• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.199-199
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• 2010

최근 평판 디스플레이 산업의 발전에 따라 능동행렬 액정 표시 소자 (AMOLED : Active Matrix Organic Liquid Crystral Display) 가 차세대 디스플레이 분야에서 각광을 받고있다. 기존의 TFT-LCD에 사용되는 a-Si:H는 균일도가 좋지만 전기적인 스트레스에 의해 쉽게 열화되고 낮은 이동도는 갖는 단점이 있으며, ELA (Eximer Laser Annealing) 결정화 poly-Si은 전기적인 특성은 좋지만 uniformity가 떨어지는 단점을 가지고 있어서 AMOLED 및 대면적 디스플레이에 적용하기 어렵다. 따라서 a-Si:H TFT보다 좋은 전기적인 특성을 보이며 ELA 결정화 poly-Si TFT보다 좋은 uniformity를 갖는 SPC (Solid Phase Crystallization) poly-Si TFT가 주목을 받고있다. 본 연구에서는 차세대 디스플레이 적용을 위해서 glass 기판위에 증착된 a-Si을 SPC 로 결정화 시킨 후 TFT를 제작하고 평가하였다. 또한 TFT 형성시에 저온공정을 실현하기 위해서 소스/드레인 영역에 실리사이드를 형성시켰다. 소자 제작시의 최고온도는 $500^{\circ}C$ 이하에서 공정을 진행하는 저온 공정을 실현하였다. Glass 기판위에 a-Si이 80 nm 증착된 기판을 퍼니스에서 24시간 동안 N2 분위기로 약 $600^{\circ}C$ 에서 결정화를 진행하였다. 노광공정을 통하여 Active 영역을 형성시키고 E-beam evaporator를 이용하여 약 70 nm 의 Pt를 증착시킨 후, 소스와 드레인 영역의 실리사이드 형성은 N2 분위기에서 $450^{\circ}C$, $500^{\circ}C$, $550^{\circ}C$에서 열처리를 통하여 형성하였다. 게이트 절연막은 스퍼터링을 이용하여 SiO2를 약 15 nm 의 두께로 증착하였다. 게이트 전극의 형성을 위하여 E-beam evaporator 을 이용하여 약 150 nm 두께의 알루미늄을 증착하고 노광공정을 통하여 게이트 영역을 형성 후 에 $450^{\circ}C$, H2/N2 분위기에서 약 30분 동안 forming gas annealing (FGA)을 실시하였다. 제작된 소자는 실리사이드 형성 온도에 따라서 각각 다른 특성을 보였으며 $450^{\circ}C$에서 실리사이드를 형성시킨 소자는 on currnet와 SS (Subthreshold Swing)이 가장 낮은것을 확인하였다. $500^{\circ}C$와 $550^{\circ}C$에서 실리사이드를 형성시킨 소자는 거의 동일한 on current와 SS값을 나타냈다. 이로써 glass 기판위의 SB-TFT 제작 시 실리사이드 형성의 최적온도는 $500^{\circ}C$로 생각되어 진다. 위의 결과를 토대로 본 연구에서는 SPC 결정화 방법을 이용하여 SB-TFT를 성공적으로 제작 및 평가하였고, 차세대 디스플레이에 적용할 경우 우수한 특성이 기대된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.480-480
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• 2013

태양에너지는 신재생 에너지 중에서 무한한 에너지원으로서 태양에너지에 대한 활발한 연구가 이루어지고 있다. 그 중에서도 결정형 실리콘 태양전지에 대해 다양한 연구가 진행 중이다. 이러한 실리콘 태양전의 제작은 실리콘 식각 용액을 이용하여 기판의 절삭 손상된 부분을 식각한 후 텍스쳐링(texturing) 공정을 통해 표면의 흡수율을 높이고, 반면에 반사율을 감소시킨다. 텍스쳐링 공정이 끝난 후 도핑 공정을 통해 에미터(emitter)를 형성, 반사방지막을 증착, 기판의 전면과 후면에 페이스트를 바르고 스크린인쇄법으로 전극을 형성한 후 마지막으로 형성된 전극을 소성 공정을 통해 전극이 에미터와 접촉하면 태양전지가 완성된다. 하지만 텍스쳐링 공정을 통해 만들어진 피라미드 구조는 도핑공정을 하게 되면, 꼭짓점 부분의 균일한 도핑이 이루어지지 않는다. 이러한 균일하지 않은 공정으로 인해 전극 소성 공정에서 일부의 에미터층을 뚫어버리게 되므로 누설전류가 증가하게 된다. 그래서 본 논문에서는, 변환 효율을 개선시키기 위해 표면 구조와 반사방지막의 열처리 공정에 대한 연구를 하였다. 우선 피라미드 구조를 균일하게 만들었으며, 반사방지막 형성 후 열처리를 하여 소수 캐리어 수명을 증가시켰으며, 누설전류를 감소하였다. 균일한 도핑 및 전극 형성을 용이하게 하는 부드러운 피라미드 구조를 형성하기 위해 HND (HF：HNO3 : D.I wafer=5 : 100 : 100) 용액을 사용하여 식각하였다. 그 결과 직렬저항은 NHD용액을 사용하여 300초 동안 식각하였을 때 $1.284{\Omega}$ 낮아지는 결과를 얻을 수 있었으며, 도핑을 균일화하여 누설전류를 감소시킬 수 있었다.

