• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.11
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• pp.964-968
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• 1997

Si(001)기판 위에 형성시킨 Zr-silicide의 전기적, 물리적 특성에 관한 연구를 하였다. Zr 박막은 전자빔 증착기를 사용하여 증착하였으며, 50$0^{\circ}C$ 열처리하여 Zr-silicide를 형성시켰다. 각 온도에서 열처리된 Zr-silicide시편의 상형성, 전기적 특성, 화학적 조성, 표면 및 계면 형상을 XRD, four-point probe, AES, TEM과 HRTEM으로 분석하였다. 분석 결과 $600^{\circ}C$부터 Zr과 Si기판의 계면에서 C49 ZrSi$_{2}$의 생성이 관찰되었다. Zr-Silicide박막의 비저항은 C49 ZrSi$_{2}$의 형성에 영향을 받는 것으로 관찰되었으며, 50$0^{\circ}C$ 열처리 후에는 184.3 $\mu$Ω-cm로 낮아졌으며, C49 ZrSi$_{2}$가 박막에 완전히 형성된 80$0^{\circ}C$ 열처리 후에는 32$\mu$Ω-cm의 낮은 저항을 나타내었다. 형성된 C49 ZrSi$_{2}$박막은 균질한 화학적 조성을 하고 있음을 AES 분석으로 확인하였다. Zr-silicide의 표면 및 계면의 형상을 TEM과 HRTEM으로 관찰하였으며, $600^{\circ}C$ 열처리 후에 계면에서 ZrSi$_{2}$의 상형성이 시작되는 것을 관찰하였다. 80$0^{\circ}C$ 열처리 후에도 계면과 표면형상은 비교적 균질한 형상이 유지되었음이 관찰되었으며, 이는 C49 ZrSi$_{2}$가 높은 온도에서도 잘 응집되지 않으며 고온 안정성을 가지는 재료임이 관찰되었다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.7 no.1
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• pp.43-50
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• 1998

Transparent and conducting tin oxide films were prepared on Pyrex glass substrates by the remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). The main control variables of the RPCVD process included the deposition time, the flow rates of tetramethyltin, oxygen and argon, the radio-frequency power, and the substrate temperature. Dependence of the deposition rate, electric resistivity, optical transmittance and crystal structure on these parameters was systematically examined to prepare high qualities of tin oxide films and to better understand RPCVD process. The effect of those parameters on the properties of tin oxide films in complicatedly related on another. A tin oxide film parameters on the protimized deposition conditions exhibited deposition rate of 102 $\AA$/min, electric resistivity of $9.7\times 10^{-3}\Omega$cm and visible transmittance of ~80%.

• Magazine of the Korea Concrete Institute
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• v.10 no.5
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• pp.117-128
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• 1998

화학적으로 유해한 환경에 놓인 콘크리트 구조물은 필연적으로 그 기능이 악화되므로 혼화재를 포함한 고강도 콘크리트 또는 혼화재 그 자체가 화학물질에 오염된 환경하에서 어떤 변화를 일으키는가에 대한 연구의 필요성이 점점 증대되고 있다. 따라서 본 논문에서는 건설현장에서 가장 흔히 사용되는 보통강도 콘크리트와 실리카-흄을 포함한 포틀랜드시멘트 경화체인 고강도 콘크리트가 황산염의 침해를 받는 경우에 일어나는 강도특성과 물성변화를 조사하기 위하여 담수와 함께 황산나트륨, 황산마근네슘, 황산나트륨과 황산마그네슘의 혼합용액 등 여러종류의 황산염 용액에 실리카-흄을 사용한 고강도 콘크리트, 낮은 물-시멘트 비의 고강도 콘크리트, 보통강도의 콘크리트 등의 시험체들을 270일간 침지시켜 침지시간에 따른 압축강도 변화와 실리카-흄의 첨가량에 따른 압축강도 변화, 그리고 실리카-흄의 첨가량에 따른 선형팽창량 및 중량변화등에 관한 실험을 수행하였다. 이에 대한 실험결과를 토대로 실리카-흄을 사용한 고강도 콘크리트에 황산염이 미치는 영향을 분석하여 고강도 콘크리트의 실용성을 극대화하기 위한 방안에 대하여 고찰해보았다. 그 결과 실리카-흄을 포함한 고강도 콘크리트는 황산나트륨의 침해에 대해서는 강한 저항성을 나타내지만 황산마그네슘에 대해서는 심각한 침해를 일으키는 것으로 나타났으므로 황산마그네슘에 노출될 우려가 있는 콘크리트 구조물에 고강도를 발현하기 위하여 실리카-흄을 사용하는 것은 구조적으로 큰 문제가 발생할 것으로 사료된다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.557-557
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• 2007

