The electroless nickel plating on high alumina ceramics was performed in the bath containing nickel chloride, sodium hypophosphite and mono- or bi-carboxylic acid as a complexing agent in order to examine the empirical rate law as well as the effects of the complexing agent, plating temperature and pH on the rate of deposition. Adding the carboxylic acid to the plating bath, the rate of deposition was increased considerably, and each of the complexing agents showed a maximum deposition rate plateau around a particular concentration of the complexing agent. The rate of deposition was increased with increasing either temperature or pH, but microstructure of the surface became more rough. Furthermore, empirical rate law of the elecltroless nickel deposition on high alumina ceramics was discussed with the activation energy and other rate parameters calculated.
The machinability of ceramics has been experimentally studied. The experiments were conducted on alumina cernmics of various purity, quartz, and cordierite using the sintered diamond tools and CBN tools. Tool wasre, surface roughness, and cutting resistence were measured and analysed. It was found that the workpieces could be machined with the diamond and CBN tools, but the sintered diamond tools were more efficient for the machining of the high strength ceramics. The machining of alumina ceramics with sintered diamond tools showed that (1) wet machining prolonged tool life comparing with dry machining, (2) workpiecewith higher purity had better surface roughness, (3) severe cutting conditions led to the chipping and fracture of tool and increase of the surface roughness and cutting resistance, (4) 20~40m/min of cutting speed, 0.01~0.02mm/rev of feed, and 0.1~0.2mm of cutting depth are suggested as proper cutting conditions for the high strength ceramics.
The microstructure of $ZrO_2$ toughened $Al_2O_3$ ceramics was carefully controlled so as to obtain dense and fine-grained ceramics, thereby improving the properties and reliability of the ceramics for capillary applications in semiconductor bonding technology. $Al_2O_3-ZrO_2(Y_2O_3)$ composite was produced via Ceramic Injection Molding (CIM) technology, followed by Sinter-HIP process. Room temperature strength, hardness, Young's modulus, thermal expansion coefficient and toughness were determined, as well as surface strengthening induced by the fine grained homogenous microstructure and the thermal treatment. The changes in alumina/zirconia grain size, sintering condition and HIP treatment were found to be correlated.
반응결합 알루미나(RBAO)-SiC 세라믹스를 AI금속분말/$AI_2O_3$/SiC 분말혼합체로부터 제조하였다. 하소알루미나와 용융알루미나를 알루미나 분말공급원으로 사용하였다. 출발원료는 단일구경(3mm)또는 혼합구경(3mm+5mm)의 $ZrO_2$볼로 어트리션 밀링 하였다. 정수압 성형한 시편을 $1100^{\circ}C$까지$ 1.5^{\circ}C$/mim로 1차소성한 다음,$ 1500^{\circ}C$~$1600^{\circ}C$까지 $5^{\circ}C$/mim으로 2차소성하였다. 용융알루미나와의 분말혼합체가 하소알루미나와의 분말혼합체보다 분쇄가 더욱 잘 되었다. 또한 단일구가 혼합구보다 분쇄에 더욱 효율적이었다. $AI_2O_3$ 형태에 따른 반응소결거동에는 별 차이가 없었다.
Ceramics are widely used as plasma resistant materials in semiconductor industries. However, the plasma erosion resistance has not been properly evaluated in terms of microstructural changes during the exposure to plasma. In this study, microstructure developments of $Al_2O_3$ were investigated under the fluorine plasma conditions. In polycrystalline alumina, uniform erosion throughout the specimen as well as spatially distributed local erosion were observed. Local erosion was much more severe in lower purity alumina. In contrast to the polycrystalline alumina, only uniform erosion was observed in single crystalline sapphire. These specimens, however, had practically the same erosion depth, which results in the incorrectly similar plasma resistance. This implies that the plasma erosion resistance of ceramics should be evaluated in terms of the microstructural changes, as well as the conventionally accepted erosion depth.
