Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2000.11a
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pp.389-392
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2000
This paper presents a performance Analysis of electrically exhaust gas recirculation valve using commercial electromagnetic simulation software, Flux2D. Under the assumption of 2D axi-symmetric magnetic field, the characteristics of EEGR valve by revising the design parameter, has ken investigated by estimating the variation of thrust force with respect to the pintle position. The mode shapes and the frequency response functions were computed by using three dimensional finite element modeling of the whole EEGR valve and their accuracies were verified with experimental FFT analysis technique.
Three kinds of jet flows encountered in the practical airframe design phase are discussed in this paper. Firstly, the side jet effect on the cavity flow over the flat plate was investigated. Secondly, the aerodynamic modeling of side jet influence on body-tail configuration was presented. Computational study of the similarity parameters was done to minimize the wind tunnel test. Lastly, supersonic jet impingement on a flat plate surrounded by solid walls was simulated numerically for both axi-symmetric and three-dimensional calculations with moving body method.
Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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v.13
no.6
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pp.102-106
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2004
The purpose of the study is to perform structual analysis of 9 type bellows for automotive. The bellows joint which was used as a absorber or safety equipment to prevent the deformation or fracture of a structure, has been analyzed by the FEM modeling using axi-symmetric conical frustum element. Using FEM the general behavior of bellows analysis can be investigate easily, as well as the stability of the analysis can be guarantee. The results of finite element structual analysis and actual result gave a good agreement.
A flow modeling method has been developed to analyze the flow in the annular base (rear- facing surface) of a circular engine nacelle flying at subsonic speed but with a supersonic exhaust jet. Real values of exhaust gas properties and temperature at an altitude of 30, 000 feet are employed. Potential flows of the air and gas streams are computed for the flow past a separated wake. Then a viscous jet mixing is superimposed on this inviscid solution. Conserva- tion of mass, momentum and energy for the wake flow field is achieved by multiple iterations with modest computer requirements.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.43
no.3
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pp.154-158
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2010
Numerical analysis is done to investigate the effects of pulse bias on the plasma processing characteristics like ion doping and ion nitriding by using fluid dynamic code with a 2D axi-symmetric model. For 10 mTorr of Ar plasma, -1 kV of pulse bias was simulated. Maximum sheath thickness was around 20 mm based on the electric potential profile. The peak electron temperature was about 20 eV, but did not affect the averaged plasma characteristics of the whole chamber. Maximum ion current density incident on the substrate was 200 $A/m^2$ at the center, but was decreased down to 1/10th at radius 100 mm, giving poor radial uniformity.
Phenomenon of direct contact condensation (DCC) heat transfer between steam and water is characterized by the transport of heat and mass through a moving steam/water interface. Since the DCC heat transfer provides some advantageous features in the viewpoint of enhanced heat transfer, it is widely applied to the diversified industries. This study proposes a simple condensation model on the stable steam jets discharging into a quenching tank with subcooled water from a single horizontal pipe for the prediction of the steam jet shapes. The model was derived from the mass, momentum and energy equations as well as thermal balance equation with condensing characteristics at the steam/water interface for the axi-symmetric coordinates. The extremely large heat transfer rate at the steam/water interface was reflected in the effective thermal conductivity estimated from the previous experimental results. The results were compared with the experimental ones. The predicted steam jet shape(i. e. radius and length) by the model was increasing as the steam mass flux and the pool temperature were increasing, which was similar to the trend observed in the experiment.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.221-221
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2014
The present work proposes an improved numerical simulator for design and modification of large area capacitively coupled plasma (CCP) processing chamber. CCP, as notoriously well-known, demands the tremendously huge computational cost for carrying out transient analyses in realistic multi-dimensional models, because electron dissociations take place in a much smaller time scale (${\Delta}t{\approx}10-8{\sim}10-10$) than time scale of those happened between neutrals (${\Delta}t{\approx}10-1{\sim}10-3$), due to the rf drive frequencies of external electric field. And also, for spatial discretization of electron flux (Je), exponential scheme such as Scharfetter-Gummel method needs to be used in order to alleviate the numerical stiffness and resolve exponential change of spatial distribution of electron temperature (Te) and electron number density (Ne) in the vicinity of electrodes. Due to such computational intractability, it is prohibited to simulate CCP deposition in a three-dimension within acceptable calculation runtimes (<24 h). Under the situation where process conditions require thickness non-uniformity below 5%, however, detailed flow features of reactive gases induced from three-dimensional geometric effects such as gas distribution through the perforated plates (showerhead) should be considered. Without considering plasma chemistry, we therefore simulated flow, temperature and species fields in three-dimensional geometry first, and then, based on that data, boundary conditions of two-dimensional plasma discharge model are set. In the particular case of SiH4-NH3-N2-He CCP discharge to produce deposition of SiNxHy thin film, a cylindrical showerhead electrode reactor was studied by numerical modeling of mass, momentum and energy transports for charged particles in an axi-symmetric geometry. By solving transport equations of electron and radicals simultaneously, we observed that the way how source gases are consumed in the non-isothermal flow field and such consequences on active species production were outlined as playing the leading parts in the processes. As an example of application of the model for the prediction of the deposited thickness uniformity in a 300 mm wafer plasma processing chamber, the results were compared with the experimentally measured deposition profiles along the radius of the wafer varying inter-electrode gap. The simulation results were in good agreement with experimental data.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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