• 제목/요약/키워드: 화상검사

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30 um pitch의 Probe Unit용 Slit Etching 공정 및 특성 연구

  • 김진혁;신광수;김선훈;김효진;고항주;한명수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.257-257
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    • 2010
  • 디스플레이 산업의 발달로 화상 영상폰, 디지털 카메라, MP4, PMP, 네비게이션, LCD TV등의 가전 제품의 수요증가에 따라 이에 장착되는 LCD 패널의 생산력 향상과 원가 절감을 위한 검사 기술이 요구되고 있다. LCD 검사를 위한 Probe unit은 미세전기기계시스템(MEMS) 공정을 이용하여 제작된다. LCD 검사용 Probe unit는 LCD 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 등 기신호, 색상신호)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백개의 접속 단자가 고밀도로 배치되는데, 이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사하기 위한 점등용 부품으로 50 um 이하의 Pin간 거리를 유지하면서 정확한 Pin Alignment를 요구하는 초정밀 부품이다. 본 연구에서는 반도체용 Si wafer에 마스크 공정 및 slit etching 공정을 적용하여 목표인 30 um pitch의 Probe unit을 개발하기 위해 Deep Si Etching(DRIE) 장비를 이용하여 식각 공정에 따른 특성을 평가하였다. 마스크 공정은 500 um 두께의 양면 연마된 반도체용 Si wafer를 이용하였으며, thick PR을 사용하여 마스킹하여 식각공정을 수행하였다. Si 깊은 식각은 $SF_6$ 가스와 Passivation용으로 $C_4F_8$ 가스를 교대로 사용하여 수직방향으로 깊은 식각이 이루어지는 원리이다. SEM 측정 결과 30 um pitch의 공정 목표에 도달하였으며, 식각공정 결과 식각율 6.2 um/min, profile angle $89.1^{\circ}$로 측정되었다. 또한 상부 에칭공정과 이면 에칭공정에서 폭과 wall의 간격이 동일하였으며, 완전히 관통된 양면식각이 이루어졌음을 확인하였다. 또한 실제 사용되는 probe unit의 조립에 적합한 slit 공정을 위한 에칭특성을 조사하였다.

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현장검사용 멀티스트립 리더기의 개발 및 평가 (Development and evaluation of the multi-strip reader for point of care testing)

  • 김진;전우람;박승우;이창률;이다현;최인택;김주연;서인범
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제14권3호
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    • pp.52-58
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    • 2014
  • 현장검사는 환자가 있는 즉석에서 검사하여 결과를 알 수 있으며 신속하고 경제적으로 시행할 수 있는 장점이 있어 널리 이용되고 있다. 특히 면역크로마토그래피법을 이용한 검사 항목은 편리하게 쓰이고 있으나 오류가 발생하여 재확인 할 경우, 판독선이 시간이 경과됨에 따라 재확인이 불가능한 단점이 있고 반응이 약한 경우 판독자에 따라 오류가 생길 수 있다. 이에 검사에 쓰이는 다양한 현장검사용 스트립의 판독이 가능하고 화상을 저장할 수 있는 기능을 가진 멀티 스트립 리더기를 개발하였고, 요 임신검사가 의뢰된 검체를 대상으로 개발된 멀티 스트립 리더기를 평가한 결과 100% 일치된 결과를 보였다. 본 연구에서 개발된 멀티 스트립 리더기는 실제 임상에서 편리하고 경제적으로 사용될 수 있을 것으로 생각된다.

정상인과 직업적 음성 과사용 집단간의 음성학적 비교 분석

  • 진성민;박상욱;강현국;이용배
    • 대한음성언어의학회:학술대회논문집
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    • 대한음성언어의학회 1997년도 제8회 학술대회 심포지움
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    • pp.251-251
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    • 1997
  • 목적 : 발성훈련을 받지 않은 각각의 직업적 음성 과사용집단의 음성분석에 대한 연구는 많이 보고되었지만, 이들 집단간의 음성분석을 통하여 각 집단의 음성문제를 비교한 연구는 미흡하다. 따라서 발성훈련을 받지 않은 직업적 음성 과사용집단의 음성 증상 및 음향학적 분석결과를 정상인과 비교함으로써 각 집단간 음성장애의 양상에 대하여 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 음성장애에 대한 설문조사, 음향적 분석 및 성대화상술검사를 통하여 직업적 음성 과사용집단으로 분류되는 목사, 여자 교환수 및 고교 남녀교사를 증상 및 이학적 검사상 음성장애 소견을 보이지 않는 성인 남녀와 비교하였다. (중략)

