• 제목/요약/키워드: 2차 발생원

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개선된 특성을 갖는 진폭 등화기의 설계와 응용 (Design of Amplitude Equalizers with Improved Characteristics and Their Applications)

  • 이송이;윤상원
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제17권2호
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    • pp.95-100
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    • 2006
  • 본 논문에서는 고차 대역 통과 여파기의 평탄도를 개선하기 위해 증폭기, 오목한 상보형 여파기, 감쇠기로 구성된 진폭 등화기를 설계하였다. 상보형 여파기는 2n차 체비셰프 원형의 극점 위치를 조절하여 체비셰프 다항식을 수정하고 회로망 합성법을 통하여 원형 소자 값을 계산하였다. 대역 통과 여파기에서 발생하는 손실을 보상하고 반사 특성을 개선할 수 있는 증폭기와 진폭 등화기의 이득 크기를 조절하기 위한 감쇠기를 계산된 원형 소자 값을 사용하여 설계한 4차 상보형 여파기에 연결하여 진폭 등화기를 구현하였다. 제안한 진폭 등화기를 사용하여 2.3 GHz 휴대 인터넷 대역(WiBro)의 13차 대역 통과 여파기의 평탄도 특성을 6 dB 개선하였다.

수확기 동상해 피해가 '부유' 단감의 저장 품질에 미치는 영향 (Effect of Freeze Injury by Weather on Quality of 'Fuyu' Sweet Persimmon at Harvest and Subsequent Storage)

  • 조윤희;최성태;김성철;김은경;황연현;김은석;안광환
    • 한국포장학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.73-78
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    • 2015
  • 단감은 수확 전 저온에 노출되는 경우가 종종 발생하며, 저온에 노출된 단감은 수확 후 저장 품질이 저하될 우려가 있다. 본 연구는 수확시기별 단감 과원의 기온이 '부유' 단감의 저장 품질에 미치는 영향을 조사하였다. 10월 중순에서 11월 중순 사이에 단감 과원의 기온변화를 관찰한 결과, 단감의 동상해를 유발하는 온도의 $-2.1^{\circ}C$ 이하의 저온이 과수원에 5회 내습하였으며, 그 중 11월 19일 $-5.4^{\circ}C$로써 수확기 중 가장 낮은 기온을 기록하였다. $0^{\circ}C$의 저장고에서 150일 저장하는 동안, 세 처리구 중 3차 수확단감은 1, 2차와 비교하여 지속적으로 높은 a값을 유지하였지만 L값과 경도는 감소함에 따라서 이는 동상해 피해 증상으로 인한 품질저하로 판단된다. 반면에, 1차 수확단감은 저장기간 중 a값의 증가와 높은 경도를 일정하게 유지하여 수확 후 저장 중 후숙에 의한 변화로 보였다. 또한, 유리당 함량 변화에서 1, 2차 수확단감은 fructose, glucose 및 sucrose 모두 비슷한 수준을 유지하는 반면에 3차 수확단감은 fructose와 glucose 증가 및 sucrose 감소하는 경향을 보여주었다. 결론적으로, 기온저하가 급작스럽게 발생할 수 있는 11월 중순은 수확 및 저장 과실 품질 저하를 유도할 수 있어 적합하지 않는 시기이므로, 이 시기 전에 수확을 완료할 수 있도록 수확시기를 결정하는 것이 적합한 것으로 사료된다.

