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MEMS 응용을 위한 $Ar^+$ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성 (Characteristics of single/poly crystalline silicon etching by$Ar^+$ ion laser for MEMS applications)

  • 이현기;한승오;박정호;이천
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제48권5호
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    • pp.396-401
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    • 1999
  • In this study, $Ar^+$ ion laser etching process of single/poly-crystalline Si with $CCl_2F_2$ gas is investigated for MEMS applications. In general, laser direct etching process is useful in microelectronic process, fabrication of micro sensors and actuators, rapid prototyping, and complementary processing because of the advantages of 3D micromachining, local etching/deposition process, and maskless process with high resolution. In this study, a pyrolytic method, in which $CCl_2F_2$ gasetches molten Si by the focused laser, was used. In order to analyze the temperature profile of Si by the focused laser, the 3D heat conduction equation was analytically solved. In order to investigate the process parameters dependence of etching characteristics, laser power, $CCl_2F_2$ gas pressure, and scanning speed were varied and the experimental results were observed by SEM. The aspect ratio was measured in multiple scanning and the simple 3D structure was fabricated. In addition, the etching characteristics of $6\mum$ thick poly-crystalline Si on the insulator was investigated to obtain flat bottom and vertical side wall for MEMS applications.

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전주장의 구조적 특징과 금구장식 연구 (A Study on the Structural Characteristics and Metal Ornament of Jeonju-Jang)

  • 백다희;임승택
    • 한국가구학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.207-223
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    • 2017
  • Jeonju-Jang is the wood furniture that was made in Chonbuk Jeonju province during the Joseon Dynasty, and was used by middle-upper social classes. It has value as a local cultural heritage because it has unique characteristics in terms of the shape of the furniture, the metal ornament and various functions are integrated in accordance with user's requirements. Therefore, the purpose of this study is to define the structural characteristics of the Jeonju-Jang through case studies of 16 existing artifacts in order to preserve and inherit the value as local cultural resources. The conclusion is as follows. First, Jeonju-Jang in the late period of Joseon Dynasty that is made up of one board to the bottom with the binding of the board. and the front wall, the Juibyuckkan and the Meoruemkan are omitted or made small, so the structure of the surface is simple. There are three or four drawers under the Cheon pan(top plate). There are drawers and shelf inside the hinged door. In the case of a two-layer type, there is a Gaegumeong type door which has half of one side hinged. Second, Jeonju-Jang of the Japanese Ruling Era had a Juibyuckkan by frame binding and an increase in the number of Meoruemkan. and it had independent legs. The Cheon-pan(top plate) was more left and right than both sides. Third, in the late Joseon Dynasty period as a feature of the metal ornaments, cast iron and yellow brass were used as materials. In the Japanese Ruling Era, nickel was mainly used. Various patterns were engraved and the number increased, and it became gorgeous surface as a whole.

Capillary Flow in Different Cells of Thuja orientalis, Gmelina arborea, Phellodendron amurense

  • Chun, Su Kyoung
    • 한국가구학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.248-258
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    • 2017
  • A study was carried out to observe the 1% aqueous safranine solution flow speed in longitudinal and radial directions of softwood Thuja orientalis L., diffuse-porous wood Gmelina arborea Roxb., and ring-porous wood Phellodendron amurense Rupr., Longitudinal flow was considered from bottom to top while the radial flow was considered from bark to pith directions. In radial direction, ray cells and in longitudinal direction tracheids, vessel and wood fiber were considered for the measurement of liquid penetration speed at less than 12% moisture contents(MC). The variation of penetration speed for different species was observed and the reasons behind for this variation were explored. The highest radial penetration depth was found in ray parenchyma of T. orientalis but the lowest one was found in ray parenchyma of P. amurense. The average liquid penetration depth in longitudinal trachied of T. orientalis was found the highest among all the other cells. The penetration depth in fiber of G. arborea was found the lowest among the other longitudinal cells. It was found that cell dimension and also meniscus angle of safranine solution with cell walls were the prime factors for the variation of liquid flow speed in wood. Vessel was found to facilitate prime role in longitudinal penetration for hardwood species. The penetration depth in vessel of G. arborea was found highest among all vessels. Anatomical features like ray parenchyma cell length and diameter, end-wall pits number were found also responsible fluid flow differences. Initially liquid penetration speed was high and the nit gradually decreased in an uneven rate. Liquid flow was captured via video and the penetration depths in those cells were measured. It was found that even in presence of abundant rays in hardwood species, penetration depth of liquid in radial direction of softwood species was found high. Herein the ray length, lumen area, end wall pit diameter determined the radial permeability. On the other hand, vessel and fiber structure affected the longitudinal flow of liquids. Following a go-stop-go cycle, the penetration speed of a liquid decreased over time.

