Programmed APTES and OTS Patterns for the Multi-Channel FET of Single-Walled Carbon Nanotubes (SWCNT 다중채널 FET용 표면 프로그램된 APTES와 OTS 패턴을 이용한 공정에 대한 연구)
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- The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
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- v.8 no.1
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- pp.37-44
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- 2015