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2020년 홍수기 한강 유역(주요 댐) 유출 검토 (2020 Han River Basin flood runoff(dam))

  • 황보종구;신인종;김지훈;강진성
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2021년도 학술발표회
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    • pp.318-318
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    • 2021
  • 2020년 한강 유역의 홍수기(7월 ~ 9월) 3개월 강수량은 1,110.9mm에 달하며 평년대비 131.7%의 상당히 많은 강수량이 관측되었다. 특히 8월은 평년대비 215.2% 강수량을 보이며 큰 홍수사상이 발생하였다.(출처 한강홍수통제소 월간수자원현황및전망) 본 연구에서는 2020년 홍수기 한강 유역 주요 댐의 유입량과 유출량을 분석하였다. 유출입량 산정은 실측자료와 댐 방류량자료를 이용하였다. 산정 결과 달천 괴산댐의 경우 2020년 7월 ~ 2020년 9월, 3개월 동안 유입량(후영교)은 약 5.15억m3이었으며 이 기간의 유출량(댐 방류량)은 약 5.24억m3으로 조사되었다. 같은 기간의 북한강 유역 화천댐 유입량은 산정이 불가능 하였으며 유출량(댐 방류량)은 약 22.24억m3, 춘천댐 유입량(화천댐 방류량 + 용신교 + 오탄교)은 26.86억m3, 유출량(춘천댐 방류량)은 33.60억m3, 의암댐 유입량(춘천댐 방류량 + 소양강댐 방류량)은 55.39억m3, 유출량(의암댐 방류량)은 64.69m3, 청평댐 유입량(의암댐 방류량 + 한덕교 + 목동교)은 78.29억m3, 유출량(청평댐 방류량)은 75.86억m3으로 나타났다. 같은 기간 댐 저류 변화량은 괴산댐 0.002억m3, 춘천댐 0.07억m3, 의암댐 0.15억m3, 청평댐 0.02억m3으로 큰 변화가 없는 것으로 나타났다. 기본적으로 댐 유출량과 유입량의 차는 저류량(저류변화량)과 같아야 한다. 2020년 홍수기(7월~9월) 주요 댐의 유입량, 유출량, 저류량을 검토한 결과 다소 큰 차이를 보였다. 이는 실측 유량의 오차도 일부 있겠지만 댐 저수지 수위 계측의 불확실성, 여수로 방류량의 정확도, 저수지 증발량, 미계측유역의 유출 미고려 등에서 발생하는 오차도 있는 것으로 판단된다.

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내장형 무선 카메라를 이용한 ICP 보조 스퍼터링 장치의 실시간 모니터링

  • 최지성;홍광기;양원균;전영생;주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.476-476
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    • 2010
  • 유도 결합 플라즈마 (ICP)는 축전 결합 플라즈마 (CCP) 보다 상대적으로 높은 밀도의 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 또한 구조가 간단하고 기존 스퍼터링 장치의 내부에 추가 설치가 용이하며, 스퍼터된 입자의 이온화, 반응성 가스의 활성화를 위한 2차 플라즈마원으로 적용이 가능하다. 그러나 대면적의 고밀도 플라즈마의 균일도 측정은 고가의 2D probe array등을 사용하여야 한다. 본 연구에서는 간단한 CCD camera를 챔버 내부에 삽입하여 가시광 영역의 적분 강도를 이용해서 플라즈마의 2차원적 균일도를 정성적으로 비교 판단하고 시간에 따른 국부적인 이상 방전을 감시할 수 있도록 내장형 무선 카메라를 사용하였다. 직경 380 mm의 챔버 내에 2 turn ICP antenna를 이용하여 유도 결합 플라즈마를 발생시켰다(Ar 30 sccm, 35 mTorr, 2 MHz, 400 W). 내장형 무선 카메라를 챔버 내부 중앙의 ICP antenna에서 8 cm 아래에 위치시켜 플라즈마를 진공 중에서 촬영하였다. 내장형 무선 카메라를 챔버 내부에 위치하여 촬영한 결과 외부에서 view port로 쉽게 확인할 수 없는 ICP antenna 내부의 고밀도 플라즈마의 불균일도를 평가할 수 있었고, ICP antenna 가장자리에서 중심으로 이동할수록 밝아지는 것을 토대로 중심 영역의 plasma 밀도가 가장 높다는 것을 알 수 있었고, 채도와 명도의 차이를 이용하여 시각적인 플라즈마 균일도를 분석하였으며 이를 플라즈마 모델링 기능이 있는 전산 유체 역학 프로그램인 CFD ACE+를 이용하여 플라즈마 분포를 모델링 및 비교하였다. 또한 인라인 타입의 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 기판 캐리어에 무선 카메라를 장착하여 이동하면서 캐리어와 마그네트론 방전 공간의 상대적인 위치에 따른 마그네트론 방전링의 형상 변화도 관찰하였다.

