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$CF_4$/Ar를 이용한 유기고분자 기판의 펄스 직류전원 건식 식각

  • 김진우;최경훈;박동균;조관식;이제원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.91-91
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    • 2010
  • 본 논문은 펄스 직류전원 (Pulse DC) 플라즈마 소스와 반응성 가스인 $CF_4$와 불활성 가스인 Ar를 혼합하여 산업에서 널리 사용되는 유기고분자인 Polymethylmethacrylate (PMMA), Polyethylene terephthalate (PET), 그리고 Polycarbonate (PC) 샘플을 건식 식각한 결과에 대한 것이다. 각각의 샘플은 감광제 도포 후에 자외선을 조사하는 포토레지스트 방법으로 마스크를 만들었다. 펄스 직류전원 플라즈마 시스템을 사용하면 다양한 변수를 줄 수 있다는 장점이 있다. 공정 변수는 Pulse DC Voltage는 300 - 500 V, Pulse DC reverse time $0.5{\sim}2.0\;{\mu}s$, Pulse DC Frequency 100~250 kHz 이었다. 변수 각각의 값이 높아질수록 고분자의 식각률이 높아졌다. 특히, PMMA의 식각률이 가장 높았으며 PET, PC 순이었다. 샘플 중 PC의 식각률이 가장 낮은 이유는 고분자 결합 중에 이중결합의 벤젠 고리 모양을 포함하고 있어 분자 결합력이 비교적 높기 때문으로 사료된다. 기계적 펌프만을 사용한 공정 전 압력은 30 mTorr이었다. 쓰로틀 밸브를 완전 개방한 상태에서 식각 공정 중 진공 압력은 $CF_4$ 가스유량이 늘어날수록 증가하였다. 식각률 역시 $CF_4$ 가스유량(총 가스 유량은 10 sccm)이 많을수록 증가함을 보여주었다 (PMMA: 10 sccm $CF_4$에서 330 nm/min, 3.5 sccm $CF_4$/6.5 sccm Ar에서 260 nm/min., PET: 10 sccm $CF_4$에서 260 nm/min, 3.5 sccm $CF_4$/6.5 sccm Ar에서 210 nm., PC: 10 sccm $CF_4$에서 230 nm, 3.5 sccm $CF_4c$/6.5 sccm Ar에서 160 nm). 이는 펄스 직류전원 플라즈마 식각에서 $CF_4$와 Ar의 가스 혼합비를 조절함으로서 고분자 소재의 식각률을 적절히 변화시킬 수 있다는 것을 의미한다. 표면 거칠기는 실험 후 표면단차 측정기와 전자 현미경 등을 이용하여 식각한 샘플의 표면을 측정하여 알 수 있었다. 실험전 기준 샘플 표면 거칠기는 PMMA는 1.53nm, PET는 3.1nm, PC는 1.54nm 이었다. 식각된 샘플들의 표면 거칠기는 PMMA는 3.59~10.59 nm, PET은 5.13~11.32 nm, PC는 1.52~3.14 nm 범위였다. 광학 발광 분석기 (Optical emission spectroscopy)를 이용하여 식각 공정 중 플라즈마 발광특성을 분석한 결과, 탄소 원자 픽 (424.662 nm)과 아르곤 원자 픽 (751.465 nm, 763.510 nm)의 픽의 존재를 확인하였다. 이 때 탄소 픽은 $CF_4$ 가스에서 발생하였을 것으로 추측한다. 본 발표를 통해 펄스 직류전원 $CF_4$/Ar의 고분자 식각 결과에 대해 보고할 것이다.

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확장된 네이보어-제르니케 방법에 의한 광픽업의 파면수차 복원 알고리즘 (Aberration Retrieval Algorithm of Optical Pickups Using the Extended Nijboer-Zernike Approach)

