• Title/Summary/Keyword: 3차원 냉각

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마이크로볼로미터 센서용 진공패키지 조립공정 특성평가

  • Park, Chang-Mo;Han, Myeong-Su;Sin, Gwang-Su;Go, Hang-Ju;Kim, Seon-Hun;Gi, Hyeon-Cheol;Kim, Hyo-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.252-252
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    • 2010
  • 적외선 센서는 빛의 유무에 관계없이 주 야간 전방의 물체에서 발산하는 미약한 적외선(열선)을 감지하여 영상으로 재현하는 열상시스템은 자동차 야간 운전자 보조용 나이트 비젼, 핵심 시설의 감시 관리, 군수 등의 분야에 적용되어지고 있는 최첨단, 고부가가치를 지니고 있는 기술이다. 양자형은 센서 특성은 좋으나 냉각기(작동온도: $-196^{\circ}C$) 및 고진공 패키지인 dewar를 사용하는 반면에, 열형은 대부분 상온에서 동작되는 온도안정화를 위한 전자냉각모듈만을 구비하면 되므로 저가형으로 제작이 가능한 비냉각형 적외선 센서이다. 본 연구에서는 적외선 센서용 진공패키지 조립공정 및 패키지된 센서의 측정기술을 개발하였다. 금속 메탈패키지를 제작하였으며, 금속 진공패키지는 소자냉각용 TE Cooler와 장수명 진공유지를 위한 getter, 그리고 센서칩, 온도센서를. 장착하여 칩을 조립하였다. Cap ass'y와 base envelop의 솔더링 공정을 수행하였으며, 진공패키지의 진공유지를 위해 TMP를 이용하여 진공을 유지하고, 약 5일동안 패키지 bake-out을 수행하였다. 진공압력은 $10^{-7}\;torr$ 이하를 유지하였으며, getter를 활성화시키고, pinch-off 공정으로 조립 ass'y를 완성하였다. 진공 패키지의 기밀성은 He leak tester를 이용하여 측정하였으며, ${\sim}10^{-9}\;std.cm^3/sec$로 기밀성을 유지하였다. TE cooler를 작동한 온도안정성은 0.05 K 이하였다. 볼로미터 센서의 반응도는 $10^2\;V/W$ 이상을 나타내었으며, 탐지도는 $2{\times}10^8cm-Hz^{1/2}/W$를 나타내었다. 본 연구를 통하여 얻어진 결과는 향후 2차원 열영상용 어레이 검출기 및 웨이퍼수준의 패키징 공정에 유용하게 응용될 것으로 판단된다.

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Periscope Imaging System Design and Analysis for Flame Front Visualization (화염 정면 가시화를 위한 페리스코프 영상 시스템 설계 및 해석)

  • Shin, Jaeik
    • Journal of Aerospace System Engineering
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    • v.13 no.5
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    • pp.16-23
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    • 2019
  • This paper describes the design and analysis of a periscope imaging system installed at the engine test facility in the Agency for Defense Development. The periscope system is a cylinder-shaped image observation system installed at the rear of the engine and at the top of the diffuser. The periscope system has high risk of breaking because it is directly affected by high temperature (2300 K) and products of combustion. Thus, we used 1D heat transfer calculation, and 2D and 3D CFD analysis to confirm the heat flux and temperature distribution. Also, the cooling performance was verified. In the current design, using the periscope system, we can see flame shapes, control of the nozzle, and stability of the exhaust flow visually.

피동형 격납건물 냉각계통 내 돔 효과의 수치적 해석에 관한 연구

  • 전지한;박홍준;이은철
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.05a
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    • pp.298-303
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    • 1997
  • 실제의 격납건물의 구조는 하부 원통형의 구조를 가지는 영역과 상부 돔 형태와 굴뚝 형태의 구조를 가지는 영역으로 나눌 수 있다. 하부 원통형의 구조만을 고려한다면, 고온의 철제 벽면과 콘크리트 벽면 사이의 gap 크기에 비해서 원통의 반지름이 상대적으로 매우 큰 값을 가지기 때문에 2차원 무한평판으로 가정하는 것이 가능하다. 그러나 돔 및 굴뚝 영역에서는 높이가 높아질수록 돔 단면직경이 감소하고 굴뚝 영역도 유동단면적이 작은 원통의 구조를 가져 2차원 무한평판의 가정에 많은 무리가 따른다. 앞에서 명시한 세 가지의 격납건물 형태에 있어서 ASPWR의 경우는 굴뚝을 포함한 영역까지도 무한평판으로 가정하는 것이 가능하나(돔에서의 열전달 단면적이 하부의 열전달 단면적에 비해 매우 작다는 가정을 한다면) 나머지 AP600과 HWRF의 격납건물에 있어서는 상부까지도 무한평판 가정을 사용하는 것에는 무리가 있다. 본 연구에서는 일반적인 유체해석 코드인 FLUENT V4.3을 이용하여 실제 격납건물 구조에 대한 분석을 시도하여 무한평판 구조에 대한 가정이 과도한 열전달량을 예측하고 있음을 확인하였다.