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반도체 패키지의 내부 결함 검사용 알고리즘 성능 향상 (The Performance Advancement of Test Algorithm for Inner Defects in Semiconductor Packages)

  • 김재열;윤성운;한재호;김창현;양동조;송경석
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.345-350
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    • 2002
  • In this study, researchers classifying the artificial flaws in semiconductor packages are performed by pattern recognition technology. For this purposes, image pattern recognition package including the user made software was developed and total procedure including ultrasonic image acquisition, equalization filtration, binary process, edge detection and classifier design is treated by Backpropagation Neural Network. Specially, it is compared with various weights of Backpropagation Neural Network and it is compared with threshold level of edge detection in preprocessing method fur entrance into Multi-Layer Perceptron(Backpropagation Neural network). Also, the pattern recognition techniques is applied to the classification problem of defects in semiconductor packages as normal, crack, delamination. According to this results, it is possible to acquire the recognition rate of 100% for Backpropagation Neural Network.

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화상분석기를 이용한 정도별 이형성증에 대한 연구 (The Study of Dysplasic Grades to Digital Image Analyzer)

  • 주경웅
    • 대한임상검사과학회지
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    • 제38권3호
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    • pp.203-207
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    • 2006
  • The purpose of this study was to develop discriminant analysis models for predicting cervical normal/dysplasia case diagnoses using cytometric features derived from the digital image analysis of cell monolayers. The database consisted of 19 cases diagnosed either as normal (n=5), moderate dysplasia (n=7), severe dysplasia (n=7) on monolayer preparations. We studied the nuclear and cytoplasmic characteristics of cells in the normal, moderate dysplasia and severe dysplasia on cervical samples. The morphometric parameters selected for the analysis were nuclear/cytoplasmic ratio and the nuclear variations measured by image analysis on normal and precancerous lesions of cervical smears; several shape factors; area; perimeter; maximal, minimal and equivalent circle diameters. The results showed that the dysplasia samples exhibited changes in both cellular and nuclear form and size but lacked substantial differences in the tumor grades. The coefficient of nuclear variation is as follows to normal cell $21.8{\pm}3.2%$, moderate dysplasia $33.5{\pm}6.1%$, severe dysplasia $27.7{\pm}5.8$ of cervical smears.

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반도체 패키지의 내부 결함 검사용 알고리즘 성능 향상 (The Performance Advancement of Test Algorithm for Inner Defects In Semiconductor Packages)

  • 김재열;김창현;윤성운
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.721-726
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    • 2005
  • In this study, researchers classifying the artificial flaws in semiconductor. packages are performed by pattern recognition technology. For this purposes, image pattern recognition package including the user made software was developed and total procedure including ultrasonic image acquisition, equalization filtration, binary process, edge detection and classifier design is treated by Backpropagation Neural Network. Specially, it is compared with various weights of Backpropagation Neural Network and it is compared with threshold level of edge detection in preprocessing method for entrance into Multi-Layer Perceptron(Backpropagation Neural network). Also, the pattern recognition techniques is applied to the classification problem of defects in semiconductor packages as normal, crack, delamination. According to this results, it is possible to acquire the recognition rate of 100% for Backpropagation Neural Network.