  • 전재철;정기수;이건기
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제11권1호
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    • pp.32-40
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    • 2010
  • 확장된 네이보어-제르니케 방법을 이용하여 광학계의 동공함수(pupil function)를 추산하는 알고리즘을 제안한다. 동공함수로부터 광학계가 가진 파면수차를 복원하고 아울러 동공에 비추어지는 빛의 밝기분포를 분석할 수 있다. 이 방법은 브루-레이 광픽업의 생산현장에 적용하여 실시간으로 광학계의 수차를 복원할 수 있다. 아울러 이 방법이 여러 다른 광학계에 널리 이용될 수 있음을 다양하게 수차를 부여해서 생성한 데이터를 분석하여 검증하였다. 초점영역의 빔 데이터로부터 동공함수를 얻는 역변환의 여러 방법 중에서 수차이론에 근거한 기존의 네이보어-제르니케 방법을 최근에 네덜란드 연구진이 개량한 확장된 네이보어-제르니케(extended Nijboer-Zernike: ENZ) 방법을 제안하였다. ENZ 방법은 초점영역의 3차원 빔 데이터로부터 해석적인 접근을 통하여 동공의 제르니케 계수를 효율적으로 계산해 낸다. 그러나 이 방법에서는 개구수(NA)가 큰 경우에는 근사적인 접근을 하도록 되어 있다. 본 연구에서는 보다 일반적인 상황에서 적용할 수 있는 수치해석 알고리즘을 개발하고, 이를 GUI 환경에서 운용할 수 있는 윈도 기반의 프로그램을 작성하여 생성한 빔 데이터에 적용하여 이 알고리즘의 유효성을 검증하여 13개의 복소 수차인자 $\beta_n^m$이 모든 요소가 0.7까지 분석을 하였고, 아울러 광픽업의 3D 빔 데이터를 실측해서 간섭계로 측정한 데이터와 R=0.98 정도의 상관관계를 가지는 것을 확인하였다.

전, 후방 기울기각을 이용한 노인의 보행안정성 평가 (Evaluation of the Elderly Gait Stability Using the Center of Mass and Center of Pressure Inclination Angles)

  • 윤석훈;김태삼;이재훈;류지선;권영후
    • 한국운동역학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.99-106
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    • 2007
  • The gait instability in the elderly has been associated with age-related deterioration in physical strength and reducing the potential for elderly falls requires regular exercise. In 2005, National Center for Injury Prevention and Control(NCIPC) reported that most elderly falls occur during activities in daily living(ADL). To better reveal biomechanic mechanisms underlying age-related degeneration in gait stability, and to enhance the assessment of falls risk, an accurate quantification of a person's balance maintenance during locomotion is needed. Instantaneous orientation of the line connecting COP and COM can characterize whole body position with respect to the supporting foot during gait and the angle between this line and the vertical line passing through the COP known as a good assessment to detect the elderly gait instability. Therefore the purpose of this study was to investigate a 6-month walking exercise effects in reducing elderly fall risk factors by using COP-COM inclination angles. Twenty-two community-dwelling elderly participated this study. The participants performed a walking exercise(3 times/week, 1 hour/visit) for 6 months. Laboratory kinematics during walking was assessed at months 0, 3 and 6. Significant increased in gait velocity was found among periods(p=.011, $1.25{\pm}.03$, $1.32{\pm}.03$, and $1.39{\pm}.04\;m/s$ in 0-, 3-, and 6-month, respectively). Also, significant differences in anterior and posteriror inclination angles were found among the periods(p<.05; posterior inclination angles: $12.8{\pm}2.2$, $11.0{\pm}2.9$, & $10.9{\pm}1.9$; anterior inclination angles: $13.7{\pm}1.7$, $14.6{\pm}3.2$, & $1.46{\pm}.21$ in 0month, 3month, & 6month, respectively). These findings provide evidence of significant reduced fall risk factors of community-living older adults associated with a systematic walking program.

외상성 골반 출혈환자에서 CT 혈관조영술 후 동맥 색전술을 시행하는 치료방침의 유용성: 단일 권역응급센터의 경험 (Treatment Strategy of Transcatheter Arterial Embolization after Pelvic CT Angiography in Traumatic Pelvic Hemorrhage : A Single Regional Emergency Center's Experience)

  • 이유진;제환준;차원철;서준석;김효철;신청일;신상도
    • Journal of Trauma and Injury
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    • 제22권2호
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    • pp.184-192
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    • 2009
  • Purpose: This study was conducted to evaluate the effectiveness of the treatment strategy of transcatheter arterial embolization after pelvic CT angiography (CTA) in cases of traumatic pelvic hemorrhage. Methods: This is a retrospective analysis of pelvic hemorrhage patients who underwent transcatheter arterial embolization after pelvic CTA at our regional emergency center during a 31-month period. We reviewed the medical records and imagings of all these patients. Results: Transcatheter arterial embolization was performed in 17 patients (M:F=7:10, mean age=53.9) who underwent pelvic CTA for the evaluation of traumatic pelvic hemorrhage. Arterial bleeding was demonstrated on pelvic CTA in all patients, and the combined injury was also noted in 13 patients. The admission-to-CTA time was $84.53{\pm}66.92$ minutes, and the CTA-to-embolization time was $147.65{\pm}99.97$ minutes. Extravasation of contrast media or pseudoaneurysm was demonstrated on conventional angiography in all patients. Unilateral iliac artery embolization was performed in 8 patients, and bilateral iliac artery embolization was performed in 9 patients. Additional embolizations other than in the iliac arteries were performed in 7 patients. Initial hemostasis was achieved in 16 patients. One patient died of ongoing pelvic bleeding. Rebleeding occurred in only one patient and hemostasis was achieved with the second embolization. Another patient died of intracranial and facial bleeding in spite of pelvic hemostasis. The overall mortality was 11.8%, and there was no significant adverse effects in the other patients. Conclusion: Transcatheter arterial embolization after pelvic CTA is an effective treatment strategy in the management of traumatic pelvic hemorrhage patients.

