AlN 체적탄성파 공진기의 기판손실변화에 의한 Over-moded 탄성파특성 (The Influence of Substrate Loss Change on Over-moded Acoustic Wave Characterization in AlN Film Bulk Acoustic Resonator)
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- pp.193.2-193
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- 2000