• Journal of Semiconductor Engineering
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• 제1권1호
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• pp.46-56
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• 2020

This article highlights new opportunities of inorganic semiconductor materials for bio-implantable electronics, as a subset of 'transient' technology defined by an ability to physically dissolve, chemically degrade, or disintegrate in a controlled manner. Concepts of foundational materials for this area of technology with historical background start with the dissolution chemistry and reaction kinetics associated with hydrolysis of nanoscale silicon surface as a function of temperature and pH level. The following section covers biocompatibility of silicon, including related other semiconductor materials. Recent transient demonstrations of components and device levels for bioresorbable implantation enable the future direction of the transient electronics, as temporary implanters and other medical devices that provide important diagnosis and precisely personalized therapies. A final section outlines recent bioresorbable applications for sensing various biophysical parameters, monitoring electrophysiological activities, and delivering therapeutic signals in a programmed manner.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제28권2호
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• pp.13-28
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• 2021

트랜지언트 전자소자는 전해질 수용액이나 체내와 같은 거친 환경에서도 작동이 가능하며 동작 이후 가수분해되어 스스로 제거되기 때문에 기존의 전자소자를 대체하여 의료 목적의 체내 삽입 소자 등 다양한 연구 영역에서 활용되고 있다. 또한 물과 효소만으로 제거가 가능한 트랜지언트 전자소자는 최근 대두되고 있는 전자 쓰레기와 환경 오염 문제를 해결할 수 있는 신개념 그린 테크놀로지로 많은 주목을 받고 있다. 하지만, 트랜지언트 전자소자의 작동 환경인 수용액과 체내는 지속적은 물 침투를 통해 소자 내 핵심 부품을 열화시킨다. 이러한 환경 내 안정한 동작을 위하여 수동적 보호 기능을 가진 피막이 소자 외부를 감싸는 봉지막 전략이 도입되었다. 본 논문에서는 트랜지언트 전자소자의 등장 배경과 분해 거동을 포함한 최근 연구 동향과 작동 환경 내 물 침투를 방지하여 동작 신뢰도를 향상시킬 수 있는 봉지막 전략에 관하여 정리하였다.