에어로졸데포지션법으로 성막된 $Al_2O_3$ -polyimide 복합체 후막의 열처리를 통한 유전특성 향상
(Improvement in Dielectric Properties of Aerosol-Deposited $Al_2O_3$ -polyimide Composite Thick Films through Heat Treatment)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- pp.224-224
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- 2008