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A Study on the Combination of Blowing Ratio and Injection Angle in 2-Dimensional Film Cooling (2차원 막냉각의 적정 분사비와 분사각도의 조합에 관한 연구)

  • Son, Chang-Ho;Lee, Geun-Sik;Won, Young-Ho;Rho, Suk-Man;Lee, Jong-Chun
    • Proceedings of the KSME Conference
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    • 2001.06d
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    • pp.553-558
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    • 2001
  • To find the effective combinations of blowing ratio and injection angle for a straight slot film cooling, film cooling characteristics was investigated using both flow visualization experiment and numerical simulation. Injection angles from $15^{\circ}\;to\;50^{\circ}$ and blowing ratios from 0.2 to 3.0 were selected for the simulation. Comparison between experimental and numerical results shows a good agreement, for the case of the injection angle of $30^{\circ}$ and blowing ratio ranging from 0.55 to 2.0. Film cooling effectiveness was found to be an increasing function of blowing ratio. The effects of injection angle became prominent as the blowing ratio increases. An interesting phenomenon was found for the injection angle of $15^{\circ}$ : the lowest film cooling effectiveness for the blowing ratio smaller than 1.0, but the highest film cooling effectiveness for the blowing ratio greater than 2.0 within wide range of downstream region. There exist optimum injection angles corresponding to maximum film cooling effectiveness : injection angle of $25^{\circ}$ for the blowing ratio from 0.2 to 2.0, and injection angle of $15^{\circ}$ for the blowing ratio of 3.0. Present study provides a design combination among film cooling effectiveness, blowing ratio, and injection angle.

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Characterization of a TSV sputtering equipment by numerical modeling (수치 모델을 이용한 TSV 스퍼터링 장비의 특성 해석)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.46-46
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    • 2018
  • 메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

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Thermal Management on 3D Stacked IC (3차원 적층 반도체에서의 열관리)

  • Kim, Sungdong
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.5-9
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    • 2015
  • Thermal management becomes serious in 3D stacked IC because of higher heat flux, increased power generation, extreme hot spot, etc. In this paper, we reviewed the recent developments of thermal management for 3D stacked IC which is a promising candidate to keep Moore's law continue. According to experimental and numerical simulation results, Cu TSV affected heat dissipation in a thin chip due to its high thermal conductivity and could be used as an efficient heat dissipation path. Other parameters like bumps, gap filling material also had effects on heat transfer between stacked ICs. Thermal aware circuit design was briefly discussed as well.

A Computational Study on Cooling Analysis of the Flame Deflector for the 75 tonf Class Propulsion Test Facility (75톤급 추진기관 시험설비 화염유도로 냉각해석에 관한 수치적 연구)

  • Moon, Seong-Mok;Cho, Nam-Kyung;Kim, Seong-Lyong;Jun, Sung-Bok;Lee, Kyoung-Hoon;Kim, Dong-Hwan
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.19 no.2
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    • pp.55-64
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    • 2015
  • In this study, a 3-D flame cooling analysis is conducted to examine thermal safety for the flame deflector of the 75 tonf class propulsion test facility, and the safe discharge of the exhaust gas is assessed by using numerical results. The Mixture multiphase model is adopted for the simulation of heat transfer and phase exchange process between flame and cooling water, and the computational study using the single species unreacted model for the exhaust plume is carried out for the flame cooling. Numerical analysis predicts maximum temperature on the flame deflector wall for different water flow rates, and evaluates the safe minimum flow rate of water corresponding to the fire-resistant temperature for concrete.

