Improvement of c-axis orientation of ZnO thin film prepared on pre-heated substrate with cooling during RF sputter deposition (RF 스퍼터를 이용하여 미리 가열된 기판을 냉각하며 증착한 ZnO 박막의 c축 배향성 향상에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2006.10a
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- pp.24-25
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- 2006