• Title/Summary/Keyword: 홀 패턴

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대면적 기판 위에서의 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴 형성을 위한 포토리소그라피 공정 최적화

  • Kim, Do-Hyeong;Bae, Si-Yeong;Lee, Dong-Seon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.244-245
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    • 2010
  • 최근 광전자 분야에서는 미래 에너지 자원에 대한 관심과 함께 GaN 기반 발광다이오드 및 태양전지 연구가 활발히 진행되고 있다. GaN는 높은 전자 이동도와 높은 포화 속도 등의 광전자 소자에 유리한 특성을 가지고 있으나, 고 인듐 함유량과 막질의 우수한 특성을 동시에 구현하는 것은 매우 어렵다. 이를 극복하기 위한 방법으로써 선택 영역 박막 성장법(Selective Area Growth)은 마스크 패터닝을 통해 제한된 영역에서만 박막을 성장하는 방법으로써 GaN의 막질을 향상 시킬 수 있는 방법으로 주목받고 있다. 본 논문에서는 대면적 기판에서 GaN의 막질 향상뿐만 아니라 고인듐 InGaN 박막 성장을 위하여 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴을 포토리소그라피 공정 최적화를 통해 구현할 수 있는 방법에 대해 논의한다. 그림. 1은 사파이어 기판 위에 선택 영역 박막 성장법을 이용하여 성장한 n-GaN/활성층/p-GaN의 구조를 나타낸 그림이다. 이를 통하여 서브마이크로미터 스케일의 반극성 InGaN면 위에 높은 인듐 함유량을 가지면서도 우수한 특성을 갖는 박막을 얻을 수 있다. 본 실험을 위하여 사파이어 기판 위에 SiO2를 증착한 후 포토레지스트(AZ5206)을 도포하고 포토리소그라피 공정을 진행하여 2um 크기 및 간격을 갖는 패턴을 형성했다. 그림. 2는 AZ5206에 UV를 조사(5초)하고 현상(23초)한 패턴을 윗면(그림. 2(a))과 $45^{\circ}$ 기울인 면(그림. 2(b)) 에서 본 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진이다. 이를 통해 약 2.2um의 홀 패턴이 선명하게 형성 됨을 볼 수 있다. 그 후 수백나노 직경의 홀을 만들기 위해서 리플로우 공정을 수행한다. 그림. 3은 리플로우 온도에 따른 패턴의 홀 모양을 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 측정한 표면의 사진이다. 이를 통해 2차원 평면에서 리플로우 온도 및 시간에 따른 변화를 볼 수 있다. 그림.3의 (a)는 리플로우 공정을 진행하기 전 패턴이고, (b)는 $150^{\circ}C$에서 2분, (c)는 $160^{\circ}C$에서 2분 (d)는 $170^{\circ}C$에서 2분 동안 리플로우 공정을 진행한 패턴이다. $150^{\circ}C$$160^{\circ}C$에서는 직경에 큰 변화가 없었고, $160^{\circ}C$에서는 시료별 현상 시간 오차에 따라 홀의 크기가 커지는 경향이 나타났다. 그러나 $170^{\circ}C$에서 2분간 리플로우 한 시료 (그림. 3(d))의 경우는 홀의 직경이 ~970nm 정도로 줄어든 것을 볼 수 있다. 홀의 크기를 보다 명확히 표현하기 위해 그림.3에 대응시켜 단면을 스캔한 그래프가 그림.4에 나타나 있다. 그림.4의 (a) 및 (b)의 경우 포토레지스트의 높이 및 간격이 일정하므로, 리플로우에 의한 영향은 거의 없었다. 그림. 4(c)의 경우 포토레지스트의 높이가 그림.4(a)에 비해 ~25nm 정도 낮은 것으로 볼 때, 과도 현상 및 약간의 리플로우가 나타났을 가능성이 크다. 그림. 4(d)에서는 ~970nm의 홀 크기가 나타나서 본 연구에서 목표로 하는 나노 홀 크기에 가장 가까워짐을 확인할 수 있었다. 따라서, $170^{\circ}C$ 이상의 온도와 2분 이상의 리플로우 시간 조건에서 선택 영역 성장을 위한 나노 홀 마스크의 크기를 제어할 수 있음을 확인하였다.