원적외선 처리가 상황버섯과 영지버섯 추출물의 항산화능에 미치는 영향 (Effect of Far-infrared Irradiation on the Antioxidant Activity of Extracts from Phellinus igniarius and Ganoderma lucidum)

  • 이승철;주영철;김정한
    • 한국식품과학회지
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    • 제39권4호
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    • pp.386-389
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    • 2007
  • 원적외선 조사가 상황버섯과 영지버섯의 항산화능에 미치는 영향을 조사하기 위하여 30, 60, 90 그리고 120분 간격으로 원적외선을 조사를 한 후, 물 추출물을 제조하여 실험에 이용하였다. 상황버섯 추출물은 원적외선 처리시간에 비례하여 갈변도, 총당, 총페놀, 라디컬소거능 및 환원력이 증가하였으며, 120분 처리 후 갈변도는 2.1 배, 총당은 2.6배, 총페놀은 2.2배 , 라디컬 소거능은 2.2배, 환원력은 1.6 배 증가하였다. 또한, 원적외선 120분 조사에 의해 영지버섯 추출물의 갈변도, 총당, 총페놀 및 라디컬소거능도 각각 1.7배, 2.0배, 2.3배, 1.3배 증가하였다. 그러나 환원력은 유의적인 차이를 보이지 않았으며, 전체적인 효과는 상황버섯에 비해 다소 낮았다. 이상의 결과 원적외선 조사가 상황버섯과 영지 버섯의 당류 및 페놀화합물의 추출을 촉진하여 항산화능을 향상시킴을 확인하였다.

흑임자 첨가량을 달리한 구기자흑임자죽의 품질특성 (Quality Characteristics of Gugija.Heukimja Jook Containing Different Levels of Black Sesame Powder)

  • 민은설;조정순
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.106-118
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    • 2009
  • This study was to investigated optimum preparation conditions for Gugija Heukimja jook by response surface methodology (RSM). The important materials used for the Gugija Heukimja product were Lycium chinese, Seasamum indicum L., Ziziphus jujuba Mill. and rice. Moisture content, crude protein, crude fat, crude ash and crude fiber content were 15.62, 16.60, 13.62, 4.93 and 11.17% for Lycium chinese, 3.62, 20.94, 43.56, 5.67 and 10.72% for Seasamum indicum L., 24.12, 5.38, 0.73, 2.30 and 1.25% for Ziziphus jujuba Mill., and 12.36, 6.98, 0.46, 0.43 and 0.41% for rice, respectively. Optimal extraction conditions of brix, color, pH and total acidity in the materials for Gugija Heukimja jook were temperature $80^{\circ}C$, water volume 850 mL and extraction time of 63 min. The spreadability of jook with Lycium chinese and Ziziphus jujuba Mill. extracts was the highest when black sesame was 12 g pH was the lowest when black sesame was 9 g. PH showed a significant difference when the added black sesame ratio changed. The 'value L' of chromaticity was lower with an increase of the black sesame ratio, 'value a' was higher with an increase of the black sesame ratio, 'value b' was lower with an increase of the black sesame ratio. Brix was lower when black sesame in jook was added. Total acidity was highest (7.27%) when black sesame was 12 g. The degree of gelatinization tended to be lower with additional black sesame. Higher scores of sensory evaluation were found for the product containing 9 g black sesame with Lycii furctus and Ziziphus jujuba Mill. extracts ompared to the other samples with 3 and 6g. No significant difference in taste occurred for Gugija Heukimja jook prepared with over 9 g black sesame, while a great difference showed in color, pH and total acid. Therefore, the Gugija Heukimja jook prepared under the optimal conditions of 9 g black sesame with Lycium chinese and Ziziphus jujuba Mill. extracts exhibited higher qualities. Gugija Heukimja jook can use the easier for Yacksun jook. It is expected to become functional in the product's development.

