• 제목/요약/키워드: Alignment mark

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가시광 레이저를 이용한 수광소자의 수동정렬 및 플립칩본딩 (Passive Alignment of Photodiode by using Visible Laser and Flip Chip Bonding)

  • 유정희;이세형;이종진;임권섭;강현서
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.7-13
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    • 2007
  • 광통신용 광모듈에서 광소자와 광섬유 또는 도파로를 정밀하게 정렬 및 접합하기 위하여 플립칩본딩 방법 이 널리 이용되고 있다. 이때 광소자를 정확한 위치에 정렬시키기 위하여 기판과 광소자 양쪽에 정렬용 마크를 제작하고 플립칩본더 등을 사용하여 정렬마크를 관찰하며 광소자를 정렬 및 본딩하게 된다. 본 연구에서는 이러한 정렬마크의 제작비용을 줄이고 광섬유와 수광소자(PD 칩)의 수동정렬을 용이하게 하기 위하여 He-Ne 레이저(파장 633nm)인 가시광을 이용한 정렬 및 플립칩본딩 방법을 연구하였다. 광섬유에서 방출되는 레이저 광을 육안으로 관찰하면서 수광소자를 정렬하므로써 패키징에 소요되는 시간과 경비를 절감하고 광모듈의 저가격화를 실현 할 수 있는 새로운 방법이다. 광섬유에 가공되어 있는 V-노치를 경유하여 가시광이 광섬유에 대해 직각방향으로 방출되고 이것을 수광소자와 정렬하는 방법이다. 본 연구결과 광정렬을 위해 입사된 633 nm파장의 가시광 레이저와 통신용 레이저인 1550 nm 파장사이의 파장 차이에 의한 광경로 차이는 약 4m으로 무시가능하고 최대 광세기 지점에서 ${\pm}20\;{\mu}m$ 범위내에서는 광결합효율 변화는 약 2%이었으며 최대 광결합효율은 약 23.3%이었다.

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화상정렬 시스템을 이용한 잉크젯 반복인쇄기술 (For High Aspect Ratio of Conductive Line by Using Alignment System in Micro Patterning of Inkjet Industry)

  • 박재찬;박성준;서상훈;정재우
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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    • pp.154-154
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    • 2006
  • 글씨 전도성 잉크의 인쇄공정에 있어서 반복인쇄를 정밀하게 수행할 수 있는 기술로서 align system을 개발하였다. 이 system의 resolution 은 0.5um 이며 인쇄 working plate의 이송속도는 최대 1.5m/s 이다. 현재 소성 공정을 포함한 반복인쇄 실험은 30um이상의 drop탄착점 오차를 보이고 있으며, 두께와 전기전도도 향상을 위한 정밀한 align system이 필요하게 되었다. 이를 충족시키기 위해 개발되어진 초정밀 align system은 $1{\sim}2{\mu}m$이내의 오차로 반복인쇄가 가능하며, head가 토출하는 잉크의 straightness 및 전도성 잉크를 토출하는 인쇄평가기의 기계적 정밀도도 확인할 수 있다. 모든 잉크 배선의 두께 항상 인쇄실험이 가능하며, substrate의 종류와 잉크에 제한적이지 않다. 특히 prototype의 기판배선을 위해 PCB에 배선을 형성할 시에 본 system으로 직접 align mark를 지정할 수 있어 기판 내에 미리 제작되어진 align용 인식마크가 불필요하다. 이 system을 이용하여 drop과 배선의 반복인쇄실험을 진행하였으며, 광학현미경과 3D profiler를 사용하여 분석해 보았다.

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Efficient Translational Motion Compensation for Micro-Doppler Extraction of Ballistic Missiles

  • Jung, Joo-Ho;Kim, Si-Ho;Choi, In-O;Kim, Kyung-Tae;Park, Sang-Hong
    • International Journal of Aeronautical and Space Sciences
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    • 제18권1호
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    • pp.129-137
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    • 2017
  • When the micro-Doppler (MD) image of a ballistic missile is derived, the translational motion compensation (TMC) method is usually applied to the inverse synthetic aperture radar (ISAR) image, but yields poor results because of the micro-motion of the ballistic missile. This paper proposes an efficient TMC method to obtain a focused MD image of a ballistic missile engaged in complicated micro-motion. During range alignment, range profiles (RPs) are coarsely aligned by using the 1D entropy cost function of RPs as a mark, then the coarsely-aligned RPs are fine-aligned by using the minimum 2D entropy of the MD image. During phase adjustment, the gradient of the phase error is appropriately weighted and added to the previous phase error to further fine-tune the aligned RPs. In simulations using the point scatterer model and the measured data from the real missile model, the proposed method provided better image focus than the existing method.

