As semiconductor device architecture develops, from planar field-effect transistors (FET) to FinFET and gate-all-around (GAA), there is an increased need to measure 3D structure sidewalls precisely. Here, we present a 3-Dimensional Atomic Force Microscope (3D-AFM), a powerful 3D metrology tool to measure the sidewall roughness (SWR) of vertical and undercut structures. First, we measured three different dies repeatedly to calculate reproducibility in die level. Reproducible results were derived with a relative standard deviation under 2%. Second, we measured 13 different dies, including the center and edge of the wafer, to analyze SWR distribution in wafer level and reliable results were measured. All analysis was performed using a novel algorithm, including auto fattening, sidewall detection, and SWR calculation. In addition, SWR automatic analysis software was implemented to reduce analysis time and to provide standard analysis. The results suggest that our 3D-AFM, based on the tilted Z scanner, will enable an advanced methodology for automated 3D measurement and analysis.
Kim, Sun-Gun;Shin, So-Young;Moon, Ye-Ji;Seo, Ji-Yoon;Kim, Ho-Kyoung;Whang, Wan-Kyunn
YAKHAK HOEJI
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v.54
no.6
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pp.441-448
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2010
In present study, classification and quality control of Genus Polygonatum were developed using the isolated from Polygonati Odorati Rhizoma and Polygonati Rhizoma. 3 components were isolated from Butanol fractions of Polygonati Rhizoma, and 2 components were isolated from Hexane and Butanol fractions of Polygonati Odorati Rhizoma. All the components were obtained using silica gel and ODS column chromatography. The compounds were identified as adenosine, 14-hydroxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-D-galactopyranosyl-26-O-${\beta}$-D-glucopyranoside, 22-O-methyl-14-hydrocxyfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-Dgalactopyranosyl-26-O-${\beta}$-D-glucopyranoside, ${\beta}$-Sitosteryl-3-O-${\beta}$-D-D-glucopyranoside, 14-hydoxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-Dglucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-[${\beta}$-D-xylopyranosyl-($1{\rightarrow}3$)]-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-D-galactopyranoside through physicochemical data, spectroscopic methods ($^1H$-NMR, $^{13}C$-NMR, Mass) according references. The quality control of genus Polygonatum were conducted using HPLC quantitative analysis of 14-hydroxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\beta}4$)-O-${\beta}$-D-galactopyranosyl-26-O-${\beta}$-D-glucopyranoside, 14-hydoxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-[${\beta}$-D-xylopyranosyl-($1{\rightarrow}3$)]-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-D-galactopyranoside in 30 samples collected throughout Korea and China. This method provided a tool for standardization of mix or misusing the commercial Odorati Rhizoma and Polygonati Rhizoma. As a result, contained quantity of 14-hydroxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-D-galactopyranosyl-26-O-${\beta}$-D-glucopyranoside was measured $0.008{\pm}0.006%$ and 14-hydoxylfurost-5-ene-3-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}2$)-O-[${\beta}$-D-xylopyranosyl-(13)]-O-${\beta}$-D-glucopyranosyl-($1{\rightarrow}4$)-O-${\beta}$-Dgalactopyranoside was measured $0.026{\pm}0.012%$.
Most of the diphyllobothriid tapeworms isolated from human samples in the Republic of Korea (=Korea) have been identified as Diphyllobothrium nihonkaiense by genetic analysis. This paper reports confirmation of D. nihonkaiense infections in 4 additional human samples obtained between 1995 and 2014, which were analyzed at the Department of Parasitology, Hallym University College of Medicine, Korea. Analysis of the mitochondrial cytochrome c oxidase 1 (cox1) gene revealed a 98.5-99.5% similarity with a reference D. nihonkaiense sequence in GenBank. The present report adds 4 cases of D. nihonkaiense infections to the literature, indicating that the dominant diphyllobothriid tapeworm species in Korea is D. nihonkaiense but not D. latum.
The static analysis of structures with arbitrary cross-section geometry and material lamination via a refined one-dimensional (1D) approach is presented in this paper. Higher-order 1D models with a variable order of expansion for the displacement field are developed on the basis of Carrera Unified Formulation (CUF). Classical Euler-Bernoulli and Timoshenko beam theories are obtained as particular cases of the first-order model. Numerical results of displacement, strain and stress are provided by using the finite element method (FEM) along the longitudinal direction for different configurations in excellent agreement with three-dimensional (3D) finite element solutions. In particular, a layered thin-walled cylinder is considered as first assessment with a laminated conventional cross-section. An atherosclerotic plaque is introduced as a typical structure with arbitrary cross-section geometry and studied for both the homogeneous and nonhomogeneous material cases through the 1D variable kinematic models. The analyses highlight limitations of classical beam theories and the importance of higher-order terms in accurately detecting in-plane cross-section deformation without introducing additional numerical problems. Comparisons with 3D finite element solutions prove that 1D CUF provides remarkable three-dimensional accuracy in the analysis of even short and nonhomogeneous structures with arbitrary geometry through a significant reduction in computational cost.
Journal of the Korean Operations Research and Management Science Society
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v.41
no.1
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pp.99-111
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2016
This paper presents a framework to analyze the change in the research and development (R&D) efficiency of government-funded research institutes (GRIs) in Korea. Cumulative data envelopment analysis/Malmquist index method is utilized to analyze the changes in R&D efficiency of GRIs. Data analysis of the R&D activities of 10 GRIs in Korea Research Council of Fundamental Science & Technology showed that the average R&D efficiency of the 10 GRIs improved from 2009 to 2013. However, the efficiency of a few GRIs decreased in terms of the catch-up index. The proposed framework can help management teams diagnose the current state of R&D activities and determine the efficacy of strategic actions by comparing efficiencies in the past.