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소아 화상의 화상부위 세균 집락화와 항균제 감수성 변화(1999년 1월~2002년 12월) (The Bacterial Colonization of Burn Wound and the Changes of Antibiotic Susceptibility in Childhood Burn (January, 1999~December, 2002))

  • 김진만;이소연;김영호;신언우;오필수;김광남;이규만;오석준
    • Pediatric Infection and Vaccine
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    • 제12권2호
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    • pp.157-165
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    • 2005
  • 목 적 : 화상의 병태 생리에 대한 지식 증가와 효과적인 항균제의 이용 및 상처의 괴사조직을 조기에 제거하는 수술 방법의 도입으로 최근 사망률이 감소하고 있으나, 아직도 세균 감염으로 인한 패혈증과 폐렴 등의 합병증이 사망의 가장 큰 원인이 되고 있다. 최근 내성균주의 증가로 적절하고도 제한적인 항균제 선택의 중요성이 증대되고 있다. 특히 Acinetobacter의 multi-drug resistant 균주는 최근 들어 관심의 대상이다. 중환자실의 MRSA, VRE 등의 균주가 증가되고 있는 우리나라의 실정에서 소아 연령의 화상부위 세균 감염 양상을 파악하고 각 균주에 따른 항균제 내성의 추이를 파악하여 적절한 항균제 선택으로 소아 화상 부위의 치료에 도움이 되고자 한다. 방 법 : 1999년 1월부터 2002년 12월까지 4년간 한림대학교 의료원 한강성심병원 화상 센터에 입원한 만 15세 이하 환아 중, 화상 부위 세균 배양 검사 양성으로 나타난 213명, 406검체를 대상으로, 의무기록의 후향적 고찰을 통하여 감염세균 및 항균제 감수성 양상을 조사, 분석하였다. 결 과 : 1) 총 213명의 환아 중 남아 127명(59.6%), 여아 86명(40.4%)이었다. 나이별로는 1~5세까지의 학령 전기에서 132명(62.0%)으로 가장 많았고, 1개월~1세의 영아기 45명(21.1%), 6~10세의 학령기 24명(11.3%) 순이었다. 2) 화상의 종류로는 열탕 화상이 167명(78.4%)으로 가장 많았고, 다음으로 화염 화상이 35명(16.4%), 접촉 열화상 6명(2.8%) 순이었다. 3) 총 213명 406검체 중 64검체(15.8%)에서 두 종류 이상의 균주가 분리되었다. P. aeruginosa가 236검체(58.1%)에서 분리되어 가장 흔한 원인균이었다. Enterococcus species가 73검체(18.0%), S. aureus가 51검체(12.6%), S. epidermidis가 48검체(11.8%)에서 분리되었다. 그 다음으로 Streptococcus species, Acinetobacter species, E. coli 순이었다. 4) P. aeruginosa의 경우 항균제에 대한 내성률은 trimethoprim-sulfamethoxazole 100%, cephalothin 98.1%, ampicillin-sulbactam 96.2%, ampicillin 95.3%, ceftriaxone 95.2%, tobramycin 93.7%, cefoperazone 68.9%, ceftazidime 67.7%이었다. 5) Enterococcus species는 tetracycline 63.9%, streptomycin 45.5%, gentamicin 36.1%, penicillin G 13.7%의 내성을 보였다. 6) S. aureus는 gentamicin 89.7%, tetracycline 86.2%, ciprofloxacin 86.2%, penicillin G 84.3%, oxacillin 78.4%, erythromycin 76.5%의 내성을 보였다. 7) S. epidermidis는 oxacillin 81.2%, erythromycin 79.2%, gentamicin 76.2%, penicillin G 70.8%, fusidic acid 70.3%, tetracycline 61.9%의 내성을 보였다. 8) Acinetobacter species는 ampicillin-sulbactam 100%, gentamicin 85.7%, ampicillin 83.3%, piperacillin 61.5%, aztreonam 53.3%의 내성을 보였다. 결 론 : P. aeruginosa의 선택적 항생제 중 cefoperazone 68.9%, ceftazidime 67.7% 등 높은 내성을 보였고, imipenem 역시 25.9%의 내성을 나타냈다. 현재 P. aeruginosa에 대한 백신이 개발 중이나 효과에 대해선 더 많은 연구가 필요할 것이다. S. aureus는 penicillin G 84.3%, oxacillin 78.4% 등의 높은 내성을 보였으나, vancomycin 0%, teicoplanin 2.2%로 아직 낮은 내성률을 보였다. Acinetobacter species는 최근 계속 증가하는 multi-resistant drug 양상을 보이고 있어 향후 항균제 선택에 있어 신중한 주의가 필요하다.