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캠벨얼리 포도원에서 잡초관리 방법이 갈색무늬병 및 과실특성에 미치는 영향 (Effects of Weed Control on Pseudocercospora vitis and Fruit Characteristics in Campbell Early Vineyard)

  • 김선국;최원호;이석호;이윤상;윤창만;홍성택
    • 한국유기농업학회지
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    • 제23권4호
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    • pp.897-909
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    • 2015
  • 우리나라 포도원에서 고품질 포도생산에 이용되고 있는 잡초관리 방법들이 병발생 및 수체생육과 과실품질에 미치는 영향을 구명하여 포도재배 농가에 실제적인 잡초관리 방법을 제공하고자 연구를 실시하였다. '캠벨얼리' 품종을 재배하는 비가림 포도원에서 잡초관리방법으로 포도가지 파쇄(C.B.), 흑색부직포(W.F.), 흑색차광망(S.N.), 흑색비닐(P.F.), 왕겨(R.H.), 기계제초 2회(M.W.2), 기계제초 3회(M.W.3)를 무처리와 비교하였다. 비가림 포도원의 피복처리구(C.B., W.F., S.N., P.F., R.H.)와 무피복처리구(M.W.2, M.W.3, U.T.)간 평균온도는 각각 $26.2^{\circ}C$$25.8^{\circ}C$로 비슷하였으나, 피복처리구의 지상부 습도는 피복처리구에서 7월에 90%로 유지되다가 7월 하순 이후 40% 이하로 급격히 낮아져 무피복처리구와 확연한 차이를 보였다. 토양수분은 무피복처리구에 비해 피복처리구에서 모두 높았으나 지온은 대체적으로 피복처리구가 낮았다. 피복처리별 갈색무늬병 발병은 흑색비닐피복에서 무처리 대비 7월에는 85%, 병발생이 높아지는 8월에는 69%의 감소효과를 보였고, 결과모지에서 병반 발생이 가장 적은 것으로 나타났다. 생육특성 중 절간장, 절간경은 무처리에 비해 흑색비닐 피복에서 생육이 좋았고 SPAD값은 흑색비닐 피복에서 가장 높았다. 과실품질 중 당도는 $14{\sim}15^{\circ}Brix$로 큰 차이는 없었으나 흑색비닐 피복에서 약간 높게 나타났다.

Aspergillus oryzae 배양물이 육계의 생산성, 분변의 미생물 성상 및 암모니아 가스 발생량에 미치는 영향 (Effect of Dietary Supplementation of Aspergillus oryzae Ferment on Growth Performance of Broiler Chicks and Microbial Population and Fecal Ammonia Production)

