The semiconductor industry has been developed mainly by micronization process due to many advantages of miniaturization of devices. Mass production of semiconductors of 10 nm class has been started recently, and it is expected that the technology generation of 5 nm & 7 nm technology will come. However, excessive linewidth reduction affects physical limits and device reliability. To solve these problems, new process technology development and new concept devices are being studied. In this review, we introduce the next generation technology and introduce the advanced research for the new concept device.
본 연구에서는 근 자외선 및 가시광 영역에서 우수한 발광 강도를 가지는 적색 형광체를 얻기 위하여 고상 반응법으로 합성하여 $EU^{3+}$와 $Bi^{3+}$가 도핑 된 ${Y_2}{SiO_5}$의 발광 특성을 관찰하였다. 근자외선 영역인 ${\lambda}_{ex}=395nm$ 기준으로 측정하였고, $^5D_0-^7F_2$의 에너지 천이에 의해 612 nm 영역에서 강한 peak가 발생하였다. CST가 $Eu^{3+}-O^{2-}$에 의해 258 nm 영역 대에서 생성되었고, $Bi^{3+}$가 함께 도핑 된 것은 $Eu^{3+}-Bi^{3+}-O^{2-}$에 상호작용에 의해 282 nm 영역대의 장파장 쪽으로 이동하였다. $350\;nm{\sim}480\;nm$ 영역 대에 '$^7F_0{\to}^5L_9$ (364 nm), $^7F_0{\to}^5G_3$(381 nm), $^7F_0{\to}^5L_6$(395nm), $^7F_0{\to}^5D_3$(415 mn) and $^7F_0{\to}^5D_2$(466 nm)는 $Bi^{3+}$와 $EU^{3+}$ f-f 천이에 의해 발생하였다. $Bi^{3+}$의 도핑농도가 증가할수록 발광 강도가 증가함을 보이다가 0.125 mol 일 때 발광강도가 가장 우수하였고, $Bi^{3+}$의 도핑 농도가 0.125 mol 이상 되면 발광강도가 현저히 감소하는 것을 확인하였다.
이 연구는 $15^{\circ}C$에서 10시간동안 pH 5 환경과 461-nm LED를 조사하였을 때 S. aurues (MRSA 포함), E. coli (E.coli O157:H7 포함)의 살균 효과를 측정하고자 수행하게 되었다. 461-nm LED만을 10시간동안 조사하였을 때. S. aureus (MRSA 포함)은 4 log CFU/mL 감소하였다. 그리고 E. coli (E. coli O157:H7 포함)는 9시간동안 조사하였을 때 불활성화되었다. 그러나 pH 5와 461-nm LED를 함께 조사한 결과, 모든 균주들은 7시간동안 조사하였을 때 불활성화되었다. 이 가시광선 불활성화 결과는 외인성의 광감각제없이 이루어 졌다. 461-nm LED만을 조사하였을 때, 가장 높은 D값은 S. aureus (ATCC 27664)으로 5.05시간이었으며 가장 낮은 D값은 E. coli O157: H7 (ATCC 35150)으로 1.39시간이었다. pH 5와 461-nm LED를 함께 조사한 결과, 가장 높은 D값은 S. aureus (ATCC 19095)의 1.58시간이었으며, 가장 낮은 D값은 S. aureus (ATCC 27664)의 0.83시간이었다. 본 연구 결과는 pH 5와 461-nm LED를 함께 조사한 것이 461 nm LED 한가지 환경보다 살균효과가 증가되었다는 것을 보여준다.
Studies on plants such as lotus leaf suggested that dual-scale structure could contribute to super-hydrophobicity. We introduced super-hydrophobicity onto poly(ethylene terephthalate)(PET) fabric with dual-scale structure by assembling $TiO_2$ nano sol. PET fabric was treated with $TiO_2$ sol, water-repellent agent using various parameters such as particle size, concentration. Morphological changes by particle size were observed using field emmission scanning electron microscopy(FE-SEM) and AFM measurement, contact angle measurement equipment. The contact angle of water was about 138.5$^{\circ}$, 125.8$^{\circ}$, 125.5$^{\circ}$ and 108.9$^{\circ}$ for PET fabric coated with 60.2nm, 120.1nm, 200nm and 410.5nm $TiO_2$ particles, compared with about 111.5$^{\circ}$ for PET fabric coated with water repellent. When we mixed particle sizes of 60.2nm and 120.1nm by 7:3 volume ratio, the contact angle of water was about 132.5$^{\circ}$. And we mixed particle sizes of 60.2nm and 200nm by 7:3 volume ratio, the contact angle of water was about 141.8$^{\circ}$. Also we mixed particle sizes of 60.2nm and 410.5nm by 7:3 volume ratio, the best super-hydrophobicity was obtained. In this paper, we fabricated various surface structures to the water-repellent surfaces by using four types of $TiO_2$ nano-particles, and we found that the nanoscale structure was very important for the super-hydrophobicity.