최근 Ruthenium (Ru)은 높은 화학적 안정성, 누설전류에 대한 높은 저항성, 저유전체와의 높은 안정성 등과 같은 특성으로 인해 캐패시터의 하부전극으로 각광받고 있다. 이렇게 형성된 Ru 하부전극은 각 캐패시터간의 분리와 평탄화를 위해 CMP 공정이 도입되게 되었다. 이러한 CMP 공정후에는 화학적 또는 물리적 상호작용에 의해 웨이퍼 표면에 오염물이 발생할 수 있다. CMP 공정중에 공급되는 슬러리에는 부식액, pH 적정제, 연마입자등이 첨가되는데 이때 사용된 연마입자는 CMP 공정후 입자오염을 유발할 수 있다. 그러므로, CMP 공정후에는 이러한 오염으로 인해 cleaning 공정이 반드시 필요하게 되었다. 하지만, Post Ru CMP cleaning에 대한 연구는 아직 미비한 상태이다. 그리하여 본 연구에서는 post Ru CMP cleaning에 대한 연구와 cleaning solution 그리고 첨가제에 따른 영향을 살펴보았다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.26 no.1A
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• pp.205-211
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• 2006

The purpose of this study was to evaluate the effects of fly-ash on strength development and durability of latex-modified concrete (LMC) and ordinary portland cement concrete (OPC). Main experimental variables were latex contents (0%, 10%, 15%) and fly-ash content (0, 10%, 20%, 30%). Air content and slump tests were performed to check the basic properties of fresh concretes, and compressive strength, flexural strength, rapid chloride ion permeability and chemical resistance were measured to analyze the basic properties of hardened concretes. The test results showed that air contents of LMC with fly ash decreased as fly-ash contents increased from 0% to 30%. Compressive and flexural strength developments of LMC with fly ash were quite similar to those of LMC without fly ash. However, the long-term flexural strength development of LMC with fly ash after 90 days were bigger than that of LMC without fly ash. Chloride ion permeability and chemical resistance decreased rapidly as the content of fly ash increased. Thus, fly ash could be used at LMC in order to reduce water permeability.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.42 no.6
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• pp.696-702
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• 1998

The effect of alkali metal salt on the activity of Co-Mo catalyst which has high resistance to sulfur poisoning for water gas shift reaction(WGSR) was studied. Two groups of catalysts were prepared to investigate the effects of anion and cation in alkali metal salts. For K-doped catalysts made with various potassium salts having different anion, the catalytic activity was explained to depend mainly on the BET surface area. Among the catalysts prepared by various nitrates of alkali metal as precursor, the Li-doped catalyst showed the best activity, and the others did not make significant differences giving relatively low activities. And the change of BET surface area by varying the loading of alkali metal showed a similar trend to that of activity. In this case, the activity was dependent on both BET surface area and the ratio of $Mo^{6+}$ with a tetrahedral coordination symmetry to $Mo^{6+}$ with an octahedral one, $Mo^6+[T]/Mo^{6+}[O]$ value.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2004.05a
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• pp.74-80
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• 2004