Development of New Model(Dome Type) Cold Storage Facility Using 3-D CFD Simulation (3차원 CFD 시뮬레이션을 이용한 신모델(돔형) 저온저장고 개발)

  • 양길모;고학균;홍지향
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.182-187
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    • 2002
  • 국내 저온저장고의 주류를 이루고 있는 컨테이너 박스형 저온저장고의 문제점은 재래식 제어방식으로 인한 성능저하 외에도 자체 구조적인 설계상의 문제점을 가지고 있다 이러한 구조적인 문제점을 열거하면 다음과 같다. 첫째, 한 축 방향에 설치되어있는 유니트 쿨러에서 토출되는 냉기에 의해 저장고 내의 공기를 냉각하는 형태이기 때문에 냉기의 분포가 고르지 못하여 균일한 온도 분포를 이루기 어렵다는 단점을 가지고있다. 둘째, 한 축 방향에서 토출되는 냉기가 맞은 편 벽면까지 도달해야 하기 때문에 풍속이 강해야 하며 이로 인해 저장 청과물이 냉해를 쉽게 입고 심한 증산작용에 의해 쉽게 표면건조나 중량감소를 가져온다. 셋째, 천장부와 측벽부가 90$^{\circ}$의 경사각을 가지고 있어 공기의 유동이 원활하지 못하여 에디현상으로 인한 온도나 풍속의 불균일 구간을 피해서 청과물을 저장해야 하기 때문에 그만큼 버려지는 공간이 많아 비경제적이다. 넷째, 위와 같은 문제점들 때문에 중ㆍ대형의 저온저장고를 컨테이너 박스형으로 설비 할 경우 보다 심한 온도 불균일과 냉기유동 분포를 보여 경제적인 손실이 더 커지게 되는 악순환을 낳게된다. 이에 따라 본 연구에서는 국내 저온저장고의 구조적인 설계상의 문제점을 인식하고 이를 해결하고자 3차원 CFD 시뮬레이션을 이용하여 저온저장고의 새로운 모델을 설계하였다. 이론 바탕으로 직접 저온저장고의 시작기를 개발하여 저장고 내부의 역 유동과 난류유통을 해석하였다. (중략)

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3D RANS Simulation and the Prediction by CRN Regarding NOx in a Lean Premixed Combustion in a Gas Turbine Combustor (희박 예혼합 가스터빈 연소기 3 차원 전산 해석 및 화학반응기 네트워크에 의한 NOx 예측)

  • Yi, Jae-Bok;Jeong, Dae-Ro;Huh, Kang-Yul;Jin, Jae-Min;Park, Jung-Kyu;Lee, Min-Chul
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.35 no.12
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    • pp.1257-1264
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    • 2011
  • This paper presents 3D simulation by STAR-CCM+ for lean premixed combustion in a stationary gas turbine combustor with separate pilot and main nozzles. The constant for the source term in the flame area density transport equation was modified to account for a low global equivalence ratio and validated against measurement data. A Partially-premixed Coherent Flame Model(PCFM) involves propagation of a laminar premixed flame with the predicted flame surface density and equilibrium assumption in the burned gas with spatial inhomogeneity. The conditions for cooling by radiation and convection are considered for accurate determination of the heat flux on the wall. A parametric study is of the pilot-fuel-to-total-fuel-ratio is carried out. A chemical reactor network (CRN) was constructed on the basis of the 3D simulation results and compared against measurements of NOx.

A Study on Fluid Flow and Heat Transfer of a Corrugated Structure for Crossflow Reduction of Impingement Jet (충돌제트에서의 횡방향 유동 감소를 위한 파형 구조의 유동 및 열전달에 관한 연구)

  • Hwang, Byeong Jo;Kim, Seon Ho;Joo, Won Gu;Cho, Hyung Hee
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.41 no.5
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    • pp.329-339
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    • 2017
  • Impingement jets have been applied in a wide variety of fields as they provide significantly high heat transfer on the impingement-jet stagnation zone. However, the crossflow in an impingement chamber developed by spent wall jets can disrupt and deflect the downstream jets in the array, leading to a decrease in the cooling performance of an array of impingement jets. A numerical analysis is made of the fluid flow and heat transfer characteristics in a corrugated structure that traps the spent air in the corrugations between impingement jets and reduces crossflow effects on downstream jets. All computations are performed by considering a three-dimensional, steady, and incompressible flow by using the ANSYS-CFX 15.0 code. The effects of the configuration parameters of the corrugated structure on crossflow reduction of the array of impingement jets are presented and discussed.