• 제목/요약/키워드: 후 열처리

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Direct Wafer Bonding법에 의한 InP 기판과 $\textrm{Si}_3\textrm{N}_4$/InP의 접합특성 (The Characteristics of the Wafer Bonding between InP Wafers and $\textrm{Si}_3\textrm{N}_4$/InP)

  • 김선운;신동석;이정용;최인훈
    • 한국재료학회지
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    • 제8권10호
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    • pp.890-897
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    • 1998
  • n-InP(001)기판과 PECVD법으로 ${Si}_3N_4$(200nm)막이 성장된 InP 기판사이의 direct wafer bonding을 분석하였다. 두 기판을 접촉시켰을 때 이들 사이의 결합력에 크게 영향을 주는 표면 상태를 접촉각 측정과 AFM을 통해서 분석하였다. InP 기판은 $50{\%}$ 불산용액으로 에칭하였을 때 접촉각이 $5^{\circ}$, RMS roughness는 $1.54{\AA}$이었다. ${Si}_3N_4$는 암모니아수 용액으로 에칭하였을 때 RMS roughness가 $3.11{\AA}$이었다. Inp 기판과 ${Si}_3N_4$/InP를 각각 $50{\%}$ 불산 용액과 암모니아수 용액에 에칭한 후 접촉시켰을 때 상당한 크기의 초기 겹합력을 관찰할 수 있었다. 기계적으로 결합된 시편을 $580^{\circ}C$-$680^{\circ}C$, 1시간동안 수소 분위기와 질소분우기에서 열처리하였다. SAT(Scanning Acoustic Tomography)측정으로 두 기판 사이의 결합여부를 확인하였다. shear force로 측정한 InP 기판과 ${Si}_3N_4$/InP사이의 결합력은 ${Si}_3N_4$/InP 계면의 결합력만큼 증가되었다. TEM과 AES를 이용해서 di-rect water bonding 계면과 PECVD계면을 분석하였다.

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로스팅 조건이 맥문동의 이화학적 특성 및 기호도에 미치는 영향 (Effects of Roasting Conditions on Physicochemical Properties and Sensory Properties of Liriopis Tuber)

  • 배경미;박소해;정경희;김미진;홍선희;송영옥;이희섭
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제39권10호
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    • pp.1503-1508
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    • 2010
  • 본 연구에서는 맥문동(Liriopis tuber; Liriope platyphylla Wang et Tang)의 로스팅 처리에 따른 열수 추출물의 이화학적 특성, 항산화능 및 관능특성에 대하여 살펴보았다. 맥문동을 $150{\sim}190^{\circ}C$의 온도범위에서 10분간 로스팅 한 후 2 시간 30분간 열수로 추출물을 조제하였다. 로스팅 처리 온도가 증가함에 따라 고형분, 총당, 환원당, 단백질, 조사포닌의 함량은 유의적으로 증가한 반면 pH는 감소하는 경향을 나타내었다. 로스팅 처리 맥문동 열수 추출물의 갈변도는 열처리 온도가 증가함에 따라 증가하였으며, 색도에 있어서 L(lightness)값은 감소하였으나, a(redness) 값과 b(yellowness) 값은 증가하였다. 맥문동 열수 추출물의 DPPH 라디칼 소거능, superoxide anion 소거능, 아질산염 소거능 및 총 항산화능은 로스팅 처리 온도가 증가함에 따라 유의적으로 증가하여 $190^{\circ}C$에서 처리한 경우에는 각각 6.77, 2.37, 4.02, 4.92배가 증가하였다. 또한 로스팅 처리한 맥문동 열수 추출물의 관능 평가결과 색, 감칠맛, 향, 종합적 기호도 및 구매의향에서 $170^{\circ}C$에서 로스팅한 맥문동 열수 추출물이 가장 높은 점수를 받아 다른 로스팅 온도 조건 및 로스팅하지 않은 맥문동열수 추출물에 비하여 기호적으로 가장 우수한 것으로 판단 되었다.

