MEMS 응용을 위한 $Ar^+$ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성
(Characteristics of single/poly crystalline silicon etching by$Ar^+$ ion laser for MEMS applications)
-
- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
- /
- 제48권5호
- /
- pp.396-401
- /
- 1999