• 제목/요약/키워드: 3-D.O.F.

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F-RPN(Failure-RPN)을 이용한 장비 고장률 개선 연구: 반도체 식각 공정을 중심으로 (A Study on Machine Failure Improvement Using F-RPN(Failure-RPN): Focusing on the Semiconductor Etching Process)

  • 이형근;홍용민;강성우
    • 대한안전경영과학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.27-33
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    • 2021
  • The purpose of this study is to present a novel indicator for analyzing machine failure based on its idle time and productivity. Existing machine repair plan was limited to machine experts from its manufacturing industries. This study evaluates the repair status of machines and extracts machines that need improvement. In this study, F-RPN was calculated using the etching process data provided by the 2018 PHM Data Challenge. Each S(S: Severity), O(O: Occurence), D(D: Detection) is divided into the idle time of the machine, the number of fault data, and the failure rate, respectively. The repair status of machine is quantified through the F-RPN calculated by multiplying S, O, and D. This study conducts a case study of machine in a semiconductor etching process. The process capability index has the disadvantage of not being able to divide the values outside the range. The performance of this index declines when the manufacturing process is under control, hereby introducing F-RPN to evaluate machine status that are difficult to distinguish by process capability index.

습식화학공정에 의한 광촉매용 TiO2 3차원 나노구조체 제조 연구 (Study on the Preparation of TiO2 3D Nanostructure for Photocatalyst by Wet Chemical Process)

  • 이덕희;박재량;이찬기;박경태;박경수
    • 한국분말재료학회지
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    • 제27권5호
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    • pp.381-387
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    • 2020
  • In this work, TiO2 3D nanostructures (TF30) were prepared via a facile wet chemical process using ammonium hexafluorotitanate. The synthesized 3D TiO2 nanostructures exhibited well-defined crystalline and hierarchical structures assembled from TiO2 nanorods with different thicknesses and diameters, which comprised numerous small beads. Moreover, the maximum specific surface area of TiO2 3D nanostructures was observed to be 191 ㎡g-1, with concentration of F ions on the surface being 2 at%. The TiO2 3D nanostructures were tested as photocatalysts under UV irradiation using Rhodamine B solution in order to determine their photocatalytic performance. The TiO2 3D nanostructures showed a higher photocatalytic activity than that of the other TiO2 samples, which was likely associated with the combined effects of a high crystallinity, unique features of the hierarchical structure, a high specific surface area, and the advantage of adsorbing F ions.

YAlO3:Tbx3+에서 발광소멸 곡선을 이용한 에너지 전달에 관한 연구 (A Study on the Energy Transfer of YAlO3:Tbx3+ using Decay Curves)

  • 김광철;최진수
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.13-17
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    • 2015
  • $YAlO_3:Tb{_x}^{3+}$ has been synthesized by a combustion process and the concentration x of Tb was varied from 0.001 and 0.05 mol% per mole of YAlO3. The energy transfer of $^5D_3{\rightarrow}^7F_6$(385nm) and $^5D_4{\rightarrow}^7F_5$(544nm) transitions on the $YAlO_3:Tb{_x}^{3+}$(x =0.001, 0.05) have been investigated by using decay curves. The energy transfer mechanism was explained by Inokuti and Hirayama model. The results of calculation and fitting showed that values of n are 6.11(x=0.01) and 6.13(x=0.005). These indicate that the energy transfer mechanism between $Tb^{3+}$ ions is dipole-dipole interaction.

시식 후 물관리 방법이 실소의 동태 및 이용효율에 미치는 영향 (Effect of Water Management after Fertilizer Application on Fate and Efficiency of Applied Nitrogen)

