• Title/Summary/Keyword: 활성화방법

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Photoresist strip 성능 향상을 위한 플라즈마 약액 활성화 방법 연구

  • Kim, Su-In;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.242-242
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    • 2008
  • 반도체 공정에서 일정한 패턴을 만들기 위하여 Photoresist (PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정은 반도체 직접도가 증가되면서 더욱 많은 단계의 공정을 요구하게 되었다. 그러나 식각 공정의 증가는 반도체 소자 생산을 위한 더 많은 시간과 비용을 요구하게 된다. 이를 해결하기 위하여 Photoresist를 사용하지 않은 공정으로 공정 단계를 간소화하기 위한 연구를 진행하고 있지만 아직 명확한 대한은 없다. 본 연구에서 는 PR의 strip 시간을 최대한 단축시키고 PR strip 잔여물의 빠른 제거를 위하여 기존 공정에서 사용 중인 strip 약 액을 플라즈마에 의하여 활성화하는 방법으로 PR strip 시간을 최대한 줄이는 방법에 대한 연구를 진행하였으며, 활성화된 strip용액이 더욱 빠른 strip율을 나타내는 것을 확인하였다. 또한 약액 활성화 방법으로 활성화된 strip 용액으로 PR을 일부 제거한 후 PR 표면의 물리적 특성 변화를 분석하여 약액 활성화된 strip 용액으로 인한 PR의 특성을 물리적 방법으로 접근하여 연구를 진행하였다.

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ELA Poly-Si과 SLS Poly-Si에서 Boron Activation에 관한 연구

  • Hong, Won-Ui;No, Jae-Sang
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.376-376
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    • 2012
  • 본 연구는 Poly-Si에 이온 주입된 Boron의 Activation 거동을 연구하고자 SLS (Sequential Lateral Solidification) Poly-Si과 ELA (Excimer Laser Annealing) Poly-Si의 활성화 거동을 비교 분석하였다. SLS 및 ELA 결정화 방법으로 제조된 Poly-Si을 모재로 비 질량 분리 방식의 ISD (Ion Shower Doping) System을 사용하여 2.5~7.0 kV까지 이온주입 하였다. 이온주입 후 두 가지의 열처리 방법, 즉, FA 열처리(Furnace Annealing)와 RTA 열처리(Rapid Thermal Annealing)를 사용하여 도펀트 활성화 열처리를 수행하고 이온주입 조건 및 활성화 열처리 방법에 따른 결함 회복 및 도펀트 활성화 거동의 변화를 관찰하였다. TRIM-code Simulation 결과 가속 이온 에너지와 조사량이 증가 할수록 이온주입 시 발생하는 결함의 양이 증가하는 것을 정량적으로 계산하였다. 실험 결과 결함의 양이 증가 할수록 Activation이 잘되는 것을 관찰할 수 있었다. SLS Poly-Si에 비하여 ELA Poly-Si의 경우 도펀트 활성화 열처리 후 활성화 효율이 높게 나타났다. 본 결과는 Grain Boundary의 역할과 밀접한 관계가 있으며 간단한 정성적인 Model을 제시하였다. 활성화 효율의 경우 RTA 열처리 시편이 FA 시편에 비하여 높은 것이 관찰되었다. 본 결과는 열처리 온도 및 시간에 따라 변화하는 Boron의 특이한 활성화 거동인 Reverse Annealing 효과에 기인하는 것으로 규명되었다.

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돼지 체세포 핵이식에 있어서 공여세포의 종류, 활성화방법, 배양조건에 의한 체외발달능력

  • 윤희준;곡철미;천상아홍;가등용자;각전행웅
    • Proceedings of the KSAR Conference
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    • 2002.06a
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    • pp.38-38
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    • 2002
  • 돼지 체세포 핵이식에 있어서 체외발달률을 재고하기 위하여 공여세포의 종류, 활성화 방법, 배양조건 등이 체외발달에 미치는 영향을 검토하였다. 도축장에서 채취한 난소에서 미성숙난자를 채취하여 NCSU-37 배양액에 10% pFF 와 0.6mM Cystein, 1mM dbcAMP, 0.1 IU/㎖ human menopausal gonadotrophin(hMG)에서 20시간 배양후 dbcAMP 와 hMG 가 없는 배양액에서 18-24 시간 추가배양 성숙 후 성숙된 난자를 핵이식의 수핵난자로 사용하였다. (중략)

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기계적 damage로 표면 활성화된 비정질 규소 박막의 결정화

  • 이의석;김형택;김영관;문권진;윤종규
    • Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.135-144
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    • 1997
  • 표면 활성효과에 대한 비정질 규소 박막의 고성결정화 특성을 연구하였다. 증착된 비정질 규소 박막에 macro한 방법으로 wet blasting을, micro한 방법으로 자기이온주입으로 표면 활성화 처리를 행한 후 열처리를 하여 결정립의 결정화 특성을 보았다. 열처리는 관상로를 이용한 저온 열처리와 RTP를 이용한 급속 열처리의 두 가지 방법으로 하였다. 결정화의 기준으로 XRD분석을 통해 얻은 (111) 피크 강도를 이용하였으며, 결정의 품질을 비교하기 위해 Raman 분석을 하였다. 기계적 damage를 이용한 표면 활성화는 결정화를 촉진함을 확인하였으며 활성화 방법에 따른 결정화 영향 변화정도는 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하였다.