  • 손지혁;조인경
    • 한국가금학회지
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    • 제34권4호
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    • pp.287-294
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    • 2007
  • 본 연구는 질소원 결핍 배지에서 배양되어 in vitro 실험상에서 항균 활력이 있는 것으로 증명된 Aspergillus oryzae 배양물을 질소원 공급 배지와 비교하여 육계의 증체, 사료 섭취량, 영양소 이용율, 유해 가스 생산 및 분내 미생물 균총 변화 등에 미치는 영향을 조사하기 위하여 시행되었다. 총 168수 2일령 육계를 7 처리구(대조구, 질소원 공급 배지에서 자란 Aspergillus oryzae 배양물(NAOF) 0.05, 0.1, 0.5%, 질소원 결핍 배지에서 자란 Aspergillus oryzae 배양물(NNAOF) 0.05, 0.1, 0.5%에 배치하였다. 본 실험 결과 Aspergillus oryzae 첨가로 사료의 기호성이 증가되었으며, Aspergillus oryzae 배양시 질소원 결핍 처리는 일반적인 배양 방법에 비하여 증체와 사료 기호성에 더욱 효과적으로 작용하였다. 영양소 소화율은 질소원 처리 구간의 유의적 차이는 없었지만, 대조구에 비하여 Aspergillus oryzae 배양물을 첨가시에 영양소의 소화율이 전반적으로 향상되었는데, 이러한 결과는 육계의 소장 및 대장의 pH 조절에 관여하고 유익균의 생장을 촉진하며, 유해균의 증식을 억제할 수 있는 효소나 대사산물이 분비되어 긍정적으로 작용하여 사료의 기호성 및 영양소의 소화율을 증진시킨 결과라고 추정할 수 있다. 처리에 따른 분내 총균수 변화는 유의적(p<0.05)인 차이를 보였으며, 균수는 NNAOF>NAOF>대조구순으로 나타났다. E. coli와 살모넬라에서는 Aspergillus oryzae 배양물 처리구가 대조구에 비해 현저하게(p<0.05) 감소되었고, 특히 NNAOP 처리구에서 가장 낮게 나타났다. 분내 암모니아 가스 발생량을 조사한 결과, 실험실적으로 검사할 수 있는 발생량은 대조구>NAOF>NNAOF 순으로 나타났다. 본 연구 결과는 NNAOF을 이용한 육계 생산은 생산성 향상과 더불어 환경 오염을 예방할 수 있는 방법임을 시사하므로 더욱 심도있는 연구가 필요한 것으로 판단된다.

차량의 횡방향 주행이격에 의한 아스팔트 콘크리트 포장의 응답특성 분석 (Field Evaluation of Traffic Wandering Effect on Asphalt Pavement Responses)

  • 서영국;권순민;이재훈
    • 대한토목학회논문집
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    • 제26권3D호
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    • pp.453-459
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    • 2006
  • 본 연구는 차량의 주행경로를 정확하게 측정하는 수단을 개발하고 이를 현장계측에 적용하여 주행차량의 횡방향 이격에 의한 아스팔트 콘크리트 포장(이후 아스팔트 포장)의 주요 응답 특성을 규명하고자 하였다. 개발된 주행이격 측정 시스템은 두 개의 레이저 센서로부터 전송된 신호가 차량의 타이어로부터 반사되어오는 물리적 현상을 실시간으로 분석함으로서 도로 포장위의 임의의 기준으로부터 실제 차량이 주행한 경로를 정확하게 관측 할 수 있다. 다양한 주행이격에 의한 아스팔트 포장의 횡방향 수평 변형률과 하부 포장층의 수직응력 변화를 실측하기 위하여 시험도로상의 아스팔트 포장의 일부 구간을 선정, 덤프트럭에 의한 동하중 재하시험을 시행하였다. 차량의 횡방향 이격거리는 주행차로(2차)의 차륜부에 매설된 횡방향 수평 변형률 계측기의 중심을 기준으로 추월차로 방향으로 20cm 간격으로 조수석 차륜에 의한 하중중첩의 영향을 최대한 배재하도록 설정하였다. 현장시험 결과 표층과 중간층에서는 하중재하 위치에서 발생한 압축변형이 이격거리 약 40cm에서부터 점차 인장으로 변화하고 있음을 알 수 있었다. 또한, 보조기층상부와 동상방지층상부에 작용하는 수직응력은 하중재하 위치에서 치대로 발생하였으며 이격거리 50cm 이상부터는 하중에 의한 영향이 상대적으로 미비하였다.

