• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제14권4호
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• pp.409-414
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• 2010

This paper describes the surface form measurement of a spherical smooth surface by using single shot off-axis Fizeau interferometry. The demodulated phase map is obtained and unwrapped to remove the $2\pi$ ambiguity. The unwrapped phase map is converted to height and the 3D surface height of the surface object is reconstructed. The results extracted from the single shot off-axis geometry are compared with the results extracted from four-frame phase shifting in-line interferometry, and the results are in excellent agreement.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권6호
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• pp.2457-2462
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• 2011

생산방식의 변화에 따라 3차원 형상을 신속하고 정확하게 측정하는 것이 중요해졌다. 가장 훌륭한 비접촉 3차원 측정방법인 모아레 방법 중 잡음신호를 효과적으로 제거할 수 있는 위상천이 방법을 구현함에 있어 DMD를 이용하여 격자를 생성하고 이송하는 효과를 발생하도록 하였다. 컴퓨터에서 격자를 이송하고 위상천이를 발생하므로 기계적 이송으로 인한 잡음신호의 발생 가능성을 배제할 수 있으며 광학렌즈와의 적절한 조합을 통해 쉽게 분해능을 변화하며 3차원 정보 획득이 가능하다. 근본적인 $2\pi$ 모호성문제를 극복하기 위하여 2차원 위상정력을 실시하였다. 이 방법을 적용하여 3차원 형상의 측정을 수행하였다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 하계학술발표회
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• pp.60-61
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• 2000

표면 형상을 측정하는 방법은 샘플표면의 평평도, 곡률, 거칠기, 깊이 측정등의 수많은 상업적 응용을 위해 광범위하게 개발되어왔다. 이중에서도 특히 간섭현상을 이용한 광 표면 프로파일러는 표면의 3차원 구조를 측정하는데 있어서 subangstrom의 매우 높은 깊이 분해능을 가지므로 샘플 표면의 정밀 진단에 많이 사용되어 왔다. [1,2] 광 간섭 현미경은 기본적으로 광위상 변화를 검출하여 그것을 표면구조변화로 바꾸어주는 역할을 한다. 그러나 광위상 변화는 샘플 표면의 구조뿐만 아니라 물질 변화와 박막두께 변화에도 민감하므로 순수한 표면구조측정은 샘플이 단일물질인 경우에만 달성된다는 문제점이 있다. 따라서 이러한 광위상 측정과 관련된 ambiguity를 해결하기 위해서는 일반적인 광 간섭 현미경에서 얻어지는 위상데이터와 더불어 물질변화를 분석할 수 있는 다른 추가적인 데이터가 필요하다. 이러한 필요성 때문에 우리는 광위상 뿐만 아니라 반사율 분포도 동시에 측정할 수 있는 새로운 방식의 다출력단 호모다인 간섭계(Homodyne I/Q Interferometer; HIQI)를 구성하였으며[3], 그 실험장치도는 [Fig. 1]과 같다. HIQI는 in-phase and quadrature 검출방식에 기반을 두며, 이 검출방식은 PBS에서 반사되는 빛살과 투과되는 빛살 사이의 위상차가 $\pi$/4라는 실험결과로부터 달성된다. HIQI는 샘플 표면의 3차원 구조 뿐만 아니라 광학적 특성의 2차원 분포도 동시에 얻을 수 있다. (중략)

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제18권5호
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• pp.500-506
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• 2014

A new 3-D reconstruction algorithm for the human face is proposed using the derivative Moir$\acute{e}$ topography which ensures fast and robust reconstruction even for rough surfaces. The Moir$\acute{e}$ interference fringe pattern is initially obtained through the projection Moir$\acute{e}$ topography based on phase shifting, and then differentiated to provide a full unwrapped phase map for a human face. $2{\pi}$ ambiguity, which has been a chronically unsolved problem with Moir$\acute{e}$ topography, is successfully surmounted by differentiating the Moir$\acute{e}$ fringe patterns both in x- and y-directions when the object is located in the x-y plane. A real human face is used for verifying the proposed derivative Moir$\acute{e}$ topography. A human face of 4 different phase-shifted images taken in the fixed plane is almost fully reconstructed in 3-D format in 0.1 mm lateral resolution.