강우시 위생폐기물 매립지의 침출수 거동 (The Behaviour of Leachate by Rainfall in Sanitary Landfill Site)

  • 배일상;정권;김동일;신재영;정일현
    • 환경위생공학
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    • 제13권3호
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    • pp.148-157
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    • 1998
  • Leachate is a result of the percolation of precipitation, uncontrolled runoff, and irrigation water into the landfill and can also include water initially contained in the waste as well as infiltrating groundwater. Behaviour of leachate by rainfall was studied to evaluate the variation of leachate generation and contaminants by rainfall in Sudokwon Landfill from January 1998 to October 1998. The quantity of leachate generated was measured with a flow meter, and the concentrations $BOD_5$, CODcr, T-N, $NE_3-N$, SS of leachate were also measured. Principal outcome obtained in this study are as follows : the quantity of leachate generated was the highest on August, the highest leachate generation volume in this period was 11,913㎥ and the lowest was $6,261m^3$. Although the similar amount of precipitation of 80mm applied to the two samples, there were difference in leachate generation due to precipitation duration, precipitation frequency, wet condition of solid wastes. As the result of regression analysis, the correlation coefficients(r) between the quantity of leachate generated and precipitation were 0.823, 0.976 between $BOD_5$ and CODcr, 0.992 between T-N and $NE_3-N$. As the quantity of leachate generated increased 48%, the concentration of $BOD_5$ and CODcr decreased 51% and 50% respectively. Therefore it was showed that the pollutant concentrations in leachate were diluted by precipitation. The concentrations of $BOD_5$ and COBcr in the rainy season were 2000~4000mg/1, 4000~6000mg/1 respectively, and 1000~3000 mg/1, 3000~5000 mg/l in the dry season. The loading of SS, $BOD_5$, CODcr(kg/month) on July was increased by 2.9 times, 2.8 times, 2.2 times with a basis on March. Therefore countermeasure of treatment facilities according to increase of loading by rainfall in summer is necessary.

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재래돼지와 랜드레이스 교잡종의 개체별 성장곡선 추정 및 육질형질과의 상관관계 추정에 관한 연구 (A Study on Estimation of Individual Growth Curve Parameters and their Relationships with Meat Quality Traits of Crossbred between Korean Native Boars and Landrace Sows)

  • 조용민;최봉환;김태현;이지웅;이지의;오성종;정일정
    • Journal of Animal Science and Technology
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    • 제46권4호
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    • pp.503-508
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    • 2004
  • 본 연구는 돼지의 일령별 체중자료를 이용한 개체별 체중 성장곡선 추정을 통해 성장 특성을 조사하고 육질 형질과의 상관 관계를 규명하고자 실시하였다. 축산연구소의 재래돼지와 랜드레이스를 기초축으로 조성한 F2집단 253두를 대상으로 일령별 체중기록과 육질 형질을 측정하여 개체별 성장곡선 모수와 성장 특성치를 추정하고 등지방 두께, 조지방 함량, 지방율 및 전단력과 성장곡선 모수간의 표현형 상관관계를 추정하였다. 대부분의 성장 특성치들은 기존 연구에서 제시된 재래돼지와 랜드레이스순종의 중간정도 능력을 나타내었으며, 상관관계의 추정 결과 조숙성의 개체일수록 성숙체중이 작았으며 만숙성인 개체일수록 지속적인 성장률의 증가로 인해 변곡점이 나타나는 월령이 늦어지며 최대 증체율이 커지는 것으로 나타났다. 성장곡선 모수와 육질형질 측정치들간의 상관 관계는 암수간에 일부에서 다소 상반되는 방향으로 추정되었으며 특히 전단력의 경우 모든 성장 특정치들과의 관계가 반대로 추정되었다. 최대 증체율과 등지방 두께 및 조지방 함량과의 상관은 비교적 높은 정의 상관정도를 보여 최대 증체율이 클수록 등지방 두께와 조지방 함량이 높아지는 것으로 나타났다.

소아에서의 UCP-1 다형성과 비만도 및 혈액 지질수치와의 관련성에 관한 연구 (The Relationships between UCP-1 Polymorphism and the Degree of Obesity or Plasma Lipid Profile in Prepubertal Children)