유류오염 토양에서 유류성분의 생분해와 무기오염 물질 함량의 관계성에 대한 예비 연구

  • 강진규;송윤구;문지원;이민희;이규호
    • 대한자원환경지질학회:학술대회논문집
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    • 대한자원환경지질학회 2003년도 춘계 학술발표회 논문집
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    • pp.241-244
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    • 2003
  • 유류오염 토양내 유류의 분해와 무기오염물질의 함량과의 관계성을 알아보기위해 부산 문헌지구의 유류 오염 토양 profile중 유류가 비교적 많은 두 층과 유기물이 다량 함유된 제주도 토양을 경유로 오염시킨 토양을 선택하여 유류가 분해 정도와 Pb, Zn, Cd, Ni의 함량을 측정 비교하였다. 토양 채취후 즉시 유류를 추출한 것, 15일간 별도의 미생물 영양원을 가하지 않고 습도와 통풍만을 행하여 토양내 존재하는 미생물들에 의하여만 유류가 분해되도록 한 것, $105^{\circ}C$에서 24시간 열처리를 행하여 미생물에 의한 분해보다는 물리적인 방법으로 비교적 강하게 처리한 것 세가지 경우에서 토양에서 추출한 유류를 분석한 결과 normal alkane이 서서히 상당량 분해되는 양상을 보여주었다. 토양내 Pb, Zn, Cd, Ni를 분석한 결과 부산 시료의 경우 두 층(B2, B3)모두 Cd은 검출한계 이하로, Ni의 경우 극소량의 함량을 보여주었다. Zn의 경우 B2는 28~29ug/g, B3는 12~14ug/g으로 세가지 경우 별 차이 없는 양상을 보여 주었다. 하지만, Pb의 경우 B2에서는 그 함량이 유류의 normal alkane의 분해와 함께 서서히 증가하는 경향을 확연히 보여주었으며, B3의 경우도 B2와 유사한 변화 양상을 보여주었다. 제주도 토양의 경우 Pb는 검출되지 않았고, Zn은 소량 검출되었다. Ba, Ni 함량은 normal alkane 분해에 따라 다소 증가하였다. 따라서, 본 예비실험을 통하여 유류오염 토양에서 유류의 분해와 일부 무기이온사이에는 관련성을 갖고 있으며, 이는 유류 분해정도를 파악하는 지시자로써 특정 무기 오염물질을 이용할 수 있을 가능성이 있으므로 좀더 이들 관계성에 대한 연구가 진행될 필요성이 있다고 판단된다.고 과학적으로 분석할 수 있는 방법이 될 수 있을 것으로 기대된다. 의미를 되새기는 것으로 짧은 연구를 시작하겠다. 등은 활성 값이 70% 이상으로 퇴적물 독성이 상대적으로 낮았다. 이중나선 DNA 함량은 28.4 % - 49%로 대조군에 비해서 감소가 크다. 대부분의 정점이 대조군의 30% 내외로 정점 간의 차이는 크지는 않다. 그러나 다른 측정자료와 같이 정점 22에서 18%로 최소치를 나타내고, 정점 2, 12에서 20% 내외의 값을 보인다. 종합적으로 볼 때 오염물질의 유입이 크고, 광양제철 인근 정점 들이 모두 다른 정점에 비해서 낮아서, 퇴적물 독성이 높은 정점으로 조사되었다.hiwo의 광합성 능력은 낮은 농도들에서는 대조구와 유사하였으나, 5 $\mu\textrm{g}$/l의 높은 농도에서는 초기에 매우 낮은 광합성 능력을 보이다가 시간이 경과하면서 대조군보다 더 높은 경향을 나타냈다. 이러한 결과는 식물플랑크톤이 benso[a]pyrene의 낮은 농도에서 노출될 때는 이 물질을 탄소원으로 사용할 가능성이 있음을 시사한다. 본 연구의 결과들은 연안해역에 benso[a]pyrene과 같은 지속성 유기오염물질이 유입되었을 때 내정여부에 따라 식물플랑크톤 군집내 종 천이와 일차생산력에 크게 영향을 미칠 수 있음을 시사한다.TEX>5.2개)였으며, 등급별 회수율은 각각 GI(8.5%), GII(13.4%), GIII(43.9%), GIV(34.2%)로 나타났다.ments of that period left both in Japan and Korea. "Hyojedo" in Korea is supposed to have been influenced by the letter design. Asite- is also considered to have been "Japan

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측면보조전계 인가 전기영동전착 초전도후막 (Superconducting Thick Film by Lateral Field Assisted EPD)