유선형 스텝 선형을 적용한 35 knot급 고속활주선의 성능평가에 대한 고찰 (A Review on the Performance Test of a High-Speed Planing Hull with 35 knot Speed by Appling the Streamlined Step of Hull Form)

  • 문병영;고호남;이기열
    • 한국해안·해양공학회논문집
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    • 제30권3호
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    • pp.95-102
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    • 2018
  • 고속 주행시 마찰저항을 감소시키기 위해 선체의 선저부분의 모양을 변화시키는 등 최근 관련 분야의 개발이 이루어지고 있는 바, 본 개발에서는 기하학적으로 고속활주선의 스텝 단면을 유선형(streamlined type) 구조로 제작해 침수 표면적에 의한 마찰저항의 최소화를 목적으로 준비하였다, 본 개발의 목적은 어업의 각종 위급상황 및 안전성을 고려한 고속활주선의 구조설계를 기반으로 하여 어업의 특수성 및 작업특성(어군 추적 및 어획물 출하)을 고려한 최적선형으로서 유선형 마찰저감형 고속활주선을 제작하는데 그 목표가 있으며, 이 과정에서 제작된 성과물에 대한 성능평가를 수행하여 정량적 목표치를 확보하고자 함에 본 기술개발 논문의 소개 배경이 있다.

저서생물상을 이용한 진해만 수하식 양식장의 저서환경 평가 (Assessment of benthic environment conditions of oyster and mussel farms based on macrobenthos in Jinhae bay)

  • 박흥식;이순길
    • 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.68-75
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    • 2002
  • 본 조사는 유기오염원으로 지적되고 있는 진해만내 수하식 양식장을 대상으로 저서생물상을 이용한 환경 평가를 실시하여 저서환경내 유기오염 양상을 측정하였다. 굴과 진주담치 양식장과 양식활동이 이루어지지 않은 대조구 등 세 개 정점을 대상으로 퇴적물 특성과 저서동물을 조사하였다. 세 지역 모두 평균 입도분포가 6.0~6.6Ф로 니질 퇴적상을 나타냈다. 퇴적물 내 유기물 함량은 진주담치 양식장이 2.8%로 놀게 나타났으며, 대조구의 경우 1.5%로 나타났다 총 7개 동물군, 79종의 저서동물이 채집되였으며, 대조구가 양식장에 비하여 저서생물의 종 다양성과 서식밀도가 높은 상이한 군집구조를 나타냈다. 특히, 굴과 진주담치 양식장에서는 퇴적물내 유기물 함량이 높은 지역에 나타나는 기회종으로 알려진 Lumbrlneris longlfolia, Heteromastus. filiformis, Corophium sinenie 등이 우점하였다. 계절별로 종조성과 서식밀도에서 다소 차이를 보임에도 불구하고, 생물상을 이용한 환경평가 결과에서는 진주담치 양식장의 경우 대조구나 굴 양식장에 비해 유기오염이 진행되고 있는 것으로 나타났다.

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내수침수모의를 통한 배수문 높이결정에 관한 연구 (Study on the Decision of Watergate Stage Using Inundation Simulation for Inland)

  • 추태호;윤관선;윤현철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제15권2호
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    • pp.1149-1156
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    • 2014
  • 본 홍수피해를 저감하기 위해 하천의 제방 증축, 하도준설, 수리구조물의 설치 등에 있어 적합한 설계가 요구된다. 이 중에서 배수문에 관한 하천설계기준을 살펴보면 설치위치는 7개의 항목으로 나열되어 있으나, 그 기준이 상세하지 않음을 알 수 있다. 제내지의 토지이용 및 유역특성을 반영한 배수문의 적절한 위치를 산정하기 위하여 외수위를 고려한 내수침수모의가 수행되어 정량적 평가가 이뤄져야 한다. 그러나 내수침수모의는 대개 수리 수문학적 특성을 동시에 고려해야 되기 때문에 매우 복잡하고 시간이 오래 소요된다. 따라서, 본 연구에서는 배수문 설치에 대한 정량적 검토를 바탕으로 간편하고 정확한 설계방법을 제시하였다.

$Pr_{2}O_{3}$ 첨가량에 따른 BSCT 세라믹의 미세구조 특성 (Microstructure properties with variation of doped amount $Pr_{2}O_{3}$ of BSCT ceramics)

  • 노현지;이성갑;박상만;윤상은;김지은;이영희
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1283-1284
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    • 2007
  • The barium strontium calcium titanate((Ba,Sr,Ca)$TiO_3$) powders prepared by the sol-gel method and $MnCO_3$ as acceptor were mixed oxide method. The microstructure was investigated with variation of $Pr_{2}O_{3}$ amount. The BSCT powder and $Pr_{2}O_{3}$ were mixed with organic vehicle(Ferro. B75001). BSCT thick films were fabricated by the screen-printing method on alumina substrates. The bottom electrode was Pt and upper electrode was Ag, respectively. All BSCT thick films were sintered at $1420^{\circ}C$, for 2h. The result of the differential thermal analysis(DTA), exothermic peak at around $654^{\circ}C$ due to the formation of the polycrystalline perovskite phase. In the X-ray diffraction(XRD) patterns, all BSCT thick films showed the typical perovskite polycrystalline structure and no pyrochlore phase was dbserved. The microstructure investigated by scanning electron microscope(SEM). Pore and grain size of BSCT thick films were decreased with increasing amount of $Pr_{2}O_{3}$ dopant. And the average grain size and thickness of BSCT thick films doped with 0.1 mol% $Pr_{2}O_{3}$ was $3.09{\mu}m$, $60{\mu}m$, respectively. The relative dielectric constant decreased and dielectric loss decreased with increasing amount of $Pr_{2}O_{3}$ dopant, the values of the BSCT thick films no doped with $Pr_{2}O_{3}$ were 7443 and 4 % at 1 kHz, respectively.