  • 오현희;신은정;이명숙
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제41권8호
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    • pp.767-775
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    • 2008
  • 1) 연구대상자 중 비만아동 빈도수 분석 결과, BIA법에서는 70.0%, BMI에 의한 비만도에서는 32.7%, 신장별 체중에 의한 비만도에서는 23.6%로 BAI법에 의해 비만아동의 빈도수가 가장 많았다. 혈청 생화화적 분석 결과는 NCEP의 이상지혈증 기준 이하로 나타났다. 2) UCP-1 유전자 다형성에 의한 신체계측의 결과의 분포는 정상형과 변이형에서 차이를 나타내지 않았고 혈중 생 화학 결과에서는 LDL (p = 0.039)과 TC (p = 0.063)이 정상형에 비해 변이형에서 유의적으로 증가하였다. 3) LDL을 130 mg/dL 기준으로 고LDL 콜레스테롤혈증과 정상으로 나누었을 때 각각에서 UCP-1 유전자 다형성의 분포는 고LDL 콜레스테롤혈증에서 A allele는 5.4%, G allele는 13.0%로 G allele의 빈도가 높게 분포하였고, 정상에서는 각각 94.6%, 87%의 분포를 나타내었다 (p = 0.062, ORs 2.640). LDL의 농도를 백분위수에 따라 4집단으로 나누고 UCP-1 유전자의 A allele와 G allele에서 LDL 농도의 빈도수를 나타내었을 때 G allele에서는 빈도수가 25th, 50th, 75th, 100th에 따라 유의적으로 증가하였다 ($r^2$ = 0.7995, p-trend = 0.032). 따라서 UCP-1 유전자 변이형은 정상형에 비해 고LDL-콜레스테롤혈증의 발병을 증가시키는 것으로 나타났다. UCP-1 유전자의 다형성은 이상지혈증의 위험인자인 LDL 농도를 증가시키는 위험요인으로써 나타났고, 체중을 감안할 때는 이상지혈증의 위험도가 더욱 증가할 것으로 생각되어진다. 따라서 UCP-1 유전자 변이형을 가지는 비만아동은 고LDL-콜레스테롤혈증의 발병과 관련된 식이 및 환경적 인자를 적절히 통제하는 예방 대책을 마련하여야겠다.

어촌과 도시지역 여고생의 영양실태, 체조성 및 혈액성상에 관한 연구 (A Study on Nutrients Intakes, Body Composition and Hematological Status of High School Girls in Fishing and Urban Areas)

  • 황금희;허영란;임현숙
    • 한국가정과학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.81-93
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    • 1998
  • The purpose of this study was to examin height, weight and body composition nutrient intakes and serum lipids for high school girls in urban and fishing area. The subjects consisted of 78(44 fishing and 34 urban) high school girls aged in average 17.3 and 17 years. Their dietary intakes were assesed for 1 day by means of 24 hours dietary recall method. Concentrations of serum lipids, percentage of body fat and volume of total body water were measured. The mean energy intake of the subjects were 1431 ㎉ in fishing and 1659 ㎉ in urban area. The subjects in fishing area(urban) consumed 58(67) g protein, 27(36) g lipid, 459(634) mg calcium, 676(945) mg phosphorous, 11(14) mg iron, 786(574) RE retinol, 2.8(3.6) mg tocopherol, 0.9(1.0) mg thiamin, 1.2(1.1) mg riboflavin, 16.9(20.5) mg niacin and 64.1(92.8) mg ascorbic acid, respectively. Energy, calcium, iron and tocopherol intakes were lower than the Korean RDA in both girls. The mean percentage of fishing girls were 19.8% and significantly lower than 25.6% in urban. These values seem to fall in the desirable range in fishing girls, but high school girls in urban is seemed to overweight. The mean saturated fatty acid(SFA), monounsaturated fatty acid(MUFA), polyunsaturated fatty acid(PUFA) and dietary cholesterol(Chol) intakes were 7.3 g, 8.1 g, 7.2 g and 263 mg for fishing girls were 13.1 g, 12.1 g, 9.1 g and 216 mg for urban girls respectively. The fat, SFA and MUFA intakes in fishing girls were significantly lower than urban girls. The P/M/S ratio was 0.9/1.1/1 for fishing, was 0.7/0.9/1 for urban. The mean serum triglyceride(TG), total cholesterol, HDL cholesterol, LDL-cholesterol concentrations were 77.7(61.8) mg/dl, 124.5(142.3) mg/dl, 59.3(22.4) mg/dl and 49.6(107.8) mg/dl in fishing girls(urban girls), respectively. All of these values seem to fall in the desirable range but HDL-chlesterol concentrations in fishing girls were significantly higher than urban girls and LDL-cholesterol concentrations in fishing girls were significantly lower than urban girls. There were positive correlations between body fat percent and total cholesterol or LDL-cholesterol concentration : negative correlations between between body fat percent and HDL-cholesterol concentration : positive correlation between fat intake and LDL-cholesterol concentration : negative correlations between serum HDL-cholesterol concentration and fat or SFA or MUFA intakes. (Korean J Human 1(1) : 81~93, 1998)

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