• 제목/요약/키워드: 형성 연구

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Transfer of patterns from thin film to patterning-resist substrate

  • 하늘빛;박지선;정솔;임혜인;김재성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.266-266
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    • 2010
  • Ion beam sputtering(IBS)을 이용한 pattern 형성은 대상 물질의 제한이 적고 물리적 변수의 조절에 의해 쉽게 nano 구조의 형태와 크기를 조절할 수 있다는 점에서 관심을 받아오고 있다. 하지만 IBS를 이용한 pattern 형성이 어려운 물질들도 있어 다양한 기판에서의 nano pattern 형성에 관련된 많은 연구가 보고되고 있다. 본 연구발표에서는 유용한 반도체인 Si 표면에서의 IBS를 이용한 nano 구조 형성이 가능함과 그 과정에 대해 말하고자 한다. Ru을 100nm 두께로 증착시킨 Si(100)을 sputter 했을 때, Ru 표면에 잘 order된 nano pattern이 형성되었다. Sputter 시간이 증가하면서 pattern은 유지된 채 Ru이 깎여 나가다가 pattern의 가장 낮은 부분부터 Si기판이 드러나게 된다. 이 때 노출된 Si은 sputtering에 의해 깎여나가고 아직 Ru이 덮여있는 부분의 Si은 그대로 유지되어, Ru이 모두 sputter 되면서 보여지는 Si의 pattern은 Ru의 그것과 동일한 형태를 띄게 된다. 그 결과, Ru의 pattern이 Si으로 transfer되었음을 AFM과 SAM을 통해 확인할 수 있었다. 또한 IBS를 이용해 pattern 형성이 힘든 metallic glass에도 같은 방식으로 Ru을 쌓아 sputter 해봄으로써 pattern transfer를 확인해 볼 계획이다. 이러한 pattern transfer는 sputtering을 통한 pattern 형성이 어려웠던 다른 물질들에 그 가능성이 있음을 보여주고 있어 sputtering의 응용 폭이 넓어질 것을 기대한다.

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AZ31 마그네슘 합금의 양극 산화피막 형성에 미치는 주석산나트륨 농도의 영향 (Effects of Na2SnO3 concentration on the formation of anodic oxide films on AZ31 Mg alloy)

  • 김예진;문성모;신헌철
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.66.1-66.1
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    • 2018
  • 최근 자동차 배기가스 규제 및 전기자동차, 무인항공기 개발 등의 경량 소재에 대한 필요성이 지속적으로 증가하고 있다. 마그네슘 및 마그네슘 합금은 구조용 금속 소재 중 가장 밀도가 낮은 금속으로서 자동차, 항공, 기계 부품류 및 주방용품이나 전자제품 케이스류 등 다양한 산업분야에서 활용성이 크게 증가하고 있다. 하지만 마그네슘 합금은 화학적 반응성이 매우 크고 표면에 존재하는 피막의 치밀성과 화학적 안정성이 낮아서 쉽게 부식되는 단점이 있다. 따라서 내식성 향상을 위한 표면처리 기술 개발에 대한 필요성이 증대되고 있다. 양극 산화법은 금속표면에 양극 전류를 인가하여 산화피막을 인위적으로 형성시켜줌으로써 내식성을 향상시켜 주는 방법으로서 산업적으로 널리 사용되고 있는 표면처리 방법 중의 하나이다. 본 연구에서는 주석산나트륨의 농도에 따른 AZ31 마그네슘 합금의 양극 산화 피막 형성 거동을 연구하였다. DC 전류를 인가하여 양극산화 피막을 형성하였으며, 피막형성 전압 및 형성된 피막의 두께, 표면 거칠기 및 피막의 구조 등을 분석하여 주석산나트륨 농도에 따른 양극산화 피막의 형성 특성에 대하여 자세하게 고찰하였다.

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KAVO ISTHMUS, KAVO T-SHAPE과 KIS TIP의 3종 초음파기구로 형성한 역충전와동의 SUPEREBA 변연누출에 관한 연구 (Leakage of SuperEBA in root-end cavities prepared with 3 new ultrasonic tips : KaVo Isthmus, KaVo T-shape and KiS tip)