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Application of CV Cycling to the Activation of the Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell (고분자 전해질막 연료전지의 활성화를 위한 CV 활성화법)

  • Cho, Ki-Yun;Jung, Ho-Young
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.23 no.5
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    • pp.445-449
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    • 2012
  • The activation process of the membrane-electrode assembly (MEA) is important for the mass production of the polymer electrolyte membrane fuel cell. The conventional activation process for the MEA requires excessive time and hydrogen gas and it might become the barrier for the commercialization of the fuel cell. The conventional activation process is based on hydrolysis of ion conducting membrane. In the study, we suggest the cyclic voltammetry (CV) technique as an on-line activation process and the CV activation process consists of two steps : 1) the humidification of the polymer electrolyte membrane and the electrode with 100% RH humidified nitrogen ($N_{2}$) gas, and 2) the removal step of the oxide layer on the surface of the Pt catalyst with CV cycling. The cycling reduces the activation time of the MEA by 2.5 h and use of hydrogen gas by 1/4.

Practical Study on Methods to Revitalize Traditional Market (전통시장 활성화 방법에 관한 실제적 연구)

  • Yoon, Seongwon
    • Journal of Service Research and Studies
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    • v.14 no.2
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    • pp.69-81
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    • 2024
  • The The purpose of this study is to have a positive impact on the evaluation of the traditional market revitalization project by discussing the business details and implementation process of the commercial district revitalization project in depth. The research method uses practical methods for traditional market revitalization projects. First, the activation method of the place was examined through the concepts of Oldenburg's 'Third Place' and Carr et al.'s 'Five Demands for Public Space' and the theories related to non-face-to-face transactions were examined. The first study case was the commercial district revitalization project of the Cheongju Global Market Development Project(Seongan-gil Street Shopping Mall and Yukgeori traditional Market), which discussed revitalization of open space, revitalization through reproduction, and revitalization through festivals. The revitalization project through representation is a project to install a symbolic sculpture at the estimated location of the 'Namseokgyo' buried in Yukgeori traditional Market. The revitalization through the festival is the Korea Sale Festa, which is a vibrant business due to increased sales at traditional markets and shopping malls and floating population in open spaces. The second study case was the Cultural Tourism Promotion Project(Hanmin traditional Market), which discussed revitalization through the development of local brands and SNS content. In the conclusion, the relationship between the six projects and commercial district revitalization methods was discussed, and policy recommendations were made, mentioning the importance of reflecting regional characteristics in design planning. We hope that this study will be used to positively evaluate the traditional market revitalization project, showing that stakeholders are working hard to produce positive results within institutional limitations.

A Study on the Application of Block Chain Ethereum Technology to Activate Digital Content Trading as Sharing economy (공유경제로써 디지털 콘텐츠 거래 활성화를 위한 블록체인 기술 활용방법 연구)

  • Min, Youna;Baek, Yeong tae
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2018.07a
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    • pp.69-72
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    • 2018
  • 국내 뿐 아니라 세계적으로 디지털 기반의 공유경제 서비스와 관리에 대하여 많은 관심을 두고 있다. 공유경제로 인하여 새로운 경제패러다임으로 높은 가능성이 있고 정부와 시민이 편익차원에서 많은 예산 절감이 가능하기 때문이다. 우버, 에어 비엔비 등의 사업이 활성화 되고 있는 상황에서 디지털 콘텐츠 역시 활용 공유 가능한 재화로써 공유경제에 참여하고 신뢰기반의 효과적 거래가 가능하다. 이 논문에서는 디지털 콘텐츠를 공유경제로 활용함에 있어 위 변조 및 해킹 가능성을 줄이고 투명한 거래가 가능하여 디지털 콘텐츠의 유통이 활성화 될 수 있는 방법으로 블록체인 활용기법을 제안하였다. 스마트 유통과정에서 이더리움의 스마트 컨트랙트 방법을 적용하고 디지털 콘텐츠 저작권을 보호하기 위한 머클트리 해싱방법과 암호화방법을 수정함으로써 디지털 콘텐츠가 공유경제로써 발돋움하고 활성화될 수 있을 것이다.

