• 제목/요약/키워드: 휘발성 산화

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XPS와 SEM을 이용한 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막에 대한 연구 (A Study on the Polysilicon Etch Residue by XPS and SEM)

  • 김태형;이종완;최상준;이창원
    • 한국진공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.169-175
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    • 1998
  • HBr/$Cl_2/He-O_2$ 반응 기체를 이용한 반응성 이온 식각후, 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막을 x-선 광전자 분광법(x-ray photoelectron spectroscopy, XPS)과 전자 현미경 (scanning electron mocroscopy, SEM)을 이용하여 관찰하였다. 그 결과 잔류물은 패턴된 폴 리실리콘의 맨 윗부분에 자존하고 있었으며, 화학 결합 상태는 실리콘 산화물임이 밝혀졌다. 잔류물인 실리콘 산화물의 형성 메카니즘을 규명하기 위하여 원래의 혼합 기체 성분중 한가 지씩의 반응 기체를 제외시켜 가면서 실험하였다. 비록 플라즈마 성질이 다를지라도, 잔류물 은 산소의 존재하에서 잘 형성됨을 알 수 있었는데, 이는 휘발성이 낮은 실리콘-할로겐 화 합물이 산소에 의해 산화됨으로써 형성되는 것으로 이해하게 되었다. 또한 반응성 이온 식 각후 형성된 잔류층은 소자의 전기적 특성과 후처리 공정에 영향을 미치는 것으로 알려져 있어서, 이를 제거하기 위해 습식과 건식 후처리 공정을 도입하여 비교하였다. 그 결과 건식 공정의 경우 기체에 의해 새로운 잔류물이 형성됨을 XPS를 통하여 관찰하였다. 따라서 잔 류물을 제거하고 깨끗한 표면을 얻기 위해서는 습식 공정이 더 적합함을 알았다.

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악취성 VOCs 제거를 위한 전해 산화제 OCl-의 생산 최적화 (Optimization of Electrolytic Oxidant OCl- Production for Malodorous VOCs Removal)

  • 양우영;이태호;류희욱
    • 청정기술
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    • 제27권2호
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    • pp.152-159
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    • 2021
  • 다양한 환경문제를 일으키는 휘발성 유기 화합물(volatile organic compounds, VOCs)은 산업 지대 및 도심의 실내외에서 다양하게 발생한다. 악취성 VOCs는 심미적 불쾌함과 더불어 인체에 심각한 영향을 미칠 수도 있다. 기존에 악취성 VOCs를 저감하는 방식에 비하여, 전기 분해를 통해 생산된 산화제를 이용한 수세정 방식은 오염 물질 저감과 동시에 산화제의 재생이 가능하다는 장점이 있다. 본 연구에서는 염소계 산화제인 OCl-을 생산하기 위한 최적 조건을 연구하였다. 산화 및 환원 전극의 종류와 전해질의 종류, 전해질의 농도 및 전류 밀도를 변화시켰다. 산화 전극은 Ti/IrO2, 환원 전극은 Ti을 사용하였을 때 OCl- 생산이 가장 우수하고 안정적이었다. 전해질의 OCl- 생산 능력은 KCl과 NaCl이 유사하게 나타났으나, 경제적이고 쉽게 구할 수 있는 NaCl이 최적이라고 판단하였다. OCl- 생산 속도가 우수하고 농도가 가장 높게 생산된 NaCl 농도 및 전류 밀도 조건은 0.75 M NaCl, 0.03 A cm-2이었다. 하지만 전력 비용을 고려했을 때 본 실험에서는 1.00 M NaCl, 0.01 A cm-2의 조건의 OCl- 생산이 가장 효율적이었다. 실제 현장 적용시 오염물질의 농도 및 특성에 따라서 전류밀도를 조절하여 OCl-을 생산하는 것이 바람직할 것이다.

홍화꽃 및 홍화씨의 휘발성성분 (Volatile Components of Flower and Seed of Safflower)