  • 이우철
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제27권3호
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    • pp.270-276
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    • 2002
  • 치근단 수술시 구동형 수술현미경과 미세수술기구들이 사용됨에 따라 치근단 절제술 후 역충전와동의 효과적인 형성 및 충전을 위해 새로운 초음파기구가 개발되었다 따라서 본 연구에서는 최근 상품화되어 사용되고 있는 초음파기구중 신속하게 역충전와동을 형성할 뿐아니라 충분한 깊이를 제공하여 역충전재료의 변연누출 감소에 효과적인 것으로 알려져 있는 3종의 초음파기구를 사용하여 역 충전와동을 형성 한 후 SuperEBA로 충전하여 그 변연누출을 비교하였다. 모두 56개의 근첨형성이 완료된 단근치를 선택하여 Profile .06를 사용하여 근관형성한 후 음성대조군 2개를 제외한 54개의 치아를 수직가압법으로 충전하였다. 근단부 3mm를 절제한 뒤 KaVo Isthmus, KaVo T-shape 그리고 KiS tip을 각각 18개의 치아에 사용하여 역충전와동을 형성하고 그중 각각 2개의 양성대조군 치아를 제외한 나머지 치아에 SuperEBA로 충전하였다. 각치아는 1% methylene blue dye에 침윤시켜 1주일 후 종절단하여 그 색소침투정도를 측정, 비교하였다. 실험결과 측정된 평균 변연누출은 KaVo Isthmus가 $1.5\pm$1.4mm, KaVo T-shape이 1.7$\pm$1.2mm이고 KiS tip은 1.1$\pm$0.7mm 이었으며, 통계적으로 유의할만한 차이는 없었다. 따라서 초음파기구를 사용한 역충전와동의 임상시술 성공여부는 술자의 편의도와 임상적 사용시 조작능력에 달려 있는 것으로 사료된다.

확률논리와 조합논리 미형성 학생의 논리지도에 대한 연구 (A Study on Teaching of Logical Thinking Students with Non-formation in Probabilistic Reasoning and Combinational Reasoning)

  • 김영신;박애련;임수민;정재훈;김수완;송하영
    • 과학교육연구지
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    • 제33권1호
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    • pp.69-76
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    • 2009
  • 이 연구의 목적은 확률 논리와 조합 논리가 형성되지 않은 학생들에게 논리 지도를 위한 최적의 시기를 찾고자 하는 것이다. 초등학교 4, 5, 6학년 학생 430명을 대상으로 논리의 형성정도를 사전에 검사하였다. 검사도구는 GALT를 참고하여 개발하였고, 이는 과학 교육 전문가에게 타당도를 검증 받았다. 처리 프로그램은 두 가지 논리가 모두 형성되지 않은 각 학년 20명의 학생을 대상으로 수행하였다. 이는 바둑돌과 카드를 반복적으로 수행하는 검사도구이다. 4주 뒤 사후검사에서 확률논리와 조합논리의 발달정도를 알아보는 검사를 다시 수행하였고 그 변화는 확인되었다. 확률논리의 경우 4, 5, 6학년에서 형성율이 각각 15%, 25%, 40% 증가하였고, 평균도 .15, .30, .50 증가하였다. T-검증에 의한 의미있는 결과는 6학년 중에서 얻어졌다. 그러나 과도기 학생 비율(21.7%)를 제외하면 형성 학생의 비율은 5.0%로 여전히 저조하였고, 다수의 학생(73.3%)은 미형성 상태를 유지하였다. 조합논리의 경우 4, 5, 6학년에서 형성율이 각각 20%, 25%, 63.2% 증가하였고, 평균도 .20, .25, .63 증가하였다. T-검증에 의한 의미있는 결과는 역시 6학년 중에서 얻어졌다. 그러나 처치 후 논리 형성 학생으로의 전이는 없었으며, 과도기 학생의 비율만 35% 증가하였다. 위의 연구결과, 확률논리와 조합논리가 형성되지 않은 학생들은 학습을 통한 향상은 이루어 졌지만, 인지발달과 같은 질적인 변화는 이루어지지 않았다. 이 연구로 인하여 확률논리와 조합논리의 학습 효과가 큰 6학년 학생들의 인지수준 개선을 위한 여러 분야에서의 더 활발한 연구가 이루어지길 기대한다.