  • 이변우;명을재;최관호
    • 한국작물학회지
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    • 제40권2호
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    • pp.157-166
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    • 1995
  • 이질 1개월전 시비 후 물관리방법에 따른 대소의 동태 및 이용효율을 비종별로 검토하고자 복비 노적인 13-10-11(F-1), 수도기 비용복합비료인 21-17-17(F-2), 벼 복합비료인 15-10-10(F-3)를 공시하여, 30일간 무항수(0dF), 10일 담수한 다음 20일 방치 (10dF), 20일 담수한 다음 10일 방치(20dF), 30일 담수(30dF)하는 처리를 하였으며 시비후 30일부터는 모든 처리에 계속 담수를 하는 방법으로 물관리를 하면서 침투수로 변탈된 질소량, 토양의 무기태질소량를 정량하였고, 대기중으로 손실된 질소량을 추정하였다. 담수기간 중 관개수의 침투율은 2.5mm/일로 하였다 벼의 대소 이용효율은 시비후 40일에 이질하고 관수상태에서 벼를 재배하여 이앙후 72일에 평가하였다 1. 침투수의 pH는 천수기간이 길수록 상승하였으며, F-2에서 가장 높았고, F-1과 F-3간에는 차이가 없었다. 2. F-1의 토양중 전질소함량은 초기에는 완만히 감소하였으나 지속적으로 감소하였고, F와 F는 초기에 급속히 감소한 후 완만히 감소하였으며, 담수처리기간이 길수록 전질소 함양은 빨리 감소하였다. 3. 시비 63일 후에 토양에 남아 있는 무기태질소의 시용대소에 대 한 비 을은 F-1, F-2, F-3에서 각각 23, 29, 29.1%였고, 무담수처리는 45.0%, 10dF, 20dF, 30dF에서 는 각각 26.6, 24.8, 20.3%로 담수처리기간이 짧을수록 높았다. 4. 시비후 63일동안 침투수로 호탈된 질소의 시용질소에 대한 비을은 F-1, F-2, F-3에서 각각 51.3, 32.1, 48.1%였으며, 담수직후 급격히 유실되었고, 0dF, 10dF. 20dF, 30dF에서 각각 25.7, 29.8, 32.7, 35.8%로 담수기간이 길수록 높았다. 5. 시비한 다음 벼 이앙 72일후까지 시용질소의 손실량은 F-1>F-2>F-3의 순으로 많았는데, F-1은 침투수에 의한 손실이 가장 많았고 휘산에 의한 손실도 많았으며 F-2는 휘산에 의한 손실이 특히 많았기 때문이었다. 6. 시비한 다음 벼 이앙 72일후까지 물관리 방법에 따른 시용질소의 손실량은 20dF$\geq$30dF>10dF>0dF의 순으로 많았는데, 20dF는 휘산에 의한 손실이 가장 많았고 침투수에 의한 손실도 많았으며, 30dF는 침투수에 의한 질소의 손실이 가장 많았기 때문이었다. 7 이앙 후 72일간 벼 지상부에 의한 시용질소이용율은 F-1, F-2, F-3에서 각각 23.2, 24.7,27.4%였고, 0dF, 10dF, 20dF, 30dF에서 는 각각 34.1, 25.5, 21.1, 21.2%로 담수기간이 짧을수록 높았다.

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N-(Diphenylmethylene)aminomethylphosphonate의 결정 구조 (The Crystal Structure of N-(Diphenylmethylene) aminomethylphosphonate)

  • 김문집;박호종;김대영
    • 한국결정학회지
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    • 제13권2호
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    • pp.86-90
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    • 2002
  • X-선 회절법을 이용하여 N-(Diphenylmethylene)aminomethylphosphonate의 결정 구조를 규명하였다. 이 결정의 결정계는 삼사정계이며 공간군은 P(equation omitted)이다. 단위포 상수는 a=8.967(2) (equation omitted), b=9.309(2) (equation omitted), c= 10.981(2) (equation omitted), α=101.42(2)°, β=92.22(2)°, γ=92.23(2)°, V=896.8(3) (equation omitted), T=296 K, Z=2, D/sub c/=1.227 Mgm/sup -3/이다. 회절반점들의 세기는 Enraf-Nonius CAD-4 Diffracto-meter로 얻었으며 MoKα선(λ=0.7107(equation omitted))을 사용하였다. 분자 구조는 직접법으로 풀었으며, F/sub o/>4σ(F/sub o/)인 979개의 독립 회절 데이터에 대하여 최소자승법으로 209개의 변수를 정밀화하여 최종 신뢰도 값 R=7.3%을 얻었다.