Journal of the Korea Institute of Military Science and Technology
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v.22
no.1
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pp.106-123
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2019
Demand for performance analysis is increasing for efficient use of limited budgets such as improving investment efficiency and strategic budget allocation in accordance with the continuous increase demand of R&D budget for developing advanced weapon systems in the future battlefields. In accordance with the Act on the Performance Evaluation and Performance Management of the National R&D Projects established in March 2006, the performance analysis has been conducted for the systematic management and utilization of the R&D project performance. It was recognized as a project to achieve self-defense through strengthening the weapons system development capability, however, efficiency evaluation of Defense R&D projects was not much emphasized. Research on the efficiency analysis of defense R&D projects has been conducted in recent years, but most studies focused on corporate efficiency and productivity of defense companies. In this study, we analyzed the three-stage performance of defence R&D projects based on the logical model using the data envelope analysis(DEA) model. We also analyzed performance analysis from various perspectives through R&D type, technology classification and performance model. This study is expected to help defense department improve defense R&D projects and make decision.
Elastomeric o-ring performance and structure when subjected to a foreign object is studied using finite element analysis (FEA). Elastomeric o-rings have been studied using 2D analysis for a long time. Contact pressure is an important factor in o-ring design. When contact pressure is lower than applied pressure, leaking, vibration, and noise can occur; resulting in decreased output. In this study, we compared 2D and 3D analyses of elastomeric o-rings. Similar results were shown for 2D and 3D contact pressure. However, when an o-ring encounters foreign object matter, 3D analysis is required because contact pressure in every direction needs to be considered. We determined the influence of foreign matter on o-ring performance and structure by analyzing 10 cases with different clearances in a 3D model. Therefore, an o-ring encountering foreign object matter must be analyzed in 3D with the result included in the o-ring design.
The present work is an attempt to provide an overview, about the status of R&D and current trends in Hydrogen Production using High Temperature Reactors. Bibliographic references from the INIS database, the Science Direct database and the NTIS database were downloaded and analyzed. Ten year data on the subject, published between 2001 and 2010, was selected for the study. Appropriate qued ry formulations on these databases, resulted in the retrieval of 621 unique bibliographic records. Using the content analysis method, all the records were analyzed. Part One of the analysis details Scientometric R&D indicators, Part Two is a subject-based analysis, grouped under: A. International Initiatives and Programmes for Hydrogen Production; B. European R&D initiatives for Hydrogen production; C. National Initiatives and Programmes for Nuclear Hydrogen Production; D. Reactor Technologies for Nuclear Hydrogen production; E. Fuel Developments; F. Hydrogen Production Processes using HTRs and G. Materials Consideration for Nuclear Hydrogen Production. The results of this analysis are summarized in the study.
Journal of the Korean Society of Fisheries and Ocean Technology
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v.56
no.3
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pp.230-237
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2020
In order to design a diesel engine system and predict its performance, it is necessary to analyze the gas flow of the intake and exhaust system. A gas flow analysis in three-dimensional (3D) format needs a high-resolution workstation and enormous time for analysis. Therefore, the method of characteristics (MOC) was used for a gas flow analysis with a fast calculation time and a low-resolution workstation. An experiment was conducted on a single cylinder diesel engine to measure pressure in cylinder, intake pipe and exhaust pipe. The one-dimensional (1D) gas flow was analyzed under the same conditions as the experiment. The engine speed, valve timing and compression ratio were the same conditions and the intake pressure was inputted as the experimental results. Bent pipe such as an exhaust port that cannot be realized in 1D was omitted. As results of validation, the cylinder pressure showed accuracy, but the exhaust pipe pressure exhibited inaccuracy. This is considered as an error caused by the failure to implement a bent pipe such as an exhaust port. When analyzed in 3D, calculation time required 61 hours more based on a model of this study. In the future, we intend to implement a bent pipe that cannot be realized in 1D using 3D and prepare a method to supplement reliability by using 1D-3D coupling.
Petrolo, Marco;Carrera, Erasmo;Alawami, Ali Saeghier Ali Saeed
Advances in aircraft and spacecraft science
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v.3
no.1
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pp.95-112
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2016
This paper presents the free vibration analysis of damaged beams by means of 1D (beam) advanced finite element models. The present 1D formulation stems from the Carrera Unified Formulation (CUF), and it leads to a Component-Wise (CW) modelling. By means of the CUF, any order 2D and 1D structural models can be developed in a unified and hierarchical manner, and they provide extremely accurate results with very low computational costs. The computational cost reduction in terms of total amount of DOFs ranges from 10 to 100 times less than shell and solid models, respectively. The CW provides a detailed physical description of the real structure since each component can be modelled with its material characteristics, that is, no homogenization techniques are required. Furthermore, although 1D models are exploited, the problem unknown variables can be placed on the physical surfaces of the real 3D model. No artificial surfaces or lines have to be defined to build the structural model. Global and local damages are introduced by decreasing the stiffness properties of the material in the damaged regions. The results show that the proposed 1D models can deal with damaged structures as accurately as a shell or a solid model, but with far lower computational costs. Furthermore, it is shown how the presence of damages can lead to shell-like modal shapes and torsional/bending coupling.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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