• /
• pp.554-560
• /
• 2014

해양오염퇴적물 정화를 위한 몬모릴로나이트의 피복소재 적용성 평가를 위하여 $PO{_4}{^{3-}}$ 흡착특성을 알아보고자 동적흡착, 평형흡착, pH, 흡착제 주입량, 이온경쟁, 타 흡착제 복합사용 그리고 해수에서의 흡착특성을 살펴보았다. 동적흡착실험 결과 50 mg/L의 농도에서는 1시간대에 흡착평형을 나타내었고, 300 mg/L의 농도에서는 3시간대 흡착평형을 나타내었다. Freundlich 모델과 Langmuir 모델을 적용한 결과 다층흡착을 가정한 Freundlich 모델이 $PO{_4}{^{3-}}$의 평형 흡착에 더 잘 부합하였고, $PO{_4}{^{3-}}$의 흡착은 pH가 낮을 때 높은 흡착경향을 나타내었다. 이는 높은 pH에서는 OH-가 경쟁관계를 형성함으로 판단된다. 이온 경쟁관계 실험 결과 질산, 황산, 중탄산 모두 몬모릴로나이트의 $PO{_4}{^{3-}}$ 흡착에 영향이 미비한 것으로 나타났다. 몬모릴로나이트는 적니와 제강슬래그를 혼합하여 사용하는 것보다 단일 사용하였을 때 $PO{_4}{^{3-}}$ 제거에 더 효과적이었다. 해수에서의 $PO{_4}{^{3-}}$ 흡착특성을 살펴본 결과 담수에서의 흡착량 보다 높은 결과를 나타내었고 이는 해수 내 존재하는 칼슘이온 등의 결과로 판단된다. $PO{_4}{^{3-}}$ 용출 수조실험결과 몬모릴로나이트 피복 수조는 실험 14일까지 $PO{_4}{^{3-}}$이 측정되지 않았다. 몬모릴로나이트는 수용액중 $PO{_4}{^{3-}}$ 흡착 제거에 효과적인 피복소재로 판단된다.

• 대한환경공학회지
• /
• 제28권4호
• /
• pp.438-446
• /
• 2006

팔당호 경안천 하류 정체수역에서 퇴적물 인 용출 저감을 위한 capping 소재를 개발하고자 실험실 규모의 batch test를 수행하였다. 조사지역 퇴적물 평균 입도는 7.7 ${\phi}$로 매우 세립하고, 유기탄소 함량은 2.4%로 매우 높게 나타났다. 최적의 capping 소재 선정을 위한 인 용출 실험을 위해 150 L 반응기 5개에 모래층, powder-gypsum($CaSO_4{\cdot}2H_2O$), granule-gypsum, 복합층(gypsum+sand)로 capping을 한 경우와 control을 45일간 비교 평가하였다. 모래로 capping할 경우, 퇴적물로부터 용출되는 인을 약 50% 차단 가능한 것으로 나타났다. 그러나 모래층 1 cm로는 $CH_4$ gas 발생으로 인한 퇴적물의 재부유와 유기물 분해에 의한 수층 용존산소 감소(3 mg/L 이하)를 초래하는 것으로 나타났다. 따라서 모래로 capping을 할 경우에는 모래층이 더 높아져야 할 것으로 판단된다. powder-Gypsum과 granule-Gypsum은 80% 이상의 인 용출 저감 효과를 보였으나 수층 ${SO_4}^{2-}$ 농도가 증가되어 상수원보호구역에 적용하기 어려운 것으로 나타났다. 따라서 ${SO_4}^{2-}$의 용해도를 감소시키기 위해 Fe-Gypsum, $SiO_2$-gypsum 소재를 개발하였다. powder-Gypsum은 물과 결합시 경화되어 퇴적물 층위에 공극이 전혀 없는 차단막을 만들기 때문에 gypsum 층에 crack이 생길 경우, $CH_4$ gas 발생으로 인한 인 용출이 한꺼번에 일어날 수 있다. 복합층(granule-Gypsum+sand(1 cm))으로 capping을 할 경우, 인 용출 차단 효과가 높을 뿐만 아니라, ${SO_4}^{2-}$ 농도 역시 powder-Gypsum, granule-Gypsum 보다 수층으로 용출이 적어 상수원보호구역에 적합한 것으로 나타났다. Gypsum으로 capping을 할 경우, 빠른 초기속성작용(early diagenesis)과 ${SO_4}^{2-}$ 농도가 퇴적물에 충분히 공급되어 SRB(sulfate reducing bacteria)의 활성이 높아져 methanogensis의 진행을 저하시킬 수 있는 것으로 나타났다.