  • 전용우;소대화;조용준
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제8권3호
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    • pp.679-685
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    • 2004
  • 전기영동전착법은 제작장치와 공정이 간단하고 두께제어 및 다양한 형태의 초전도 막과 선재 제작이 가능한 경제적 효율성과 기술적 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 전착공정 개발을 통한 분말의 치밀성 및 배향성 향상을 위한 최적화 방안과, 건조 및 열처리 과정에서의 크랙 및 기공현상과 같은 문제점을 극복할 수 있는 균일한 표면의 확보에 관한 연구를 수행하였으며 전기영동전착 초전도 후 막 테이프 제조를 위한 공정의 최적화 방안에 대하여 연구하였다. YBCO 초전도 후막의 균일한 표면과 초전도특성 향상을 위한 공정개선방법으로는 수직방향 교류전계 인가 방식을 적용한 시스템을 최초로 개발하여 전기영동전착 공정에 적용하였다. 본 연구에서 제안한 수직방향 교류전계 인가 방식은 경제적 효율성을 위하여 60 Hz의 25∼120 V/cm의 상용전원을 사용하였으며, 제작된 후막은 기공과 크랙현상이 제거된 균일한 후막으로 여기서 얻어진 대표적인 특성 값들은 임계온도(Tc,zero) 90 K, 임계전류밀도 3419 A/$\textrm{cm}^2$의 값을 얻었다. 직류 전착전계만을 사용하여 제작된 후막의 임계전류밀값인 2354 A/$\textrm{cm}^2$에 비하여 45% 이상 향상된 특성을 확보하였다.

소결한 $(Bi_xLa_{1-x})Ti_3O_{12}$ 강유전체에서 조성 및 첨가물질에 따른 미세구조 및 전기적 특성 평가

  • 김영민;강일;류성림;권순용;장건익
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.279-279
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    • 2007
  • 비휘발성 메모리 Fe-RAM은 빠른 정보처리 속도와 전원공급이 차단되었을 때도 계속 정보를 유지할 수 있는 비휘발성 특징과 더불어 저전압, 저전력 구동의 장점이 있어서, 차세대 메모리로 많은 주목을 받고 있다. FeRAM에 사용되는 강유전체는 주로 Pb(Zr,Ti)$O_3$가 적용되었는데, 최근에는 비납계 강유전체의 연구도 활발히 이루어지고 있다. 이러한 비납계 강유전체 중에서 가장 특성이 우수한 물질은 $(Bi,La)_4Ti_3O_{12}$ (BLT) 이다. 그런데 BLT는 결정 방향에 따른 강한 이방성의 강유전 특성을 나타내기 때문에 BLT 박막을 이용하여 Fe-RAM 소자 등을 제작하기 위해서는 결정의 방향성을 세심하게 제어하는 것이 매우 중요하다. 지금까지 연구된 BLT 박막의 방향성 조절결과를 보면, BLT 박막을 스핀 코팅 법 (spin coating method)으로 증착하고, 핵생성 열처리 단계를 조절하여 무작위 방향성을 갖는 박막을 제조하는 방법이 일반적이었다. 그런데 이러한 스핀 코팅법에서의 핵생성 단계의 제어는 공정 조건 확보가 너무 어려운 단점이 있다. 이러한 어려움을 극복할 수 있는 대안은 스퍼터링 증착법(sputtering deposition method), PLD (pulsed laser deposition)법 등과 같은 PVD (physical vapor deposition) 법의 증착방법을 적용하는 것이다. PVD 법으로 증착하는 경우에는 이미 박막 내에 무수한 결정핵이 존재하기 때문에 핵생성 단계가 필요가 없게 된다. PVD 증착법의 적용을 위해서는 타겟의 제조 및 평가 실험이 선행되어야 한다. 그런데 벌크 BLT 재료의 소결공정 조건과 전기적 특성에 관한 연구 결과는 거의 발표가 되지 않고 있다. 본 실험에서는 $Bi_2O_3,\;TiO_2,\;La_2O_3,\;Nb_2O_5\;and\;Al_2O_3$ 분말들을 이용하여 최적의 조성을 구하기 위하여 $Nb^{+5}$$Al^{+3}$$Ti^{+4}$ 자리에 소량 치환시켜 제조하였다. 혼합된 분말을 하소 후 pellet 형태로 성형하여 소결을 실시하였다. 시편을 1mm 두께로 연마하고, 양면에 silver 전극을 인쇄하여 전기적 특성을 측정하였다. 측정결과 $Ti^{+4}$ 자리에 $Nb^{+5}$를 치환하여 제조한 시편에서 $2P_r{\sim}31\;{\mu}c/cm^2$정도의 매우 우수한 특성을 얻었다.