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적외선열화상 이미지법과 패턴 인식을 이용한 철도차량 회전기기의 비파괴 진단 (Non-Destructive Diagnosis of Rotational Components of a Railway Vehicle Using Infrared Thermography and Pattern Recognitions)

  • 권석진;김민수;서정원;강부병
    • 비파괴검사학회지
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    • 제36권4호
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    • pp.300-307
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    • 2016
  • 차량 부품의 고장은 운용 중단과 탈선 결과로 나타날 수 있으며 차량 주요부품의 이상상태를 진단하는 것은 중요하다. 온도를 이용한 진단 방법은 철도차량 회전기기의 -예를 들면, 베어링, 감속기, 견인전동기, 디스크- 비정상 상태를 진단하는 기본적인 방법이다. 본 연구에서는 적외선열화상과 패턴 이미지법을 이용하여 차량 하부의 회전기기의 이상 진단시스템을 구축하여 현장시험을 수행하였다. 그 이상상태 진단시스템은 차량 하부 회전기기의 이상발열 상태를 진단할 수 있었으며 비정상 상태를 평가할 수 있었다.

위상잠금 열화상기법을 이용한 치과용 복합레진 수복재의 내부 홀 결함에 대한 비파괴평가 (NDE of the Internal Hole Defect of Dental Composite Restoration Using Infrared Lock-In Thermography)

  • 구자국;최낙삼
    • 비파괴검사학회지
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    • 제33권1호
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    • pp.40-45
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    • 2013
  • 위상잠금 적외선열화상기법을 이용하여 치과용 복합레진 수복재의 내부 홀 결함 크기에 따른 검출 가능성을 연구하였다 위상잠금 주파수 조건을 다르게 하며 진폭과 위상영상을 분석하였다. 진폭 이미지 분석을 통해 직경 2 mm 이상의 결함 검출이 가능함을 알았으며 0.05 Hz 부근에서 결함부의 구별이 뚜렷하고 선명한 이미지를 획득할 수 있었다. 진폭 대비차는 결함부의 직경 크기에 비례하였다. 위상 이미지 분석 결과 0.3-0.5 Hz 부근에서 최적의 대조 영상을 보였으며 0.006 Hz 에서는 반대 명암의 뚜렷한 이미지를 얻을 수 있었다. 진폭 분석보다 위상 분석에서 결함부 크기가 작은 시편의 검출 가능성이 더 높았다.

ZnO를 이용한 초음파 현미경의 제작과 평가 (Scanning Acoustic Microsope System Using 200MHZ ZnO Transducer)

  • 장지원;도시홍;이종규
    • 수산해양기술연구
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    • 제25권4호
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    • pp.200-208
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    • 1989
  • 200MHz ZnO변환기를 이용하여 초음파 현미경을 제작하여, 도미비늘을 화상화하고 광학현미경에 의한 사진과 비교하였다. 그 결과 광학적 반사에 의한 표면의 화상과 초음파의 기계적 탄성적 표면하 반사에 의한 화상에는 다소 차이가 있음을 확인하였다(Fig. 13 및 14). 초음파 현미경은 고체재료 또는 생물조직 상(10(12)등 여러 가지 생물연구 등의 응용이 계획되고 있으며, 특히 초음파 의학의 분야는 그 활용이 눈부실 것으로 예측된다. 초음파 현미경의 제작 그 자체보다, 이것을 도구로 하여 여러 가지 학술적, 기술적 성과가 기대되기 때문에 이 분야의 기초연구가 더욱 중요하게 생각되며 첨단산업분야에서도 비파괴검사 초음파 micro spectroscopy(U.M.S)등과 같은 물질의 탄성적 성질을 micro scale로 계측할 수 있는 등, 많은 활용이 있을 것이 예상된다. 또 초음파 현미경의 방법도 여러 가지이며, 이것을 계측수단으로 일반화하는 문제도 연구할 필요가 있다. 앞으로 광학이나 전자장치 등과 함께 급속한 발전이 기대된다.

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