이 연구는 3가지 유형의 식중독균인 E. coli O157:H7, S. aureus 그리고 V. parahaemolyticus의 in vitro를 통해 461 nm LED의 살균효과를 입증하였다. Bacterial cultures는 약 $15^{\circ}C$에서 10시간동안 LED에 노출되었다. 3종의 E. coli, ATCC 8739, ATCC 43894, ATCC 35150 과 3 종의 S. aureus, ATCC 43300, ATCC 19095, ATCC 27664의 bacteria cultures는 각각 461 nm LED에서 10시간 조사된 후 평균적으로 6, 2.5, 6, 2.5, 2, 1.5 log CFU/mL 감소하였다(p<0.05). 반면에 V. parahaemolyticus, ATCC 43969는 461 nm에서 4시간 노출된 후 6 log CFU/mL 감소하였다. 이 결과는 그람양성균과 그람음성균 모두 불활성화 되었으며 461 nm LED 노출에 의해 그람양성균보다 그람음성균이 더 민감함을 보여준다. 그러므로 이 결과는 LED의 사용이 식품보존과 응용기술로써 잠재력이 있음을 나타낸다.
본 연구는 $15^{\circ}C$ 저온환경에서 642 nm, 521 nm, 그리고 461 nm LED를 이용하여 E. coli O157:H7, S. aureus의 식중독균에 대해 pH 7.2, 4.0, 3.5의 환경에서 10시간 동안 조사 후 살균 효과를 측정하였다. 이는 화학적 photosensitizer 없이 직접 조사로 이루어졌다. 642 nm 적색 LED와 521 nm 녹색 LED는 pH 7.2에서 미생물을 효과적으로 저해시키지 못했다. 반면 461 nm 청색 LED는 모든 pH 환경에서 가장 높은 살균 효과를 나타냈다. 특히 pH 3.5 환경은 모든 균종에서 높은 생육 저해가 이루어져 그람음성균과 그람양성균에 관계없이 높은 살균 효과를 나타냈다. 모든 파장에서 pH는 강한 산성 환경이 형성될수록 높은 살균 효과가 나타나 pH 3.5의 환경에서 가장 효과적인 저해가 일어났다. 본 연구의 결과는 LED 처리 및 산 환경과의 조합을 통해 식품산업의 미생물 안전성을 증진시키는 새로운 살균 처리 기술로 적용하기 위한 기초자료로의 이용이 가능할 것으로 판단된다.
일본 동경만 입구에서의 해수의 광학적 성질을 조사하기 위하여, 1985년 4월에 동경만 입구의 6개 관측점에서 투명도, 수색, 태양광도, 태양광의 8가지에 대한 해수의 표면조도 및 수중조도 등을 조사한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 본 조사해역의 투명도는 7.2 m (6-9.5 m)였고, 수색은 9 (6.5-10.5)였다. 2. 해수의 평균소산계수는 0.300 (0.084-0.774)였고, 파장별로는 677nm가 0.498, 653nm가 0.402, 621nm가 0.378, 422nm가 0.258, 378nm가 0.230, 481nm가 0.226, 513nm가 0.213, 570nm가 0.195의 순으로 작게 나타났다. 3. 해수의 소산계수 K와 투명도 D와의 관계는 K=2.61/D였다. 4. 태양고도는 52.56$^{\circ}$(31.68-66.76$^{\circ}$)로 나타났다. 5. 태양광선의 표면광에 대한 해수투과율은 수심 1m 층에서 69.30% (57.33-77.40%), 5m 층에서 17.66% (6.3-27.90%), 10m 층에서 4.47%(0.6-9.17%), 20m 층에서 0.77% (0.02-22.99%)로 나타났다. 6. 투명도층에서의 태양광선의 표면광에 대한 해중투과율은 9.91% (0.51-22.99%)였고, 677nm (적)의 광이 2.61%로서 가장 적었으며 570nm(황녹)의 광이 17.57%로서 가장 많았다.