천마 비가림시설을 활용한 단기재배기술 개발 (Development of Short-term Cultivation Technology Using the Rain Shelter Greenhouse of Gastrodia elata Blume)

  • 김창수;서상영;안민실;이은숙;송영은;최소라
    • 한국자원식물학회:학술대회논문집
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    • 한국자원식물학회 2022년도 추계학술대회
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    • pp.82-82
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    • 2022
  • 천마(天麻, Gastrodia elata Blume)는 난초과(蘭草科, Orchidaceae)에 속하는 식물로 잎과 뿌리가 없어 탄소동화능력이 없으며, 뽕나무버섯균과 공생하는 기생식물이다. 주요 함유된 성분은 gastrodin, 4-hydroxylbenzyl alcohol, vanillin, vanillyl alcohol, ergothioneine 등이 있고, 주로 진정(鎭靜), 진경(鎭痙), 통락(通絡)의 효능이 있으며, 두통, 반신불수, 언어장애, 현훈(眩暈), 고혈압 등에 사용되고 있다. 천마는 노지 재배에 따른 안정생산 문제가 지속적으로 발생하고 있다. 혹한, 폭우 등 기상환경에 따른 연차간 수량성 차가 673~1,175kg/10a로 크고, 정식 후 원목·종균·자마의 공생관계 형성이 늦어져 자마 생존율이 70% 이하로 낮으며, 18개월 장기 재배 시 생육 환경이 불량해져 썩음병이 많이 발생하고 있다. 본 연구는 비가림시설, 종균 선(先) 접종 배양목 및 20g 이상의 자마를 사용하여 재배기간을 18개월에서 12개월로 6개월을 단축하고자 수행하였다. 본 실험은 종균 선접종 배양목 생산을 위해 원목의 종균 접종 시기는 4월 하순, 6월 상순, 7월 중순으로 40일 간격으로 처리하였고, 이렇게 생산된 배양목을 활용하여 정식은 이듬해 4월 상순, 수확은 그 이듬해 3월 하순으로 설정하였다. 또한, 종균 선접종 배양목을 활용한 천마의 정식 시기는 3월 상순, 4월 상순, 5월 상순으로 30일 간격으로 처리하였고, 수확 시기는 이듬해 2월 하순, 3월 하순, 4월 하순으로 설정하여 천마의 생육상황 및 생산성을 조사하였다. 원목의 종균 접종시기를 검정한 결과, 자마 생존율은 4월 하순과 6월 상순 처리가 무처리에 비해 15%가 높았고, 천마 수량은 무처리 대비 4월 하순과 6월 상순 처리구에서 각각 2.07배, 1.64배 높았다. 천마의 정식 시기를 검정한 결과, 천마의 유효적산온도는 2,400℃로 3월 상순 처리구는 2,446℃로 충족하였고, 4월 중순 처리구는 2,375℃로 거의 충족하였으나, 5월 상순 처리구는 2,178℃로 222℃가 부족하였다. 자마 생존율은 3월 상순 처리 시 95%로 가장 높았고, 정식 시기가 늦어질수록 자마 생존율이 낮아지는 경향을 보였으며, 수량성은 5월 상순 처리 대비 3월 상순이 3.56배, 4월 상순이 3.43배 높았다. 따라서, 자마 생존율, 유효적산온도, 천마 수량성 등의 결과에 따라 원목의 적정 종균 접종 시기는 4월 하순과 6월 상순 사이고, 천마의 적정 정식 시기는 3월 상순과 4월 상순 사이며, 비가림시설, 종균 선접종 배양목 및 우량자마를 활용하면 재배기간을 노지 대비 6개월 이상 단축할 수 있을 것으로 판단되었다.

