2원전자빔 증착법에 의한 티타늄붕화물($\textrn{TiB}_{x}$ ) 박막의 성장특성
(Growth characteristics of titanium boride($\textrn{TiB}_{x}$ ) thin films deposited by dual-electron-beam evaporation)
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- 한국결정성장학회지
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- 제11권1호
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- pp.20-26
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- 2001