토릭소프트콘택트렌즈의 착용 후 축 정렬 상태의 변화 분석 (Analysis of Axial Mis-alignment After Wearing of Toric Soft Contact Lenses)

  • 김상엽;이동열;이선행;김건규;송섭;조현국
    • 한국안광학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.213-217
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    • 2010
  • 목적: 토릭소프트콘택트렌즈(TSCL) 최초 착용 후 발생한 축의 정렬상태 변화를 분석하여 추적검사에 의한 피팅의 필요성을 강조하고자 하였다. 방법: 근시성 난시 87안을 대상으로 시험콘택트렌즈를 1주일 간 착용시킨 후, 틈새 등현미경을 이용하여 시험렌즈에 표시된 축 표시의 정렬상태를 관찰하여 회전된 축을 LARS법에 따라 교정하였다. 최종 교정 후 축 정렬상태를 최초 처방값과 비교하여 변화된 축의 회전율, 회전 각도, 그리고 회전방향을 처방 렌즈의 원주굴절도와 구면굴절도에 따라 나누어 분석하였다. 결과: 원주굴절력이 클수록, (-)구면굴절력이 클수록 TSCL의 축 회전율은 높았으나 회전 각도는 평균 $10^{\circ}{\sim}13^{\circ}$로 굴절력 정도에 따른 차이가 없었다. 그리고 축 회전방향은 코쪽보다 귀쪽으로 회전한 비율이 더 높았다. 결론:TSCL 착용 후 축 회전은 시력저하를 유발하므로 반드시 추적검사 결과에 따라 축 정렬 조정을 실시하여야 한다.

거리변환을 이용한 fiducial 마크 정렬 알고리즘 (Fiducial mark alignment using distance transform)

  • 최학남;박은수;최효훈;김학일
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2010년도 한국컴퓨터종합학술대회논문집 Vol.37 No.1(C)
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    • pp.442-446
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    • 2010
  • 본 논문에서는 거리변환 기반의 정밀한 fiducial 마크 정렬 알고리즘을 제안한다. 거리변환은 물체의 중심에 가중치를 가지는 특성이 있는데 이는 AOI 공정에서 에칭, 이동과 같은 다양한 요소들로부터 획득되는 타겟영상에 대하여 강인하게 물체의 중심으로 매칭할 수 있도록 한다. 제안한 방법은 우선 입력 타겟영상에 대하여 이진화를 진행하고, 다음 모델과 타겟영상에 대하여 거리변환을 이용하여 거리특징을 추출하고, 추출된 모델과 타겟영상에 대한 거리특징을 NCC(Normalized Cross Correlation)를 이용하여 매칭한 후, 매칭 스코어에 대하여 Sub-pixel 분석을 진행하여 sub-pixel 레벨의 정확도를 가지도록 한다. 실험결과로부터 제안한 거리특징을 이용한 매칭 알고리즘이 기존의 픽셀 밝기 값을 이용한 매칭보다 강인하고 정확하게 매칭됨을 확인할 수 있었다.

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FPD용 노광 스테이지의 통합 제어시스템 구현 (Implementation of Exposure Stage Integrated Control System for FPD)

  • 김종원;서재용;조현찬;조태훈;강흥석
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.11-15
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    • 2006
  • Expose equipment system that is used for manufacturing process of Flat Panel Display, is most important equipment in whole process. Expose equipment that is for making pattern of mask on substrate, consists of optical part, stage part and transport part. The stage is an important part that aligns mask and substrate for delivering pattern of mask to substrate exactly. In this paper, control system of expose stage that is able to use mask and substrate of diverse size, with PC controller using GUI interface instead of PLC control system. The existing PLC control system does not have the suitable structure for using mask of diverse size. GUI interface integration control system is based on PC. So it has the advantage of convenient use and active operation. We embodied PLC control system in integration control system based on PC, and verified utility possibility through the standard test course.