  • 최성희;임성임;장은영;조영수
    • 한국식품과학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.196-201
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    • 2004
  • 식품재료 및 약리 효과로 인한 약용재료로서 사용범위가 확대되고 있는 홍화꽃 및 홍화씨의 휘발성 성분을 분석 동정하였다. 그 결과, 홍화꽃의 주요 휘발성 성분으로는 테르펜류인 p-cymene, limonene, ${\alpha}-phellandrene$, ${\gamma}-terpinene$, camphor, 4-terpineol, selinene, ${\beta}-caryophyllene$, torreyol, ${\beta}-eudesmol$ 등이 검출되었다. 또한, phenylacetaldehyde, 2-phenylethylalcohol, 4-terpineol, ${\beta}-caryophyllene$, ${\gamma}-terpinene$, ${\alpha}-phellandrene$ 등 통상의 꽃향기 성분과 알데히드류인 3-methylbutanal, 2-methylbutanal, pentanal, hexanal, octanal, nonanal 및 decanal, 알코올류인 2-pentanol 및 heptanol, 케톤류의 3-penten-2-one, 2-heptanone, 2,6,6-trimethyl cyclohexanone 등이 함유되어 있었다. 그 이외 산류인 acetic acid, heptanoic acid, 2-methylbutanoic acid 및 rancid-cheese odor를 띄는 3-methylbutanoic acid(isovaleric acid) 등의 생성이 확인되었다. 특히, 홍화꽃에서의 이들 산류의 생성은 다른 꽃류에 비해 종류나 함량이 많았으며, 홍화꽃이 다른 꽃에 비해 좋지 않은 냄새를 내는 특징적인 요인으로 생각되었다. 한편, 홍화씨의 경우는 hexanal, (E)-2-heptenal, (E,Z)-2,4-decadienal 및 (E,E)-2,4-decadienal등의 알데히드류가 주요 휘발성 성분으로 동정되었다. 일반성분 중 전체 함량의 약 30%의 지질을 함유하는 홍화씨는, 방향성과 관계된 torreyol, ${\beta}-eudesmol$ 등의 terpene alcohol류, 달콤한 향과 관계가 있는 3-methylbutanal 및 2-methylbutanal과 함께 산류의 생성도 있었으나, 지방산 산화 분해생성물인 (E,Z)-2,4-decadienal 및 (E,E)-2,4-decadienal이 전체 휘발성 함량의 약 75%를 차지하였다.

식물정유물질에 금속산화물을 첨가한 탈취제의 휘발성유기화합물질의 제거에 관한 연구 (Removal of Volatile Organic Compounds (VOCs) of Deodorant by Adding a Metal Oxide to the Essential Oils)

  • 임유영;이민호;전수빈;양경순;정해은;오광중
    • 청정기술
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    • 제22권2호
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    • pp.96-105
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    • 2016
  • 다양한 산업시설에서 배출되는 휘발성유기화합물질(VOCs)은 대기를 오염시키고 인체에 악취 물질로 작용하게 된다. 이를 제어하기 위해 기존의 악취 방지시설을 이용하여 배출가스를 처리하고 있지만 휘발성유기화합물질 제거의 경우 기술적인 한계점이 존재하기 때문에 이를 개선하기 위한 연구가 필요한 실정이다. 이에 본 연구에서는 선별 실험을 통해 식물정유 물질 및 금속산화물의 종류를 선정하고 최적 혼합 비율을 결정함으로써 분사형 탈취제를 개발하였다. 식물정유물질 및 금속 첨가제의 종류와 혼합비율의 경우 각각 라벤더 45%, 편백나무 45%, 이산화티타늄 10%로 결정하였다. 또한 최적 휘발성유기화합물질 제거 조건을 도출하기 위해 회분식 반응기를 이용하여 희석배수, 분사량, 온도에 따른 실험을 수행하였다. 실험 결과 희석배수의 감소, 분사량 및 온도의 증가에 따라 휘발성유기화합물질 제거 효율이 증가하는 경향을 나타내었으나 경제성을 고려하여 반응가스 25 L에 대한 탈취제 최적 희석배수의 경우 200배, 분사량은 6 mL로 결정하였다. 또한 반응속도 상수 및 활성화 에너지를 예측함으로써 혼합탈취제의 우수성과 현장 적용가능성을 검토하였다. 도출된 반응 속도식을 이용하여 기존의 탈취제와 비교한 결과 활성화에너지가 약 3~4배 낮게 나타났다.

2001년 6월 서울 KIST에서의 NMHC 오염원 추정 (Source Estimation of NMHC at KIST in Seoul in June 2001)

  • 임은정;김영성;김봉만
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.289-290
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    • 2003
  • NMHC (non-methane hydrocarbons)는 $C_2$- $C_{l2}$의 탄화수소로 구성되며 NOx와 함께 오존을 생성시킨다. NMHC에 카보닐 화합물과, 카본수가 증가하여 휘발성이 떨어지더라도 광화학 반응성이 있는 탄화수소가 추가되면 우리에게 보다 익숙한 VOC (volatile organic compounds)가 된다 (Watson et al., 2001). NMHC는 자동차, 가스 및 석유 정제시설, 주유소, 세탁공업, 산업공정 등으로부터 배출된다. NMHC는 오존 등 광화학 산화제 뿐 아니라 미세입자 생성에도 직접 또는 간접적으로 관여하여 광화학 스모그를 유발시킬 수도 있다. (중략)략)