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재래산양에 있어서 난포란의 활성화 처리방법이 체외발달에 미치는 영향

  • 박희성;이명열;김현정;권병철;이윤희;박준규;정장용
    • Proceedings of the KSAR Conference
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    • 2003.06a
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    • pp.68-68
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    • 2003
  • 오늘날 형질전환동물의 생산과 같은 생명공학기술의 발달로 인하여 우리나라 재래산양은 그 모델동물로서 번식 생리학적으로 매우 중요한 가치를 지니고 있을 뿐만 아니라 고유의 유전자원 보존 측면에서도 산양복제와 같은 다양한 연구가 절실히 요구된다. 따라서 본 연구에서는 이러한 생명공학기술의 기초자료를 제공하고자 난포란의 활성화 방법과 단위발생란의 체외발달율을 조사하였다. 성숙한 미경산 재래산양을 공시동물로 하여 CIDR를 이용하여 발정동기화를 시켰으며, 과배란 처리는 FSH와 hCG를 이용하여 과배란 처리를 실시하였고 난포란의 회수는 외과적 방법으로 개복하여 난소의 난포로부터 난자와 난포액을 흡입하여 회수하였다 난포란의 활성화 처리는 전기자극법과 약물처리 방법을 사용하였으며, 전기자극방법은 DC 2.36㎸/cm, 17$\mu$sec 전압으로 1회 전기자극을 가하여 활성화를 유도하였으며, 약물처리법은 5$\mu\textrm{g}$/$m\ell$의 ionomycin 용액에서 5min, 1.9mM 6-DMAP용액에서 4시간동안 처리하여 활성화를 유도하였다. 단위발생란의 배양은 10% GS(goat serum)가 첨가된 M16 배양액과 10% FBS가 첨가된 TCM-199 배양액에서 난관상피세포와 6~7일동안 공배양을 실시하면서 체외발달율을 조사하였다. 활성화 방법에 따른 체외발달율은 전기자극 및 약물처리를 하였을때 분할율은 3.1% 및 67.9%였으며, 상실배 및 배반포로의 발달율은 0% 및 7.9%였다. 단위발생란의 체외 발달율은 10% GS가 첨가된 M16 배양액을 사용하였을 때 분할율은 68.0%였으며, 이중 12.0%가 상실배 또는 배반포로 발달하였다. 뿐만 아니라 10% FBS가 첨가된 TCM-199 배양액에 난관상피세포와 공배양을 실시하였을 경우는 72.0%가 분할하였으며, 이중 16.7%가 상실배 또는 배반포로 발달하였다. 이상의 결과로 볼 때 활성화 처리는 ionomycin과 6-DMAP 용액처리가 적합하며, 단위발생란의 체외배양은 보다 적합한 배양조건의 확립이 필요한 것으로 생각된다.

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Functional MRI of Language: Difference of its Activated Areas and Lateralization according to the Input Modality (언어의 기능적 자기공명영상: 자극방법에 따른 활성화와 편재화의 차이)

  • Ryoo, Jae-Wook;Cho, Jae-Min;Choi, Ho-Chul;Park, Mi-Jung;Choi, Hye-Young;Kim, Ji-Eun;Han, Heon;Kim, Sam-Soo;Jeon, Yong-Hwan;Khang, Hyun-Soo
    • Investigative Magnetic Resonance Imaging
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    • v.15 no.2
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    • pp.130-138
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    • 2011
  • Purpose : To compare fMRIs of visual and auditory word generation tasks, and to evaluate the difference of its activated areas and lateralization according to the mode of stimuli. Materials and Methods : Eight male normal volunteers were included and all were right handed. Functional maps were obtained during auditory and visual word generation tasks in all. Normalized group analysis were performed in each task and the threshold for significance was set at p<0.05. Activated areas in each task were compared visually and statistically. Results : In both tasks, left dominant activations were demonstrated and were more lateralized in visual task. Both frontal lobes (Broca's area, premotor area, and SMA) and left posterior middle temporal gyrus were activated in both tasks. Extensive bilateral temporal activations were noted in auditory task. Both occipital and parietal activations were demonstrated in visual task. Conclusion : Modality independent areas could be interpreted as a core area of language function. Modality specific areas may be associated with processing of stimuli. Visual task induced more lateralized activation and could be a more useful in language study than auditory task.

Study on the measurement of activation temperature of Non-Evaporable Getter (비증발형 게터의 활성화 온도 측정방법에 관한 연구)

  • Lee D. J.;Kim K. B.;In S. R.;Lim J. Y,;Kim W. B.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.14 no.1
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    • pp.1-6
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    • 2005
  • Getters are invariably covered with thin layers of oxides even in air. For the getter to function properly it is necessary to activate them by heating in vacuum during which the oxide layer is removed exposing clean surface. The so-called activation temperature is an important parameter along with gas sorption capacity since it determines the maximum temperature of a device in which a getter can be installed. Nevertheless, no standard method to measure activation temperature has been documented yet. In this study, a relatively simple method to measure the activation temperature based on the ultimate pressure measurement was suggested. The activation temperature of TiZrV alloy measured by the method was between 100℃~200℃.