융제 및 Ta5+ 치환이 Lu(Nb,Ta)O4:Eu3+ 형광체의 발광 특성에 미치는 영향 (Effects of Flux and Ta5+ Substitution on the Photoluminescence of Lu(Nb,Ta)O4:Eu3+ Phosphors)

  • 김지원;김영진
    • 한국재료학회지
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    • 제29권9호
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    • pp.559-566
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    • 2019
  • $Lu(Nb,Ta)O_4:Eu^{3+}$ powders are synthesized by a solid-state reaction process using LiCl and $Li_2SO_4$ fluxes. The photoluminescence (PL) excitation spectra of the synthesized powders consist of broad bands at approximately 270 nm and sharp peaks in the near ultraviolet region, which are assigned to the $Nb^{5+}-O^{2-}$ charge transfer of $[NbO_4]^{3-}$ niobates and the f-f transition of $Eu^{3+}$, respectively. The PL emission spectra exhibit red peaks assigned to the $^5D_0{\rightarrow}^7F_J$ transitions of $Eu^{3+}$. The strongest peak is obtained at 614 nm ($^5D_0{\rightarrow}^7F_2$), indicating that the $Eu^{3+}$ ions are incorporated into the $Lu^{3+}$ asymmetric sites. The addition of fluxes causes the increase in emission intensity, and $Li_2SO_4$ flux is more effective for enhancement in emission intensity than is LiCl flux. The substitution of $Ta^{5+}$ for $Nb^{5+}$ results in an increase or decrease in the emission intensity of $LuNb_{1-x}Ta_xO_4:Eu^{3+}$ powders, depending on amount and kind of flux. The findings are explained using particle morphology, modification of the $[NbO_4]^{3-}$ structure, formation of substructure of $LuTaO_4$, and change in the crystal field surrounding the $Eu^{3+}$ ions.

BaMoO4:Tb3+ 형광체의 발광과 농도 소광 특성 (Photoluminescence and Concentration Quenching Properties of BaMoO4:Tb3+ Phosphors)

  • 조신호;김진대;황동현;조선욱
    • 한국재료학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.67-72
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    • 2016
  • $BaMoO_4:Tb^{3+}$ phosphor powders were synthesized with different concentrations of $Tb^{3+}$ ions using the solid-state reaction method. XRD patterns showed that all the phosphors, irrespective of the concentration of $Tb^{3+}$ ions, had tetragonal systems with two main (112) and (004) diffraction peaks. The excitation spectra of the $Tb^{3+}$-doped $BaMoO_4$ phosphors consisted of an intense broad band centered at 290 nm in the range of 230-330 nm and two weak bands. The former broad band corresponded to the $4f^8{\rightarrow}4f^75d^1$ transition of $Tb^{3+}$ ions; the latter two weak bands were ascribed to the $^7F_2{\rightarrow}^5D_3$ (471 nm) and $^7F_6{\rightarrow}^5D_4$ (492 nm) transitions of $Tb^{3+}$. The main emission band, when excited at 290 nm, showed a strong green band at 550 nm arising from the $^5D_4{\rightarrow}^7F_5$ transition of $Tb^{3+}$ ions. As the concentration of $Tb^{3+}$ increased from 1 to 10 mol%, the intensities of all the emission lines gradually increased, approached maxima at 10 mol% of $Tb^{3+}$ ions, and then showed a decreasing tendency with further increase in the $Tb^{3+}$ ions due to the concentration quenching effect. The critical distance between neighboring $Tb^{3+}$ ions for concentration quenching was calculated and found to be $12.3{\AA}$, which indicates that dipole-dipole interaction was the main mechanism for the concentration quenching of the $^5D_4{\rightarrow}^7F_5$ transition of $Tb^{3+}$ in the $BaMoO_4:Tb^{3+}$ phosphors.