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신선한 돈육 등심과 삼겹에 첨가한 비타민 C 전구체, 마늘 그리고 양파 분말의 항산화 및 항미생물 효과

  • 박성용;진구복
    • 한국축산식품학회:학술대회논문집
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    • 한국축산식품학회 2006년도 정기총회 및 제37차 춘계 국제학술발표대회
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    • pp.161-165
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    • 2006
  • 삼겹에 있어서 SA, 양파 그리고 마늘의 첨가로 FFA 값은 저장 28일에 대조구와 비교하여 각각 14, 31 그리고 53% 감소하였으나 등심에서는 효과가 없었다. 삼겹에서 과산화물의 생성률은 SA처리구를 제외하고 천연소제 첨가에 의해 감소되었다. 그러나 등심에서는 마늘을 제외하고는 천연소제 첨가에 의한 효과는 없었다. 삼겹과 등심 모두에서 휘발성 산화 생성물들은 천연소제에 의한 주목할 만한 효과는 없었다. 삼겹에서 마늘과 양파는 저장성을 연장시킴으로써 항미생물 효과를 보였다. 본 연구에 사용된 천연 물질들은 항산화 및 항미생물 효과를 보였다. 특히 마늘은 지방을 포함하는 식품에서 안정화를 위한 천연 자원으로써 고려되어져야 할 것이다.

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휘발성유기화합물 처리를 위한 고도산화법과 고분자 담체 바이오필터 결합시스템의 적용 (Applications of a Hybrid System Coupled with Ultraviolet and Biofiltration for the Treatment of VOCs)

  • 신승규;송지현
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권4B호
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    • pp.441-447
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    • 2008
  • 산업현장에서 발생되는 휘발성유기화합물은 생분해 가능한 화합물과 난분해성 물질이 혼합되어 있는 경우가 많으며, 저감기술을 단독으로 적용해서는 효과적인 제어가 불가능하다. 따라서 본 연구에서는 난분해성 물질이 혼합된 휘발성유기화합물을 처리하기 위하여, 자외선(UV) 광분해 장치와 미생물 고정화 복합고분자 담체가 적용된 바이오필터 기술을 결합한 통합시스템을 구성하고 반응 특성을 검토하였다. 대상 휘발성유기화합물로는 toluene과 TCE를 선정하였다. 자외선 광산화 단독실험 결과 TCE는 99% 이상의 제거효율을 나타내었으며 수용성 중간생성물 발생량도 크게 증가하였다. 그러나 toluene과 TCE를 혼합하여 유입시키면 자외선 광분해만으로는 유기화합물 제거율이 낮아졌다. 자외선 광산화와 바이오필터를 결합한 통합시스템 실험에서는 높은 toluene 제거효율을 얻을 수 있었으며, 전처리로 자외선을 조사한 후 toluene과 TCE의 처리효율도 함께 증가하는 것을 확인하였다. 이는 자외선에 의해 일부 산화된 toluene과 TCE가 미생물에 의해 보다 효과적으로 분해될 수 있음을 보여준다. 자외선 광산화 반응은 toluene이 상대적으로 적게 존재하는 상황에서 TCE 제거효율을 효과적으로 향상시킬 수 있었으며, 본 실험에서 확인한 TCE 최대 분해능은 $18.2g/m^3/hr$이었다. 그러나 toluene 유입농도가 높았던 조건에서는 toluene의 저해작용으로 인해 TCE 분해능 변화가 적었다. 다양한 운전조건에서 통합시스템의 반응효율과 운전 안정성을 향상시키기 위해서는 각 난분해성 물질 사이의 상호 저해작용에 대한 추가 연구가 필요하다.

초임계 이산화탄소를 이용한 참치안구유로부터 지방산 및 휘발성 성분의 분리 동정 (Isolation and Identification of Fatty Acid and Volatile Compounds from Tuna Fish Oil with Supercritical Carbon Dioxide)