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$(Sr_{1-x}{\cdot}Ca_x)_mTiO_3$ 입계층 세라믹의 유전특성에 관한 연구 (Study on the Dielectric Properties of $(Sr_{1-x}{\cdot}Ca_x)_mTiO_3$ Grain Boundary Layer Ceramics))

  • 김진사;최운식;신철기;김성렬;이준웅
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1994년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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    • pp.215-218
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    • 1994
  • $(Sr_{l-x}{\cdot}Ca_x)_mTiO_3+0.006Nb_2O_5$($0.05{\leq}x{\leq}0.2$, 0.996$N_2$)에서 소결시킨 후 CuO를 시편의 양면에 도포하여 $1100^{\circ}C$에서 2시간동안 열처리함으로써 제작하였다. 결정립의 크기는 Ca의 치환량이 증가함에 따라 촉진되었으나, 20[mol%] 이상 치환시 더 이상 고용되지 못하고 입성장을 억제시켰다. Ca의 치환량이 $10{\sim}15[mol%]$, m=1인 시편에 있어서 우수한 유전특성을 나타내었다. 즉, 비유전율, 유전손실($tan{\delta}[%]$)과 온도변화에 따른 정전용량의 변화율이 각각 >25,000, <0.3[%], <${\pm}10[%]$을 나타내었다. 본 연구에 사용된 모든 시편은 온도의 함수로서 주파수 증가에 따라 유전완화 현상을 나타내었으며, 분산주파수는 $10^6[Hz]$ 이상이었다.

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NaOH 처리한 Fe 첨가된 Ti alloys의 아파타이트 형성관찰 (A study of apatite formation on NaOH treated Ti alloys with different Iron content)

  • 이승우;김윤종;류재경;김택남
    • 공학논문집
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    • 제6권2호
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    • pp.23-32
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    • 2004
  • 현재까지 사용되어가지고 있는 임플란트 재료 중 commercially pure titanium (순수티탄; Cp-Ti)과 Ti-alloy들은 생체재료로 폭넓게 사용되어지고 있는데, Ti 금속들은 경도가 강하고 점도가 높기 때문에, 치과나 정형외과 등의 하중에 잘 견디는 곳에 이용되어지고 있다고 한다. 이것들은 생체적합성과 부식에 대한 저항성도 좋은 것으로 알려져 있다. 일반적으로 Ti은 4종류의 Grade로 강도의 차이에 의하여 분류되고 Ti의 강도에 영향을 미치는 것으로는 산소, 철, 질소등이 있다. 따라서 본 연구에서는 O와 Fe의 함량을 달리한 Ti alloy시편을 사용하여 생체적합성 실험을 하였다. 먼저 실험은 시편을 micropolishing하고 5M NaOH에서 $60^{\circ}C$에서24시간 처리하여서 비표면적을 넓혔으며, 표면의 $TiO_2$을 만들어주기 위하여 $600^{\circ}C$에서 열처리하였다. 그런 시편을 $36.5^{\circ}C$의 SBF에 넣어 1~14일까지 침적한 후에 표면에 형성된 apatite를 SEM과 EDAX로 조사하였다. 조사 결과 모든 시편에서 apatite가 생성되었지만, 시편의 조성에 따라서 apatite의 형성양이 다름을 확인하였다.

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비파괴 판독형 메모리 소자를 위한 저유전율 강유전체 $YMnO_3$박막의 특성 연구 (Characteristics of ferroelectric $YMnO_3$ thin film with low dielectric constant for NDRO FRAM)

  • 김익수;최훈상;최인훈
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.258-262
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    • 2000
  • $YMnO_3$박막은 고주파 스퍼터를 사용하여 Si(100)과 $Y_2O_3$/si(100)기판에 증착하였다. 증착시에 산소 분압의 조건과 열처리 온도는 YMnO$_3$ 박막의 결정성과 그 메모리 윈도우의 특성에 매우 중요한 영향을 주었다. XRD 측정 결과 산소 분압 0%에서 증착후 $870^{\circ}C$에서 1시간 동안 후열처리한 $YMnO_3$ 박막은 c-축을 따라 매우 잘 배향되었음을 확인하였다. 반면 산소분압 20%에서 Si(100)과 $Y_2O_3$/Si(100) 기판위에 증착된 $YMnO_3$박막의 결정화는 XRD측정 결과 $Y_2$O$_3$ peak가 보이는 것으로 보아 YMnO$_3$박막내에 과잉의 $Y_2O_3$가 c-축으로의 배향을 억제하는 것을 알 수 있다. 특히 산소분압 0%에서 증착한 Pt/$YMnO_3/Y_2O_3$/Si 구조에서의 메모리 윈도우 특성은 c-축으로 잘 배향된 결과로 인해 인가전압 2~12V에서 0.67-3.65V이었으며 이는 $Y_2O_3$/si 기판위에 산소분압 20%에서 증착한 박막 (0.19~1.21V)보다 동일한 인가전압에서 3배 정도의 큰 메모리 윈도우 특성을 보였다.