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인삼의 Crown Gall Tumor형성에 관한 연구 (Formation of Crown Gall Tumor in Panax ginseng C.A. Meyer)

  • 최광태;양덕춘
    • Journal of Ginseng Research
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    • 제10권1호
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    • pp.45-54
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    • 1986
  • 인삼에 이용할 수 있는 vector system의 개발연구의 일환으로 우선 Agrobacterium spp.를 인삼의 잎, 줄기 및 뿌리에 접종하여 crown gall tumor의 형성 및 탈분화 그리고 Agrobacterium spp.의 opine화합물의 이용정도등을 조사하였던 바 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. Agrobacterium tumefaciens C58은 인삼의 모든 부위에서 crown gall tumor를 형성하였으나 secondary tumor나 teratoma는 형성하지 못했다. 2. Wild type Agrobacterium tumefaciens Y101, Y104, Y109는 crown gall tumor를 형성하였으며, tumor의 형태, 크기 그리고 생장 정도는 strain별로 차이가 있었다. 3. Agrobacterium tumefaciens Y194는 특히 amorphic tumor를 형성하였다. 4. 줄기에서 형성된 tumor조직에서 callus를 유기하고자 phytohormone free배지 및 2,4-D 첨가 배지에 접종한 결과 전혀 callus가 형성되지 않았다. 5. 뿌리에서 형성된 callus가 형성되긴 하였으나 출현빈도가 극히 낮았으며, 정상 조직과는 달리 2,4-D의 효과가 미미하였다. 6. Agrobacterium spp.에 의한 opone화합물의 이용능력을 조사한 결과, Agrobacterium tumefacciens Y104, Y110 과 C58은 nopaline type이었고 Y109는 octopine type이었으며, Y101은 nopaline과 octopine 어느것도 이용하지 못하였다.

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'Three-File' 방식에 의한 만곡 근관 형성시 근관의 형태에 관한 연구 (A STUDY ON THE SHAPE OF A CANAL PREPARED WITH 'THREE-FILE' TECHNIQUE IN A CURVED CANAL)

  • 박한수;이민구;김종진;임영준;장문성;이종엽
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제25권4호
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    • pp.494-498
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    • 2000
  • 이 연구의 목적은 'Three-File' 방식에 의한 근관형성시 근관의 형태변화 및 전이정도를 분석하고 이를 기존의 근관형성방법과 비교하고자 하는 것이다. 만곡된 근관을 가진 투명한 레진블럭 상에서 'Three-File' 방식, crown-down방식 및 스테인레스강 화일에 의한 수동방식으로 근관형성을 시행하고 이를 똑같은 위치가 재현가능한 고정틀에 위치시킨 후 사진의 이중노출 기법을 이용하여 근관형성 전후의 근관의 형태변화 및 전이정도를 분석한 결과 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 스테인레스강 화일의 경우 근관확대가 가장 컸고 근관의 전이정도도 심하였으며, 형성된 근관이 taper하지 못하고 불규칙한 형태를 보였다. 2. Profile로 crown-down방식에 의해 형성한 경우 taper한 근관형태를 보였고, 근관의 전이 정도도 스테인레스강 화일의 경우보다 작았다(p<0.01). 3. Profile로 'Three-File'방식에 의해 형성한 경우 taper한 근관형태를 보였고 근관의 전이정도도 스테인레스강 화일의 경우보다 유의하게 작았으나(p<0.01), crown-down방식에 의해 형성한 경우와 유의할 만한 차이는 없었다(p>0.01).

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광대역 및 전방향 높은 투과도를 갖는 사파이어 나노구조 제작 및 광학적 특성연구

  • 김명섭;임정우;고영환;정관수;유재수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.338-338
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    • 2012
  • 사파이어 ($Al_2O_3$)는 높은 밴드갭 에너지 (~19.5 eV)를 가진 물질로서 우수한 내마모성, 강도, 전기 절연성 및 안정한 화학적 특성을 갖고 발광다이오드 기판, 보석재료 등 각종 산업 및 기술적 분야에서 널리 사용되고 있다. 특히, 플립칩 발광다이오드 구조의 경우 광추출효율을 향상시키기 위해 높은 투과도를 갖는 사파이어 기판이 요구되어 왔으며, 지금까지 건식/습식식각방법을 이용한 사파이어 표면에 마이크로 크기의 심한 거칠기 또는 요철이 형성된 나노크기의 격자구조를 형성시키는 연구가 진행되어 오고 있다. 그 중, 나노 크기의 격자구조는 공기에서 반도체 기판까지 선형적인 유효굴절률 분포를 갖기 때문에 표면에서 생기는 Fresnel 반사 손실을 줄일 수 있다. 이러한 구조를 형성하기 위해서는 식각 마스크가 필요한데, 형성 방법으로 레이저 간섭 리소그래피, 전자빔 리소그래피, 나노임프린트 리소그래피 등이 있으나, 비싼 가격과 복잡한 공정 절차 등의 단점을 지니고 있다. 따라서 본 연구에서는 식각 마스크 패턴을 위해, 보다 저렴하고 간단한 실리카 나노구 및 열적응집 금 나노 입자를 이용하였다. 양면 폴리싱 c-plane 사파이어 기판을 사용하였고, 단일 층의 주기적인 실리카 나노구를 기판 표면에 스핀코팅에 의해 도포한 후 유도결합플라즈마 식각 장비를 이용하여 식각하여 주기적인 패턴을 갖는 렌즈모양의 격자구조를 형성하였다. 그리고 주기적으로 형성된 격자 위에 열 증착기를 이용하여 금 박막을 증착한 후 급속열적어닐닝(rapid thermal annealing)을 이용하여 열처리함으로써 비주기적인 금 나노입자를 형성시켰다. 형성된 금 나노패턴을 이용하여 동일한 조건으로 식각함으로써 광대역 및 전방향성 높은 투과도를 갖는 원뿔 모양의 사파이어 나노구조를 제작하였다. 제작된 샘플의 패턴 및 식각 형상은 전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR 분광광도계 (spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정하였다. 렌즈 모양 표면 위에 원뿔모양의 나노구조를 갖는 사파이어 기판은 일반적인 사파이어 기판보다 향상된 투과율 특성을 보였다.