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원전 제어실의 인간공학 실험평가연구현황

  • 이현철;오인석;차경호;심봉식
    • 대한인간공학회:학술대회논문집
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    • 대한인간공학회 1994년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.157-157
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    • 1994
  • 원자력발전소 운영의 중추적 역할을 담당하고 있는 운전원과 발전소시스템 사이에서 발생하는 인간공학적 요인(인적요인)은 다중방호벽의 존재와 자동화 기술의 확대에도 불구하고 원전의 가동 성 및 안전성을 위협하는 최대의 요인이다. 최근 원자력발전소 시스템에 고도화된 전자공학 및 인공 지능기술 등이 반영되고 있는 추세이나 이러한 기술의 도입이 운전원과의 복합적 상호작용관점에서 원전의 안전성과 효율성에 적합한가를 실험적으로 평가할 수 있는 실험평가기술의 확보가 필요한 실정이다. 한국원자력연구소에서는 차세대 주제어실의 설계 및 평가를 위한 실험적 자료의 생성 및 설계 대안의 평가를 위한 기술확보라는 목적을 가지고 1992년도부터 수행하고 있다. 1992년도(1차년 도)에는 새로운 주제어실에서 실험적으로 평가해야 할 평가항목을 구체화하였고, 4년간의 연구추진 내용을 설정하였다. 기존의 원자력산업계에서 요구하고 있는 인가/허가 요건, 사업자요건서, 인간 공학분야에서 제기하고 있는 문제점 등을 분석하여 10개의 실험평가항목을 도출하였으며, 실험평가 항목을 실제로 실험을 통하여 연구하기 위한 장비 및 설비 그리고 소요기술 등을 고려하여 연구방향을 설정하였다. 1993년도(2차년도)에는 차세대 주제어실의 특징을 규명하고 실험연구의 대상시스템을 설정하였다. 설정된 대상시스템을 기능별로 분석하여 설계변수를 도출하였으며, 인간공학 실험실의 구축에 필수적인 원자력발전소 시뮬레이터의 기능요건 및 실험실의 구성요건 등을 개발하고 있다. 3차년도부터는 인간공학실험을 수행하면서 자료분석체계의 개발, 원전직무 시나리오의 개발, 측정방법의 개발, 인간공학 실험실의 설계, 구축 및 검증, 평가기법 연구, 실시간 자료수집체계의 개발 등을 수행할 예정이며, 연구종료시점인 1996년도(5차년도)에는 원자력발전소 주제어실의 인간공학적 평가를 위한 실험 환경의 구축 및 실험평가기술의 확립이라는 목표가 달성된다.하는 것으로 간주된다. 2. KR 53234 10mg/kg 정맥투여후의 최고혈중농도는 1.14ug/ml, 반감기는 0.50hr, 분포용적은 2.2L이었다. 20mg/kg 경구 투여시의 최소 혈중 농도는 0.33 ug/ml, 소실반감기는 1.5시간, AUC는 0.942ug.hr/ml, 분포용적 11L, Ka는 3.05 $hr^{-1}$ 그리고 Cl는 5.3L/hr/kg이었다. 이는 KR 53170에서와 같이 매우 적은량이 흡수되고 배설되었다. 3. KR 53170의 혈청단백 결합율은 5-500 ug/ml 범위에서 78.7-86.2%이었고 KR 53234의 혈청단백결합율은 5-100 ug/ml 범위에서 79.6-71.2%이었다.이었다.tic techniques, and we have recently cloned two of the major subunits; some of the data will be presented.LIFO, 우선 순위 방식등을 선택할 수 있도록 확장하였다. SIMPLE는 자료구조 및 프로그램이 공개되어 있으므로 프로그래머가 원하는 기능을 쉽게 추가할 수 있는 장점도 있다. 아울러 SMPLE에서 새로이 추가된 자료구조와 함수 및 설비제어 방식등을 활용하여 실제 중형급 시스템에 대한 시뮬레이션 구현과 시스템 분석의 예를 보인다._3$", chain segment, with the activation energy of carriers from the shallow trap with 0.4[eV], in he amorphous regions.의 증발산율은 우기의 기상자료를 이용하여 구한 결과 0.05 - 0.10 mm/hr 의 범위로서 이로 인한 강우손실량은 큰 의미가 없음을 알았다.재발이 나타난 3례의 환자를 제외한 9례 (75%)에서는 현재까지 재발소견을 보이지 않고 있다. 이러한 결과는 다른 보고자들과 유사한 결과를 보이고 있

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하이브리드 SEM 시스템

  • 김용주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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