Effect of Substrate Temperature on Multi-component Particle Deposition and Consolidation in Flame Hydrolysis Deposition (화염가수분해 증착 공정에서 기판온도의 변화에 따른 다성분 입자의 부착 및 소결특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the KSME Conference
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- 2000.04b
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- pp.428-433
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- 2000