The low-temperature preparation of porous ceramics was carried out using mixtures of alumina-zinc borosilicate (ZBS) glass. The compositions of alumina-ZBS glass mixture with PMMA pore-former were unfortunately densified. Because PMMA was evaporated below the softening point of ZBS glass ($588{^{\circ}C}$), the densification through the pore-filling caused by the capillary force might occur. Howerver, those with carbon possessed pores where carbon was evaporated above the softening point. The porous ceramic having 35% porosity was successively fabricated by the low-temperature sintering process below $900{^{\circ}C}$ using 45 vol% of alumina, 45 vol% ZBS of glass, and 10 vol% of carbon as starting materials.
Thermal shock behavior of alumina ceramics were studied by quenching the heated alumina specimen into the water of various temperatures over 0~10$0^{\circ}C$. The critical thermal shock temperature difference ( Tc) of the specimen decreased almost linearly from 275$^{\circ}C$ to 20$0^{\circ}C$ with increase in the cooling water temperature over 0~6$0^{\circ}C$. It is probably due to the increase of the maximum cooling rate which is dependent of the convection heat transfer coefficient. The convection heat transfer coefficient is a function of the temperature of the cooling water. However, the critical thermal shock temperature difference( Tc) of the specimen increased at 25$0^{\circ}C$ over 80~10$0^{\circ}C$ due to the film boiling of the cooling water. The maximum cooling rate, which brings about the maximum thermal stress of the specimen in the cooling process, was observed to increase linearly with the increase in the quenching temperature difference of the specimen due to the linear relationship of the convection heat transfer coefficient with the water temperature over 0~6$0^{\circ}C$. The critical maximum cooling rate for thermal shock fracture was observed almost constant to be about 260$\pm$1$0^{\circ}C$/s for all water temperatures over 0~6$0^{\circ}C$. Therefore, thermal shock behavior of alumina ceramics is greatly influenced by the convection heat transfer coefficient of the cooling water.
The effect of fabrication variables and microstructures on the compressive strength of open cell alumina zirconia and silicon nitride ceramics fabricated by polymeric sponge method was investigated. Bulk density and compressive strength of open cell ceramics were mainly affected by coating characteristics of ceramic slurry on polymeric sponge that controlled a shape thickness and defect of the struts. Sintering temperature was optimized for enhancement of strut strength and compressive strength of open cell ceramics. Relative density and compressive strength behaviors were relatively well matched with the predicted values. Open cell ceramics of lower relative density below 0.1 prepared by first relatively well matched with the predicted values. Open cell ceramics of lower relative density below 0.1 prepared by first coating of ceramic slurry had thin triangular prismatic struts that were often broken or longitudinally cracked. With an application of second coating of slurry shape of struts was transformed into thickner cylindrical one and defects in struts were healed but the relative density increased over 0.2 Open cell zirconia had both the highest bulk density and compressive strength and alumina had the lowest compressive strength while silicon nitrides showed relatively high compressive strength and the lowest density. Based upon the analysis open cell silicon nitride was expected to be one of potential structural ceramics with light weight.
Fracture behavior was investigated in the $Al_2O_3-TiO_2(3 wt{\%})-LaPO_4(25 wt{\%}$) composite ceramics. To improve the fracture toughness of alumina ceramics, $TiO_2$ and $LaPO_4$ as a second phase were introduced. The samples were made by conventional powder processing method. Green compacts were sintered at $1600^{\circ}C$ for 2 h in air. Fracture toughness was tested using Indentation Strength Bending(ISB) method. From the bending test, enhanced fracture toughness was found in the composite, compared to the pure and $TiO_2$-doped alumina. The main factor of the enhancement of fracture toughness seems to be attributed to the weak interphase role of the $LaPO_4$ as a particulate type.
The biaxial fracture behavior of alumina ceramics was studied using ball-on-3-ball test. The polished surfaces of alumina specimens were indented at 0mm, 1mm, 2mm, 3mm apart from the center of the specimen along path A, passing between the two supporting balls from the center of the specimen, and along path B, passing above the three supporting balls from the center of the specimen. The fracture strength of the indented specimens was measured using the ball-on-3-ball test, a kind of biaxial strength test. The fracture strength increased with increasing the distance from the center to indented position. The fracture strength of the specimen indented along path B was higher than that of the specimens indented along path A. It was presented that the fracture caused by tangential stress rather than radial stress when the indented positions are 1mm and 2mm from the center of the specimen. This phenomenon was in good agreement with FEM analysis.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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