Trimethylgallium, Trimethylauminum과 Arsine을 사용하여 UHVCVD방법으로 성장된 AlGaAs의 탄소 및 알미늄의 유입 특성 (Characteristics of Carbon and Aluminum Incorporation in AlGaAs by UHVCVD using Trimethylgallium, Trimethylalumnium, and Arsine)
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- 한국진공학회지
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- 제2권1호
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- pp.34-40
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- 1993