Effects of substrate temperature and Al concentration on electrical properties and microstructure of AZO films (Al 첨가량 및 기판온도가 AZO박막의 전기적 특성 및 미세구조에 미치는 영향)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 2007.11a
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- pp.97-98
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- 2007