본 연구는 고상법으로 형광체를 합성하였다. 모체 물질은 $La_2W_3O_{12}$에 활성제로 $Eu^{3+}$이온을 첨가하여 활성제 조성변화에 따른 XRD 분석과 여기 및 방출 스펙트럼 및 온도에 따른 형광 스펙트럼 분석과 수명시간을 측정하였다. $La_2W_3O_{12}:Eu^{3+}$의 1 mol%의 XRD 스펙트럼은 ICSD 카드 (78180)에 보고된 데이터 스펙트럼과 비교하였을 때 XRD 스펙트럼이 잘 일치함을 확인 하였다. $La_2W_3O_{12}$ 형광체에 활성제로 $Eu^{3+}$이온 1 mol%를 첨가한 여기 스펙트럼에서는 286 nm 근처에서 286 nm 넓은 전하전달밴드가 관찰된다. 이 전하전달밴드는 $WO_4$그룹과 $Eu^{3+}$이온의 전하 전달 밴드이며 $O^{2-}-W^{6+}$, $O^{2-}-Eu^{3+}$의 ligand-to-metal 전하 전달 흡수가 이루어진다. 350~500 nm 영역에서는 $Eu^{3+}$의 f-f 전이에 의한 피크가 나타났다. 여기 스펙트럼에서 $Eu^{3+}$의 $^7F_0{\rightarrow}{^5D_4},{^5D_4},{^5L_6},{^5G_4},{^5D_3},{^5D_2}$ 전이에 해당한다. 방출 스펙트럼은 280, 395 nm로 각각 여기한 결과 $Eu^{3+}$이온의 $^5D_0{\rightarrow}^7F_2$(618nm)에서 강한 피크가 보였다. 희토류 이온이 도핑 되지 않은 $La_2W_3O_{12}$ 형광체를 266 nm로 여기하여 온도에 변화 따른 방출 스펙트럼은 저온에서 상온으로 갈수록 형광의 세기가 약하게 나타났다. 온도에 따른 수명시간은 7 K($114{\mu}s$), 100 K($94{\mu}s$), 200 K($10{\mu}s$), 300 K($0.5{\mu}s$)로 나타났다.
수도권에 위치한 S매립장 내 3개의 매립장을 대상으로 매립가스 배출 및 주요 경로별 표면발산과 관련된 분석을 하였다. 전체 매립가스 발생비율 10.9%인 LS1이 총 표면발산 비중은 49.4%를 차지하고 있었다. 3개 매립장에서의 메탄의 총 표면발산은 13.6 Nm3/min로서, LS1 8.4 Nm3/min (61.7%), LS2 4.0 Nm3/min(29.4%), LS3 1.2 Nm3/min(8.9%)이고, 발산경로별로는 상부 7.3 Nm3/min (53.2%), 사면 6.4 Nm3/min(46.7%), 다이크 0.02 Nm3/min(0.1%)이었다. 3개 매립장의 주요 배출경로별 산화율은 다이크가 87.5%로 가장 크고, 상부 72.3%, 사면 71.8% 순이었다. 메탄을 기준으로 표면발산 기여율은 매립장 별로 LS1이 전체의 61.7%로 가장 컸다. 주요 배출경로별로는 LS1의 사면이 전체의 41.7%, LS2의 상부 24.4%, LS1의 상부 20.0%로서 S매립장의 전체 메탄 표면발산량의 86.1%를 차지함에 따라 향후 집중적인 관리가 필요할 것으로 판단되었다.
본 연구에서는 4가지 일반적인 식중독 병원균인 Escherichia coli, Salmonella typhimurium, Staphylococcus aureus, Bacillus subtilis에 대해 270 nm UV C-LED, 365 nm UV A-LED, 465~475, 620~630 nm visible-LED, 850, 5,000~7,000 nm infrared-LED를 조사하여 각 세균의 성장에 미치는 영향을 조사 하였다. 270 nm UV C-LED의 경우, 10 min 또는 30 min 조사 시 4가지 균주 모두 대조구에 비해 억제 효과를 나타냈다. 또한 365 nm UV A-LED를 1시간 또는 3시간 조사한 경우 B. subtilis의 100% 생장 억제를 보였다. 465~475 nm visible-LED를 1시간 조사한 경우, 4 종류 균주 모두 대조구과 유의 한 차이가 없었으며, 3시간 조사 시 유의한 성장 억제를 보였다. 620~630 nm visible-LED를 처리한 S. aureus와 B. subtilis, 850 nm infrared-LED를 처리한 S. typhimurium과 S. aureus, 5,000~7,000 nm infrared-LED를 처리한 E. coli, S. typhimurium 및 S. aureus는 각각 대조구에 비해 증식되는 것으로 확인되었다. 이에 따라 다양한 LED 광원의 사용을 통해 식중독 미생물의 억제 및 증식 효과를 확인한 바, 다양한 LED 광원의 파장 특성을 이용한 식품 보존과 응용 기술로서의 잠재력이 있음을 시사한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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