$WO_3$를 이용한 박막형 슈퍼캐패시터의 제작 및 특성 평가 (Fabrication and Characterization of Thin Film Supercapacitor using $WO_3$)

  • 신호철;신영화;임재홍;윤영수
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.575-578
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    • 2000
  • In this work, all solid-state thin film supercapacitor(TFSC) was fabricated using tungsten trioxide (WO$_3$) with a structure WO$_3$/LiPON/WO$_3$/Pt/TiO$_2$/Si (substrate). After TiO$_2$ was deposited on Si(100) wafer by d.c. reactive sputtering, the Pt current collector films were grown on TiO$_2$glue layer without breaking vacuum by d.c. sputtering. Fabrication conditions of WO$_3$ thin film were such that substrate temperature, working pressure, gas ratio of $O_2$/Ar and r.f. power were room temperature, 5 mTorr, 20% (O$_2$(8sccm)/Ar(32sccm)) and 200W, respectively. LiPON electrolyte film were grown on the WO$_3$ film using r.f. magnetron sputtering at room temperature. The XRD pattern of the as-deposited WO$_3$ thin film were shown no crystalline peak (amorphous). The SEM image of as-deposited WO$_3$ thin film showed that the surface is smooth and uniform. The capacitiy of as-fabricated TFSC was 0$\times$10$^{-2}$ F/$\textrm{cm}^2$-${\mu}{\textrm}{m}$.

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2D 영상센서 기반 6축 로봇 팔 원격제어 (A Remote Control of 6 d.o.f. Robot Arm Based on 2D Vision Sensor)

  • 현웅근
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제17권5호
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    • pp.933-940
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    • 2022
  • 2차원 영상 센서를 이용하여 조종자의 3차원 손 위치를 인식하고 이를 기반으로 원격으로 6축 로봇팔을 제어하는 시스템을 개발하였다. 시스템은 물체의 영상정보를 인식하는 2차원 영상 센서 모듈, 영상정보를 로봇팔 제어 명령어로 전환하는 알고리즘, 자체 제작한 6축 로봇팔 및 제어 시스템으로 구성된다. 영상 센서는 조종자가 착용한 장갑의 모양과 색을 인지하여 크기 및 위치정보를 출력하게 되며, 본 연구에서는 이러한 위치 및 물체를 둘러싼 크기 정보를 이용하여 로봇 선단의 속도를 제어한다. 연구 방법의 검증은 자체 제작된 6축 로봇으로 실행하였으며, 조종자의 손동작 조종에 의한 실험을 통해 제안한 영상정보 제어 및 로봇 선단 제어 방법이 성공적으로 동작함을 확인하였다.

RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 $SrTiO_3$ 박막의 전기적 특성 (Electrical properties of $SrTiO_3$ thin films deposited at low temperatures by RF magnetron sputtering)

  • 김동식;이재신
    • 한국진공학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.359-364
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    • 1996
  • Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판 위에 r.f. 마그네트론 스퍼터링 방법으로 $300^{\circ}C$이하의 저온에서 SrTiO3 박막을 증착하였다. XRD, RBS, TEM, EPMA로 증착된 박막의 재료적 특성을 분석하였고, Al/$SrTiO_3$/Pt의 구조로 커패시터를 제작하여 전기적 특성을 분석하였다. 기판온도가 증가함에 따라 박막의 결정성과 유전율이 향상되었으나, $200^{\circ}C$이하의 기판온도에서는 Sr이 결핍된 조성을 갖게 되어 증착된 박막이 반도성을 나타내었다. 증착중에 기판에 양의 d.c. 전압을 10~30V 인가함으로써 박막의 결정성이 크게 향상되었고, 유전특성도 개선되었다. $300^{\circ}C$의 기판온도에서 20V의 d.c. bias를 인가하여 증착한 400nm 두께의 $SrTiO_3$ 박막은 <211> 우선방향성을 갖는 주상정 구조와 화학양론적인 조성을 나타내었고, 본 연구에서 가장 우수한 전기적 특성을 보였다. 100 kHz에서 유전율이 98, 유전손실이 3.4%였으며, 3V에서 누설전류는 $10^{-5}A/\textrm{cm}^2$였다.

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