  • 노형섭;윤현석;박지연;신상규;이민경;백성신;전병수
    • 한국해양바이오학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.105-118
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    • 2006
  • 참치 안구유 원시료의 분석결과 모두 129개의 peak가 검출되었으며, 이중 99개의 peak에 대해서는 각 성분을 동정하였으나, 신빙성이 낮은 30개의 물질에 대해서는 미동정으로 처리하였다. 동정된 성분은 모두 99종으로, alkene류 24종, aldehyde류 20종, alkane류 15종, alchol류 13종, ketone류 9종, alkyne류 7종, 황화합물 3종, furan류 2종, 방향성화합물 2종, acid 2종, phenol류와 prydazine이 각 1종씩 검출 동정되었다. Aldehyde류 중 hexanal (threshold=4.5ppb), heptanal(threshold=31ppb)은 특징적인 풀 냄새를 갖지만 어유의 비린내와는 크게 밀접한 관련이 없는 것으로 보인다. 반면, 어유의 불쾌취에 크게 관여하는 것으로 보이는 2-octenal, (E)-2-nonenal (threshold=0.08ppb), 및 (Z)-4-decenal(threshold=0.5ppb)이 검출되었으며 이들은 각각 강한 지방취와 card-boardlike을 나타내는 물질로 나타났다. 이들 aldehyde류 중 (Z)-4-decenal의 경우 arachidonic acid의 산화생성물로 알려져 있다. 또한 (E,E)-2,4-hepadienal의 경우 진한 지방취와 비린내를 유발하는 물질로 알려져 있다. 초임계 이산화탄소를 이용한 참치 안구유의 휘발성 성분의 분리에는 $50^{\circ}C$, 200bar의 조건에서 99.4%의 감소율을 나타내어 참치 안구유의 휘발성 성분에 가장 효과적인 조건으로 판단되었다. 이 조건에서는 소량의 heptanal을 제외한 대부분의 악취유발 가능성 성분이 분리되었으며, 비린내와 같은 어유 특유의 이취를 유발하는 성분은 모두 분리되는 것으로 나타났다. 참치 안구유속에서 동정된 21종의 악취 유발 가능성분의 분리에 있어서는 $40^{\circ}C$$60^{\circ}C$의 모든 압력조건에서 각각 유사한 분리효율을 나타내었으며, $40^{\circ}C$$50^{\circ}C$의 온도조건에서는 압력이 증가할수록 분리효율이 증가하는 경향을 나타내었다. 반응온도 $50^{\circ}C$에서는 200bar의 압력에서 가장 높은 분리효율을 나타내었고 안구유속의 휘발성 성분의 분리효율은 99.4%q에 달했다. 초임계 이산화탄소를 이용하여 참치안구유의 휘발성성분을 분리 할 경우 다량으로 함유되어있는 고도불포화 지방산의 산화를 억제하면서도 높은 이취성분의 분리가 가능할 것으로 생각된다.

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산화티탄 광촉매를 이용한 VOC 가스 처리효과에 관한 연구 (A Study on the Photocatalytic Degradation of VOC over TiO2 Coated on Glass Bead)

  • 윤석영;노준형;박순제;이승호
    • 한국재료학회지
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    • 제10권5호
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    • pp.328-334
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    • 2000
  • 산화티탄의 광촉매 반응을 이용하여 휘발성 유기화합물(VOC)를 분해제거 하기 위하여 산화티탄을 glass bead에 sol-gel법으로 코팅하였다. 코팅막의 물성은 XRD, BET, SEM을 통해 분헉하였으며, 산화티탄이 galss bead를 채운 실험실규모의 광촉매 반응기를 이용 VOC중 벤젠 및 TCE 가스의 광촉매반응에 의한 분해효율에 대해 연구 컴토하였다. 반응기내의 잔류시간에 따른 가스농도 차이를 gas chromatography로 비교 분석하여 그 분해효율을 계산하였다. 이와 같은 정적인 상태의 실험결과, 400ppmv의 농도의 TCE인 경우 80%의 분해효율을 얻었으며, 50ppmv에서 300ppmv 농도의 벤젠인 경우 65%의 분해효율을 얻었다.

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1차(次)/2차(次) 자원(資源)으로부터 Os과 Ru 회수기술(回收技術) (Technology for the Recovery of Os and Ru from Primary/Secondary Resources)

  • 손반반;이만승
    • 자원리싸이클링
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    • 제21권6호
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    • pp.3-11
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    • 2012
  • 오스뮴과 루테늄을 함유한 1차와 2차 자원으로부터 두 금속의 회수 방법을 조사했다. 오스뮴과 루테늄은 휘발성이 있는 산화물을 형성하므로 증발법을 통해 다른 백금족금속으로부터 분리가 가능하다. 두 금속은 염산용액에서 다양한 산화상태의 착물을 형성한다. 아민계 또는 아민계 혼합추출제는 침출용액으로부터 루테늄의 추출에 이용된다. 용매화 추출제는 루테늄과 오스뮴의 분리에 사용된다. 기존에 발표된 용매추출공정의 추출과 탈취조건을 조사했다. 용매추출에 대한 대체 공정으로 미량성분의 회수에 이용될 수 있는 고체-액체법을 소개하였다.