• Journal of Korean Society of Transportation
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• v.25 no.3
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• pp.87-97
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• 2007

This paper proposes drivers' rational belief formation under a bounded traffic environment. This is to escape the criticism that excessive rationality (e.g., a driver's calculating ability and memory capacity) is required of drivers. Under bounded traffic environments. drivers do not have structural knowledge of traffic conditions and others' decisions. Simulations are carried out using a program coded in C. Consequently, the author found the learning process of drivers and the value of information can be differentiated by route conditions and the characteristics of driver groups. Also, it was found that rational drivers form different beliefs about traffic conditions even though they have the same traffic environment in a bounded traffic environment.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.11a
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• pp.185-185
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• 2012

최근 자연모사를 이용한 연구가 다양한 분야에 적용되고 있다. 특히 연 잎의 표면에서 나타나는 초발수 특성이 마이크로 나노 크기의 구조와 표면에너지를 제어하는 에피큐티클 왁스에 기인하다는 것이 밝혀지면서 이를 응용한 연구가 진행되고 있다. 본 연구는 알루미늄 표면처리로 마이크로와 나노 구조물을 형성하고 그 위에 발수 특성을 가진 물질을 증착하여, 발수성을 가지는 표면을 개발하였다. 알루미늄 표면에 마이크로 크기의 알루미나($Al_2O_3$) 분말을 이용한 블라스트(blast) 공정으로 표면에 마이크로 구조를 형성하고, Linear Ion Source(LIS)를 적용한 Ar 이온빔 에칭으로 나노 구조를 형성하였다. FE-SEM 분석을 통해 수~수십 마이크로 구조 위에 나노 크기의 구조가 형성 된 것을 관찰하였다. 마이크로 나노 구조가 형성된 알루미늄의 표면에너지를 낮추기 위해 trimethylsilane(TMS) 및 Ar을 이용한 플라즈마처리로 표면에 기능성 코팅막을 형성하였다. 그 결과 TMS 발수 코팅하기 전에 비해 표면에너지가 $99.75mJ/m^2$에서 $9.05mJ/m^2$으로 급격히 낮아지고 접촉각 값이 $123^{\circ}$로 향상된 것을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.212-212
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• 2013

본 연구에서는 최근 다양한 전자 소자로써의 연구가 진행되고 있는 그라핀을 실리콘 기판위에 전자빔 식각(Electron-Beam Lithography)을 이용하여 TLM (Transfer Length Method) 패턴을 형성하고 가스 유입이 가능한 진공 챔버를 가지는 Probe Station을 이용하여 I-V 변화를 측정함으로써, 그라핀을 가스 센서 소자로서의 가능성을 연구하였다. 우리는 기존의 광식각을 이용한 TLM 패턴 형성과 더불어 전자빔 식각(E-Beam Lithography: EBL)을 이용한 TLM 패턴을 형성하여 I-V를 측정하였는데, 전자빔을 이용한 TLM 패턴의 형성은 광식각을 이용한 방법에 비해 더 세밀하고 미세한 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 이렇게 형성된 그라핀의 TLM패턴은 가스 유량 조절이 가능한 진공 챔버를 가지는 Probe Station을 이용하여 측정하게 되는데, 이 때 저진공 상태의 챔버 내로 N2, H2 두 종류의 가스를 각각 유량을 변화시키며 주입하고 그 변화를 측정하였다. 유입된 가스는 그라핀의 Dangling Bond에 결합됨으로써 그라핀의 전도도를 변화시키게 되고, 변화된 그라핀의 전도도에 따른 I-V 결과의 변화를 측정하여 이를 가스 센서로 사용할 수 있는지를 측정하였다. 또한 유입되는 가스의 유량 변화에 따른 I-V 결과의 변화량을 통하여 가스 센서의 민감도 또한 측정하였다.

• Journal of Fisheries and Marine Sciences Education
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• v.27 no.4
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• pp.1031-1040
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• 2015

Ultrstructural studies of germ cell differentiation and vitellogenesis in the oocytes of the female Rapana venosa in the brackish water area of Seomjin River were investigated by transmission electron microscope observations. In the early vitellogenic oocytes, the Golgi complex and mitochondria were involved in the formation of glycogen particle, lipid droplets, and yolk granules. In the late vitellogenic oocytes, the rough endoplasmic reticulum and multivesicular bodies were involved in the formation of proteid yolk granules in the cytoplasm. However, heterosynthetic vitellogenesis in this species were not observed in vitellogenic oocytes during oogenesis. A mature yolk granule was composed of three components: crystalline core, electron lucent cortex and the limiting membrane. As shown in some large gastropods, vitellogenesis in R. venosa occurred by way of endogenous autosynthesis without heterosythetic vitellogenesis (exogeneous endocytosis), which are found in the oocytes in bivalves. The mating period and spawning activity were related with the increases of seawater temperatures and salinities.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2010.05b
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• pp.1083-1085
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• 2010