Among inorganic materials, it is grounding resistance lower agent of new form that use being strata style clay and makes using water soluble polymer by main material to organic substance. Water soluble polymer chains are dispertion in water because water soluble polymer reacts with water if is done and these discrete polymer chains are inserted to floor of being strata style clay with water. This material that moisture content is very excellent and rate of expansion, electrical conductivity that measure after supplies water of 300wt % as well as is excellent. Can prevent corrosion or electrolytic corrosion of grounding bar securing very environmentally, chemically and pollution of soil. When applied to general grounding rod worker $7{\sim}8$ times ground resistance reduction effect of not application.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.34 no.2
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• pp.175-179
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• 2023

Herein we present a tested aqueous based redox flow battery (RFB) that employs phosphomolybdic acid and ferrocyanide as the negative and positive active species in an aqueous sodium hydroxide solution. The different concentrations of NaOH solution, such as 1.0, 1.2, 1.4, 1.5, and 1.6 M, were prepared for checking the electrochemical properties and stability. The NaOH concentration as a supporting electrolyte in the negative species appears to play an important role in the electrochemical properties of phosphomolybdic acid. Moreover, the optimum value of the concentration is necessary for the best performance. The resistance of the electrolyte decreased with increasing the concentration up to 1.5 M and then increased to 1.6 M. Hence, the decrease in electrolyte resistance appears to greatly influence the energy efficiency, which is improved by increasing the concentration of NaOH. In addition, the 1.5 M NaOH solution appears to be the concentration required for optimum performance.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.05a
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• pp.23.2-23.2
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• 2009

기존에 사용되었던 알루미늄 배선 공정은 공정의 배선 크기가 줄어들면서 한계에 다다르고 있다. 따라서 이를 대체하기 위해 여러 가지 새로운 방법들이 고안되고 있으며, 그중 알루미늄을 비저항이 낮고 EM(electro-migration) 저항성이 뛰어난 구리로 대체하려는 연구가 진행되고 있다. 구리 배선은 이미 electroplating 공정을 이용해 산업에 적용되고 있으며, seed layer로는 sputtering 법을 이용하고 있다. 하지만 sputtering 을 포함한 PVD 법은 대부분 종횡비나 단차 피복도가 좋지 않기 때문에 이를 CVD로 교체한다면 많은 장점을 가질 수 있다. 하지만 CVD 공정을 진행하기 위해서는 많은 문제점들이 있는데, 이중 전구체에 대한 문제도 빼놓을 수 없는 이슈이다. Cu(dmamb)2 는 기존에 사용하던 $\beta$-diketonate 계열의 전구체보다 화학적으로 많은 장점을 가지고 있어, CVD 공정에 적합하다. 이에 따라 구리 박막 증착의 공정 조건을 설계하고, 고품질의 박막을 증착하기 위한 다양한 처리법을 고안하여 증착 실험을 진행하였다. 기본적으로 구리는 확산력이 좋아 실리콘계열의 기판에서 확산력이 매우 좋아 기판 내로 확산되기 때문에 이를 방지하기 위하여 Ta, Ti 계열의 박막을 사용하여 확산을 방지하고 있다. 따라서 전이 금속 박막의 표면과 증착 분위기 등을 고려하여 구리를 증착하였으며, 표면의 미세구조 및 성분을 FESEM 등을 통해 분석하였다.

• Magazine of the Korea Concrete Institute
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• v.14 no.1
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• pp.38-43
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• 2002

전 세계에서 콘크리트 관련 기술의 변천사를 살펴보면 공기 연행제(air entraining agent), 감수제 (water reducing agent), 고성능 감수제(superplasticizer high range water reducing agent)로 대변되는 콘크리트용 화학 혼화제의 개발이 콘크리트의 성능 향상의 큰 전기 중의 하나 라고 할 수 있다. 1930년대 미국에서 우연히 발견된 공기 연행제의 사용으로 콘크리트의 동결 융해 저항 성능을 획기적으로 개선할 수 있게 되었으며 또한 펄프 폐액에서 추출되는 리그닌(lignosulfonates)이 시멘트의 분산성을 높여 주는 것을 발견하게 되었다.(중략)