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Fabrication of GaN Micro-pyramid Structure Arrays for Phosphor-free white Lighting-emitting Diode

  • Sim, Young-Chul;Ko, Young-Ho;Lim, Seung-Hyuk;Cho, Yong-Hoon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.299-299
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    • 2014
  • 기존의 고출력 광원들이 환경문제 등으로 외국에서 규제대상으로 지정되고 있는 가운데고체 상태의 광원인 Light-emitting diode (LED)는 기존의 광원에 비해 에너지 절감효과 크기 때문에 인해 널리 사용되고 있는 추세이다. 대부분의 백색 LED의 경우 청색 LED에 황색 형광체를 사용하는 것이 일반적이다. 그러나 이의 경우 빛의 흡수와 재방출 과정에서 생기는 에너지 변환손실의 문제가 불가피하다. 또한, 두 종류의 색을 섞어서 나타나는 낮은 연색성의 문제가 있고 사용할 수 있는 형광체의 종류와 조합도 일본 등 해외에 출원된 특허권으로 연구개발에 어려움이 있다. 이를 해결하기 위해 본 연구에서는 형광체를 사용하지 않는 단일 백색 LED를 개발을 위하여 극성과 반극성을 조합한 구조를 연구하였다. Photo-lithography를 이용하여 다양한 크기와 구조의 홀 패턴을 얻을 수 있었으며, metal organic chemical vapor deposition을 이용하여 다양한 형태의 피라미드 구조를 성장할 수 있었다. 패턴의 홀 크기와 홀 사이의 간격을 조절하면서 성장을 진행 하였고, 그 결과 pyramid와 truncated pyramid 모양의 GaN 구조를 성장할 수 있었다. [그림 1] Pyramid 구조의 반극성 면과 truncated pyramid 구조의 극성 면사이의 성장속도 차이 때문에 양자우물의 두께가 달라짐을 확인하였다. 이로 인해 양자구속효과가 달라져 다른 파장의 발광을 기대할 수 있었다. 뿐만 아니라 In의 확산거리가 Ga보다 길어서 홀사이 간격을 달리하면 In조성비가 달라지는 효과가 있음을 확인하였고 다양한 홀 사이 간격으로부터 각기 다른 파장의 발광을 얻을 수 있었다. 파장을 조금 더 상세하게 분석하기 위하여 Photoluminescence과 Cathodoluminescence을 사용하였다. 이로써 여러 파장을 발광하는 패턴을 섞어 넓은 영역의 발광 스펙트럼을 만들었다. 특히 패턴을 섞는 방법도 홀과 에피 구조를 섞는 방법, 크기가 다른 홀 패턴을 배열하는 방법등 다양히 하며 가장 좋을 패턴을 연구하였다. 그리하여 최적의 패턴과 구조, 성장조건을 찾아 백색의 CIE 좌표값을 얻을 수 있었다.

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Hole filling for Kinect depth-image according to the causes of the holes (Kinect 깊이 영상의 홀 발생 원인 분류에 따른 홀필링)

  • Park, Yoon Su;Yun, Seok Min;Won, Chee Sun
    • Proceedings of the Korean Society of Broadcast Engineers Conference
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    • 2012.07a
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    • pp.75-78
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    • 2012
  • 본 논문에서는 키넥트(Kinect)에서 깊이 영상 생성 시 발생하는 홀(hole)들의 물리적 원인에 대해 분석하고, 원인에 따라 홀을 분류한다. 즉, 실험 영상을 통해 키넥트 적외선 패턴의 유무를 확인할 수 있으며 이를 이용하여 깊이 영상에서 나타나는 홀의 물리적 발생 원인을 확인 할 수 있다. 분류된 각각의 홀의 종류에 따라 각 홀에 적합한 홀필링 방법에 대해 논의한다.