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자궁 경부암 세포에서 Troglitazone이 온열감수성에 미치는 영향 (The Effect of Troglitazone on Thermal Sensitivity in Uterine Cervix Cancer Cells)

  • 이지혜;김원동;유재란;박우윤
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제28권2호
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    • pp.91-98
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    • 2010
  • 목 적: Troglitazone (TRO)은 PPAR-$\gamma$ 작동제로서 온열감수성의 결정에 중요한 요인인 heat shock protein (HSP) 70의 합성을 저해하고 superoxide dismutase (SOD)와 카타라제를 증가시키는 것으로 알려져 있다. 이에 자궁경부암 세포를 대상으로 TRO가 온열감수성에 미치는 영향을 연구하였다. 대상 및 방법: HeLa 세포를 $5{\mu}M$ TRO로 24시간 처치한 후 $42^{\circ}C$에서 1시간 동안 온열처리를 시행하였다. 세포 생존 분획은 clonogenic assay로 측정하였다. 단백질 발현의 변화는 Western blot으로 분석하였다. SOD와 카타라제의 활성도를 측정하였으며, reactive oxygen species (ROS) 는 2',7'-dichlorofluorescin diacetate와 dihydroethidium 를 사용하여 측정하였다. 결 과: 온열처리에 의해 감소된 생존분획이 TRO 전처치에 의해 증가하였다. 온열처리에의해 HSP 70의 발현은 증가하였으나 TRO 전 처치에 의해 감소되지는 않았다. SOD와 카타라제의 활성도가 각각 1.2배, 1.3배 증가하였다. 온열처리에 의해 ROS가 증가하였으며, 증가된 ROS는 TRO 전 처치에 의해 감소하였다. 결 론: TRO는 SOD와 카타라제의 활성도를 증가시키며 이는 온열에 의한 ROS를 감소시켜 결과적으로 온열감수성을 저하시킨다.

질화규소의 기계적 특성에 미치는 미세구조 및 소결조제의 영향 (Effect of Microstructures and Sintering Additives on the Mechanical Properties of Si$_3$N$_4$)

  • 박혜련;이오상;박희동;이재도
    • 한국재료학회지
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    • 제2권5호
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    • pp.330-336
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    • 1992
  • 질화규소 소재로 S${i_3}{N_4}$-8%${Y_2}{O_3}$, S${i_3}{N_4}$-6% ${Y_2}{O_3}$-2% $A{l_2}{O_3}$, S${i_3}{N_4}$-4% ${Y_2}{O_3}$-3% $A{l_2}{O_3}$, 그리고 S${i_3}{N_4}$-1% MgO-1% Si$O_2$의 4가지 조성을 선정하여 주상모양의 ${\beta}$-S${i_3}{N_4}$결정상을 성장시켰으며, XRD, SEM, 입도분석과 기계적 특성을 조사하였다. S${i_3}{N_4}$-8% ${Y_2}{O_3}$에서는 파괴인성값을 9.8MPa$m^{1/2}$까지 얻었으며 200$0^{\circ}C$에서 열처리한 후에도 파괴강도(>900MPa)의 감소없이 파괴인성이 8.0MPa$m^{1/2}$이상인 S${i_3}{N_4}$-6% ${Y_2}{O_3}$-2% ${l_2}{O_3}$, 와 S${i_3}{N_4}$-4% ${Y_2}{O_3}$-3% $A{A_2}{O_3}$를 얻었다. 질화규소의 파괴인성이 ${\beta}$-S${i_3}{N_4}$-결정상 크기의 증가에 따라 직선적으로 증가하는 관계를 갖는 파괴인성에 대한 미세구조의 영향을 고찰하였다.

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