본 연구는 지하의 바닥층에 배수로를 확보하기 위한 배수판에 관한 것으로, 특히 배수판에 형성된 인터록킹 돌기가 다른 배수판에 형성된 인터록킹 소켓에 안착되면서 배수판 간의 연결부위가 상호 미로형의 인터록킹 구조를 이루어 배수판의 하측으로 시멘트 몰타르가 유입됨을 배제하여 원활한 배수로를 확보함은 물론 상기 인터록킹 소켓 및 인터록킹 돌기는 요철형의 견고한 구조로 이루어져 뒤틀림, 변형 등의 하자발생이 없어 공사의 품질을 높일 수 있도록 하는 지하바닥용 배수판에 관한 것이다. 개발한 배수판은 상부면에 격자형으로 콘크리트 타설홈이 형성된 다수의 지지포스트가 하측으로 돌출 형성된 배수판과; 상기 배수판의 둘레면 가운데 인접하는 양면에 일체로 형성되고 상부에 안착요홈이 형성된 인터록킹 소켓과; 상기 인터록킹 소켓과 대응하는 양면에 일체로 형성되고, 다른 배수판에 형성된 인터록킹 소켓에 안착되면서 미로형의 인터록킹 연결구조를 이루는 인터록킹 돌기의 유기적인 결합구성으로 이루어진다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2010.11a
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• pp.153.1-153.1
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• 2010

가스 하이드레이트는 낮은 온도와 높은 압력에서 물과 천연가스 분자가 물리적으로 안정한 결합을 하고 있는 결정질의 화합물이다. 현재 130개 이상의 가스분자들이 물분자와 결합하여서 Clathrate 하이드레이트를 형성하는 것으로 보고 되어 있다. 수소의 경우 하이드레이트를 형성하기 위해서 약 200MPa 이상의 높은 압력이 필요하다. TBAB는 semi-clathrate 하이드레이트를 형성하는 첨가제로 알려져 있으며 수소 하이드레이트의 형성 압력을 완화시키기 위한 촉진제로서 많은 연구가 수행되고 있다. Wataru Shimada는 XRD 패턴을 사용하여 semi-clathrate 하이드레이트의 특수한 결정 모델을 분석하였다. 이 모델의 경우, 대기압 하에서 TBAB와 물분자의 화학 양론적 비를 1:38로 제시하였다. 이는 처음으로 TBAB 하이드레이트 결정구조를 밝혀냈지만, 분자 동역학적 부문에서는 그 데이터가 정확히 정의 되지 않았다. 본 연구는 Wataru Shimada 모델을 수소 TBAB 하이드레이이트의 분자 동역학 연구에 적용시켰으며, 실험에서 나온 데이터를 바탕으로 RDF(Radial Distribution Function)와 MSD(Mean Square Displacement)를 측정했다.

• Journal of the Korean BIBLIA Society for library and Information Science
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• v.23 no.3
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• pp.253-278
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• 2012

The purpose of this study is to identify the formation of placeness in public libraries, to understand placeness of public library, and to explain its social value. This study conducted causality analysis of placeness formation in public libraries. And this study analysed the direct and indirect effects of place attachment in public libraries as a mediated factor between placeness factor and perceived place value.

• Asia Marketing Journal
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• v.4 no.1
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• pp.1-24
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• 2002

소비자의 의사결정에 관한 대부분의 연구는 상표수준(brand level) 선택에 그 초점을 맞추고 있으나, 소비자는 제품수준의 의사결정상황에 자주 직면하게 된다. 따라서 본 연구는 제품수준(product level)에서의 의사결정문제에 접하게 될 때 소비목적을 달성하기 위하여 제품 수준에서는 환기군에서 유도된 고려군을 어떻게 형성하는지를 전형성의 개념을 이용하여 살펴보았다. 그리고 이를 통해 선택된 특정제품에 대한 상표대안들에 대하여 환기군에서 유도된 고려군이 형성되는 전반적인 과정을 제품수준과 연결하여, 제품수준과 상표수준에서의 고려군 형성과 대안평가의 차이를 비교하였다. 연구결과 제품수준의 경우에서는 대안평가기준이 상표수준보다 추상적인 속성을 이용하고 있는 것으로 나타났고, 상표수준의 경우에는 제품수준보다 구체적인 속성을 이용하는 것으로 나타났다. 또한 제품수준과 상표수준에 있어 전형성 평가기준의 영향력이 다른 것으로 나타났는데, 이상적 속성과 속성구조가 고려군을 형성하기 위한 대안의 전형성 평가에 많은 영향을 미쳤으며, 상표수준의 경우에는 공통속성이나 접촉빈도가 더 많은 영향을 미치는 것으로 나타났다.