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End-to-end Transmission Performance of VoIP Traffics based on Mobility Pattern over MANET with IDS (IDS가 있는 MANET에서 이동패턴에 기반한 VoIP 트래픽의 종단간 전송성능)

  • Kim, Young-Dong
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.9 no.7
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    • pp.773-778
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    • 2014
  • IDS(Intrusion Detection System) can be used as a countermeasure for blackhole attacks which cause degrade of transmission performance by causing of malicious intrusion to routing function of networks. In this paper, effects of IDS for transmission performance based on mobility patterns is analyzed for MANET(Mobile Ad-hoc Networks), a suggestion for effective countermeasure is considered. Computer simulation based on NS-2 is used in performance analysis, VoIP(Voice over Internet Protocol) as an application service is chosen for performance measure. MOS(Mean Opinion Score), call connection ratio and end-to-end delay is used as performance parameter.

Enhanced cathode luminescence in $In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ green light emitting diode structure using two-dimensional photonic crystal (2차원 광자 결정을 이용한 $In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ 녹색 발광 다이오드의 음극선 발광 효율 증대)

  • Choi, E.S.;Nguyen, H.P.T.;Doan, H.M.;Kim, S.;Lim, H.;Lee, J.J.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.132-133
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    • 2007
  • $In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ 다중 양자우물 녹색 발광 다이오드에 2차원 광자 결정을 이용하여 음극선 발광의 향상을 관찰 하였다. 정사각형 배열의 2차원 광자 결정의 주기와 격자 상수는 200/500 nm 이고 전자빔 리소그래피로 광자결정 패턴을 제작한 후, 플라즈마 건식 식각법으로 패턴을 구현하였다. 식각 시간의 차이를 둔 구현된 패턴의 홀 깊이는, 각각 ${\sim}69nm,\;{\sim}99nm,\;{\sim}173nm$ 이었다. 전계 방사 주사 현미경 측정 결과, 형성된 홀은 끝이 잘린 역전된 원뿔 모양으로 식각 되었다. 식각 된 홀의 깊이에 따라 광자 결정이 있는 부분이 없는 부분보다 최대 ${\sim}30$배 많은 광자가 검출 됨을 확인하였다.

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A method for Real-time Detecting and Responsing Harmful Traffic in IP Network (IP 망에서 실시간 유해 트래픽 공격 탐지 및 대응 방법)

  • Kim, Eun-Joo;Lee, Soon-Seok;Kim, Young-Boo
    • 한국IT서비스학회:학술대회논문집
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    • 2009.11a
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    • pp.549-553
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    • 2009
  • 인터넷의 빠른 발전과 확산에 따라, 통신은 방송, 통신, 인터넷 등 개별 미디어 융합을 기반으로 IP 기반 융합네트워크로 발전해 나가고 있다. 네트워크의 발전과 함께 보안문제는 네트워크 관리에 있어서 매우 중요시 되고 있는데, 특히 트래픽 폭주를 일으키는 분산공격트래픽 공격에 대한 방어는 필수적이라 할 수 있으며, 분산공격트래픽 공격에서는 알려진 패턴에 대한 유해트래픽의 방어뿐만 아니라 알려지지 않은 새로운 패턴의 유해트래픽에 대한 보안관리가 모두 필요하다. 현재 인터넷에 대한 공격을 차단할 수 있는 방어 기술은 싱크홀(sinkhole) 터널링(tunneling) 기술 등이 제공되고 있으나, 싱크홀 라우터를 따로 만들지 않고 알려지지 않은 패턴의 유해트래픽에 대한 실시간 탐지 및 대응 방법은 정의되고 있지 않다. 본 논문에서는 분산공격트래픽, 바이러스 등을 모두 포함하는 유해트래픽의 실시간 탐지 및 대응 방법에 대하여 제안한다.