• 해양환경안전학회지
• /
• 제28권2호
• /
• pp.212-223
• /
• 2022

서해병 폐기물 배출해역 오염심화구역의 퇴적물 정화·복원을 위해 2013, 2014, 2016, 2017년에 준설토를 피복하였다. 피복 효과 평가를 위해 배출해역 내 피복구역(5개 정점)과 자연회복구역(2개 정점)을 설정하고 2014년부터 2020년까지 연 1회 구역별 표층 퇴적물을 채취하여 퇴적물 물리·화학적 특성 및 저서동물상을 분석하였다. 퇴적물 평균 입도(Mz)는 자연회복구역에서 5.91~7.64 Φ로 세립질이었고 피복구역에서는 준설토의 영향으로 1.47~3.01 Φ의 조립질 퇴적물로 구성되어 있었다. 유기물 및 중금속 함량은 피복구역에서 자연회복구역 대비 약 50 % 낮아(p<0.05) 준설토 피복 효과가 있는 것으로 판단되었다. 대형저서동물 분석 결과에서는 피복구역의 출현종수, 생태지수가 자연회복구역보다 낮게 나타났다(p<0.05). 피복구역의 출현종수 및 생태지수의 시계열 분석 결과에서는 2013, 2014년 피복 이후 초기 4년간 증가하다가 이후 감소하는 경향을 보였다. 이는 피복으로 인해 빠른 성장과 짧은 수명의 특징을 보이는 기회종 생물들이 피복 초기에 우세하다가 2016, 2017년에 추가로 피복이 진행됨에 따라 서식환경이 다시 교란되어 나타난 현상으로 추정된다. AMBI는 자연회복구역 및 피복구역에서 모두 2등급(Good), BPI는 1~2등급 수준을 유지하고 있어 건강한 저서상태로 평가되었다. 따라서 폐기물 배출해역의 오염퇴적물 정화 및 저서생태계 복원을 위한 준설토 피복은 오염도 저감효과는 나타나지만 저서생태계의 측면에서는 장기적인 모니터링을 통해 회복추이를 관찰해야 할 것으로 판단된다. 또한 향후 배출해역의 오염심화구역 정화 복원 사업 확대 시 적응적 관리가 필요할 것으로 판단된다.

• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제16권4호
• /
• pp.280-285
• /
• 2003

The influence of silicon surface damage on nickel-silicide (NiSi) has been characterized and H$_2$ anneal and TiN rapping has been applied to suppress the electrical, morphological deterioration phenomenon incurred by the surface damage. The substrate surface is intentionally damaged using Ar IBE (Ion beam etching) which can Precisely control the etch depth. The sheet resistance of NiSi increased about 18% by the surface damage, which is proven to be mainly due to the reduced silicide thickness. It is shown that simultaneous application of H: anneal and TiN capping layer is highly effective in suppressing the surface damage effect.

• 한국항해항만학회지
• /
• 제39권4호
• /
• pp.335-344
• /
• 2015

본 연구에서는 반응성 피복소재인 제올라이트, 몬모릴로나이트, 제강슬래그의 피복두께에 따른 오염된 해양퇴적물 내 중금속 용출 차단 효율을 평가하였다. 실험결과, As의 용출차단에는 제올라이트, 몬모릴로나이트, 제강슬래그 모두 효과적이지 못하였다. 제올라이트는 Cr 용출 차단에 부정적인 영향을 미치는 것으로 나타났지만, 몬모릴로나이트 5 cm 피복은 Cr 용출 차단에 매우 효과적이었다. As 및 Cr과는 대조적으로 Cd, Ni, 그리고 Pb은 미피복 퇴적물에서 조차 용출되지 않았다. Cu와 Zn은 피복 조건에 따른 영향이 가장 뚜렷한 중금속이었다. Cu의 용출은 몬모릴로나이트 피복 두께 1 cm 이상 그리고 제올라이트 피복 두께 3 cm 이상에서 효과적으로 차단되었다. 해양퇴적물에서 Zn의 용출은 모든 피복 물질에서 효과적이었다. 본 연구를 통해서 제올라이트, 몬모릴로나이트, 제강슬래그를 오염된 해양퇴적물에서 Cr, Cu, Zn의 용출 차단을 위한 효과적인 피복소재로 활용할 수 있을 것으로 판단된다.