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웨이브렛 변환을 이용한 초음파 펄스 에코 신호의 디컨볼루션 (Wavelet Transform Based Doconvolution of Ultrasonic Pulse-Echo Signal)

  • 장경영;장효성;박병일;하욥
    • 비파괴검사학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.511-520
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    • 2000
  • 초음파 펄스-에코법을 매우 얇은 층을 갖는 다층구조물에 적용할 때 그 얇은 층의 상하면에서의 반사파가 중첩되게 되면 검사가 곤란하게 된다. 이런 문제는 반도체 내부에서의 심한 감쇠를 피하기 위해 20MHz 이하의 비교적 저주파수를 사용하는 초음파 현미경으로 반도체의 얇은 실리콘 칩을 검사하는 경우에 쉽게 볼 수 있다. 기존에 이런 초음파 신호의 중첩을 분리하기 위해 디컨볼루션 기법이 사용되어 왔으나, 송신파의 파형이 전파하면서 왜곡되어 수신되는 경우에는 적절치 못하다. 본 논문에서는 기존의 디컨볼루션 기법에 비하여 우수한 성능으로 중첩 신호를 분리해 낼 수 있는 새로운 신호처리 기법으로서 웨이브렛 변환 기반 디컨볼루션 (WTBD) 기법을 제안하였다. 여기서 웨이브렛 변환은 송신파와 왜곡된 수신 신호의 공통 파형을 추출하기 위해 사용되고 추출된 공통 파형에 대해 디컨볼루션 처리한다. 제안하는 방법의 성능은 모형신호에 대한 컴퓨터 시뮬레이션과 인위적으로 실리콘 칩 상면에 들뜸 결함을 만든 반도체 시편에 대한 실험을 통해 검증되었다.

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기능성 건강구두의 개발에 대한 연구 (A Study on the Development of Functional Health Shoe)

  • 김명웅;전광식
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2001년도 추계산학기술 심포지엄 및 학술대회 발표논문집
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    • pp.196-200
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    • 2001
  • 발은 두 가지의 기능을 가지고 있는데 첫째는 추진기능이고 다른 하나는 몸을 지탱하고 보호하는 기능이다. 그럼에도 불구하고 발의 중요성을 쉽게 잃어버릴 때가 있다. 발바닥에는 인체의 중요한 부위들이 축소되어 있어 발이 건강하면 몸 전체가 건강하다고 헤서 발은 제2외 심장이라고 한다. 발이 건강하려면 좋은 신발을 신어야 한다. 신발을 사용용도, 신체적인 조건, 외적조건에 따라 재료, 디자인, 라스트, 패턴, 젯법 등이 다양하다. 좋은 신발은 적합성, 신축성, 그리고 순응성이 있어야 한다. 건강한 신발을 만들기 위해서는 인간공학적이고 과학적인 근거를 가지고 설계하여 제조하여야 한다. 특히 최근에는 일의 능률을 높이기 위해 다 기능성 신발의 개발에 많은 관심을 가지고 있어 본 연구에서는 이를 위해 신발의 기능성에 대한 이론과 실험을 근거로 하여 건강한 구두를 개발코자 한다.

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 상온 증착된 비정질 ITZO 산화물의 전기적 및 광학적 특성 (Electrical and Optical Properties of Amorphous ITZO Deposited at Room Temperature by RF Magnetron Sputtering)

  • 이기창;조광민;이준형;김정주;허영우
    • 한국표면공학회지
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    • 제47권5호
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    • pp.239-243
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    • 2014
  • The electrical and optical properties of amorphous In-Tin-Zinc-Oxide(ITZO) deposited at room temperature using rf-magnetron sputtering were investigated. The amorphous ITZO thin films were obtained at the composition of In:Sn:Zn = 6:2:2, 4:3:3, and 2:4:4, but the ITZO (8:1:1) showed a crystalline phase of bixbyite structure of In2O3. The resistivity of ITZO could be controlled by oxygen pressure in the sputtering ambient. The resistivity of post-annealed ITZO thin films exhibited the dependence on the amount of Indium. Optical energy band gap and transmittance increased as the amount of indium in ITZO increased. For the device application with ITZO, the bottom-gated thin-film transistor using ITZO as a active channel layer was fabricated. It showed a threshold voltage of 1.42V and an on/off ratio of $5.63{\times}10^7$ operated with saturation field-effect mobility of $14.2cm^2/V{\cdot}s$.