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Proposal of Vertical Direction Deck Delay Time for Efficient Formation of Free Surface of Bottom Deck (효율적 하부데크의 자유면 형성을 위한 수직방향 데크 단차 제안)

  • Seung-Won Jung;Seung-Joong Lee;Jin-Hyuk Song;Young-Ho Kim;Young-Suk Song;Nam-Sun Hwang
    • Explosives and Blasting
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    • v.41 no.4
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    • pp.41-50
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    • 2023
  • This study, a vertical double-deck method using an electronic detonator was applied to increase excavation volume and reduce blast pollution. In the double deck method, there is a possibility that blasting efficiency may be reduced if bottom deck blasting is carried out without the free surface being completely formed after upper deck blasting. And for this reason, the blasting efficiency of the double deck method varies depending on the deck delay time. Therefore, in this study, we proposed four deck delay times applying 1 to 5 times the hole delay time. And blasting efficiency was evaluated according to fragmentation analysis. As a result of the fragmentation evaluation, the fragmentation of pattern 4 (deck delay time = hole delay time×5) was the best, but it was confirmed that fragmentation efficiency increased significantly from pattern 3 (deck delay time = hole delay time×3). Accordingly, it is analyzed that when blasting a vertical double deck, the deck delay time must be at least three times the hole delay time to obtain an efficient blasting effect.

Design of Free Viewpoint TV System with MS Kinects (MS Kinect 를 이용한 Free Viewpoint TV System 설계)

  • Lee, Jun Hyeop;Yang, Yun Mo;Oh, Byung Tae
    • Proceedings of the Korean Society of Broadcast Engineers Conference
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    • 2015.07a
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    • pp.122-124
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    • 2015
  • This paper provides the design and implementation of Free Viewpoint TV System with multiple Microsoft Kinects. It generates a virtual view between two views by manipulating texture and depth image captured by Kinects in real-time. In order to avoid this, we propose the hole-filling scheme using Nearest neighbor and inpainting. As a result, holes generated by interference are filled with new depth values calculated by their neighbors. However, the depth values are not accurate, but are similar with their neighbors. And depending on the frequency of running a Nearest Neighbor method, we can see that edge's border would be shifted inner or outer of the object.

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A Study of the Dependence on Incidence Angle of the Sensitivity of an Extraordinary Optical Transmission Sensor (특이 광 투과 센서에서 민감도의 입사각 의존성 연구)

  • Kwon, Yongjae;Lee, Seunghun;Kim, Taeyeon;Kim, Kyujung
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.32 no.3
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    • pp.126-132
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    • 2021
  • In this research, we have investigated the sensitivity of an extraordinary optical transmission sensor depending on the angle of incident light. Three types of light, including a collimated beam and focused beams (4× and 10×), were designed for the sensor system. To compare the sensitivity of the sensor, we measured transmittance spectra using deionized water (n=1.333) and refractive-index-matching oils (n=1.360 and 1.380). Those spectra were analyzed in terms of redshifting of the peak, so that we could determine the sensitivity. The sensitivity tended to increase when the collimated beam is used on the system, and we have concluded that the sensitivity could be affected by the incidence angle on an extraordinary optical transmission sensor.

Effects of Chamfered Perforated Plate on Pressure Loss Characteristics (챔퍼가 적용된 타공판의 압력 강하 특성에 대한 연구)

  • You, Kyeongsik;Lee, Hyungyu;Cho, Jinsoo
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.47 no.11
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    • pp.779-786
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    • 2019
  • Effects of chamfered perforated plate on pressure loss characteristics were studied with CFD analysis. Both inlet chamfer angle and outlet chamfer angle were considered. Perforated patterns were compared by pressure loss coefficient in certain porosity and Reynolds number. Reynolds number effects were studied for several chamfer angles and plate thickness. As the inlet chamfer angle was increased, the pressure loss coefficient was decreased until the certain angle and reversed to increase. In the outlet chamfered shape cases, the pressure loss coefficient was increased with chamfer angle. Effects of pattern shapes and Reynolds number on pressure loss characteristics were negligible with different chamfer angles and thickness studied in this paper.