Effects of Low Temperature Annealing at Various Atmospheres and Substrate Surface Morphology on the Characteristics of the Amorphous $Ta_2O_5$ Thin Film Capacitors
(여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 $Ta_2O_5$ 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향)
-
- Korean Journal of Materials Research
- /
- v.9 no.5
- /
- pp.509-514
- /
- 1999