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합착용 복합레진시멘트로 합착한 Machinable Ceramic과 상아질 사이의 인장강도에 대한 실험적 연구 (TENSILE STREGNTH BETWEEN MACHINABLE CERAMIC AND DENTIN CEMENTED WITH LUTING COMPOSITE RESIN CEMENTS)

  • 조병훈
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제23권1호
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    • pp.487-501
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    • 1998
  • In the case of CAD/CAM ceramic inlay restorations, if isthmus width is widened too much, it may cause fracture of remaining tooth structure or loss of bonding at the luting interface because of excessive displacement of buccal or lingual cusps under occlusal loads. So to clarify the criterior of widening isthmus width, this study was designed to test the tensile bond strength and bond failure mode between dentin and ceramic cemented with luting composite resin cements. Cylindrical ceramic blocks(Vita Cerec Mark II, d=4mm) were bonded to buccal dentin of 40 freshly extracted third molars with 4 luting composite resin cements(group1 : Scotchbond Resin Cement/Scotchbond Multi-Purpose, group2 : Duolink Resin Cement/ All-Bond 2, group3: Bistite Resin Cement/Ceramics Primer, and group4:Superbond C&B). Tensile bond test was done under universal testing machine using bonding and measuring alignment blocks(${\phi}ilo$ & Urn, 1992). After immersion of fractured samples into 1 % methylene blue for 24 hours, failure mode was analysed under stereomicroscope and SEM. Results: The tensile bond strength of goup 1, 2 & 4 was $13.97{\pm}2.90$ MPa, $16.49{\pm}3.90$ MPa and $16.l7{\pm}4.32$ MPa, respectively. There was no statistical differences(p>0.05). But, group 3 showed significantly lower bond stregnth($5.98{\pm}1.l7$ MPa, p<0.05). In almost all samples, adhesive fractures between dentin and resin cements were observed. But, in group 1, 2 & 4, as bond strength increased, cohesive fracture within resin cement was observed simultaneously. And, in group 3, as bond strength decreased, cohesive fracture between hybrid layer and composite resin cement was also observed. Cohesive fracture within dentin and porcelain adhesive fracture were not observed. In conclusion, although adhesive cements were used in CAD/CAM -fabricated ceramic inlay restorations, the conservative priciples of cavity preparation must be obligated.

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전산화 단층촬영 모의치료기 정도관리 팬텀의 유용성 평가 (Efficiency Evaluation of CT Simulator QA Phantom)

  • 황세하;민제순;이제희;박흥득
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.89-95
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    • 2009
  • 목 적: 전산화단층촬영 모의치료기의 일일 정도 관리를 편리하고 신속하게 시행 할 수 있는 팬텀을 제작하여 유용성을 평가한다. 대상 및 방법: 폴리스타일렌 팬텀($250{\times}250{\times}100\;mm$)에 영상에서의 측정치와 실측정치의 정확성 확인을 위하여 홈($1{\times}100{\times}1\;mm$)을 만들었으며 테이블 이동의 정확성 평가를 위하여 중심부에서 위와 아래쪽 100 mm 지점에 직경 1 mm 크기의 홈을 만들어 방사선 비 투과 물질을 삽입하였다. 레이저의 정확성 평가를 위하여 팬텀 좌, 우측 수직선상에 십자 표시를 하였고 CT Number의 정확성 평가를 위하여 직경 25 mm, 깊이 50 mm의 원기둥 3개를 만들어 뼈 등가물질, 물, 공기를 삽입하였다. 제작한 팬텀을 전산화단층촬영 모의치료기(Brilliance BigBore, Philips, Netherlands)를 사용하여 촬영한 후(촬영조건 120 KVp, 100 mAs, 단면 두께 1 mm 연속촬영) 영상을 이용하여 측정치와 실측정치의 정확성, 테이블 이동, 레이저, CT Number의 정확성을 평가 하였다. 결 과: 제작한 팬텀을 이용하여 2008년 1월 7일부터 3월 7일까지 약 2개월 동안 본원에 설치되어 있는 전산화단층촬영 모의 치료기의 일일 정도관리에 사용해 본 결과 영상에서의 측정치와 실측정치의 정확성은 ${\pm}0.3\;mm$, 테이블 이동의 정확성은 ${\pm}0.3\;mm$, 레이저 정확성은 ${\pm}0.5\;mm$로 기준치인 ${\pm}1\;mm$ 오차범위 이내로 측정 되었으며 CT Number의 정확성 평가에서 뼈 등가 물질은 ${\pm}8\;HU$, 공기는 ${\pm}5\;$, 물은 ${\pm}5\;HU$로 기준치인 ${\pm}10\;HU$ 오차범위 이내로 측정되었다. 결 론: 본원에서 제작한 팬텀의 이용으로 신속하고 간편하게 레이저 장치의 정확성과 전산화단층촬영 모의치료기의 성능평가를 동시에 시행 할 수 있었으며 기존에 실시하던 일일 정도관리 항목에 영상을 이용한 평가 항목을 추가 보완함으로서 보다 정확한 치료 계획 과정을 수립 할 수 있을 것으로 사료된다.

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