A Study on Energy Reduction in an Outdoor Air Conditioning System for Semiconductor Manufacturing Cleanrooms Using Water Spray Humidification (반도체 클린룸용 외기공조시스템의 수분무 가습을 이용한 에너지절감에 관한 연구)
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- Particle and aerosol research
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- 제13권2호
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- pp.65-77
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- 2017