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프로그램 학습성과 향상을 위한 형성평가 중심 캡스톤 디자인 교과목 설계 (A Formative Assessment Based Capstone Design Course for Improving Program Learning Outcomes)

  • 김웅섭
    • 공학교육연구
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    • 제13권1호
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    • pp.62-69
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    • 2010
  • 공학인증에서 사용되는 프로그램 학습성과는 학생들에게 제공되는 교육의 품질을 파악하고 이를 통하여 교육의 개선을 할 수 있는 수단으로 사용되고 있다. 따라서 학습성과를 향상시킬수 있는 방법이 모색되고 있으며 캡스톤 디자인 교과목은 그 특성상 가장 효율적인 향상 방법으로 고려되고 있다. 본 연구에서는 캡스톤 디자인 교과목의 교과목 내용을 개선하여 프로그램의 학습성과를 향상시키기 위한 것으로 이를 위하여 형성평가를 도입하였다. 형성평가를 효율적으로 도입하기 위하여 형성평가의 핵심 요소인 피드백 과정의 구조를 정의하였는데 최적의 효과를 내기 위하여 교사 주도형과 학생 교정형을 혼합한 형식을 사용하였다. 또한 형성평가가 이루어지는 시점인 세부 단원을 정의하기 위하여 소프트웨어 공학을 도입하였으며 여섯 단계의 세부 단계를 통하여 캡스톤 디자인 과목에서의 형성평가가 구현되었다. 각 세부단계에서의 평가 항목과 평가 기준들은 교과목 진행중에 학생들에게 공개되며 본 연구에서 제안한 피드백 과정을 통하여 학생들이 평가기준에 맞는 결과를 내기위하여 학습을 하도록 교과목을 구성, 운영하였다. 실제 2학기동안 실험을 실시해본 결과 형성평가를 도입하지 않았을 때보다 주목할 만한 향상을 보이고 있음을 발견할 수 있었다.

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Rapid Thermal Process를 이용한 실리콘 태양전지의 국부적 후면 전극 최적화 (A study on the formation of local back surface field using Rapid Thermal Process)

  • 배수현;박성은;김영도;박효민;김수민;김성탁;김현호;탁성주;김동환
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.121.1-121.1
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    • 2011
  • 현재 상용화되고 있는 단결정 실리콘 태양전지는 알루미늄 페이스트를 이용하여 후면의 전 영역에 전계를 형성한다. 최근에는 고효율을 얻기 위하여 후면에 패시베이션 효과와 장파장에 대한 반사도를 증가 시키는 SiNx막을 증착 후, 국부적으로 전계를 형성하는 국부 후면 전극(Local back surface field)기술이 연구되고 있다. 본 연구에서는 전면만 텍스쳐 된 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용하였다. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)를 이용하여 전,후면에 SiNx를 증착 하였고 후면의 국부적인 전극 패턴 형성을 위하여 SiNx 식각용 페이스트를 사용한 스크린 프린팅 기술을 이용하였다. 스크린 프린팅을 이용하여 패턴이 형성된 후면에 알루미늄을 인쇄 한 후 Rapid Thermal Process(RTP)를 이용하여 소성 공정 조건을 변화시켰다. 소성 조건 동안 형성되는 후면 전계층은 peak 온도와 승온속도, 냉각 속도에 따라 형상이나 특성이 변화하기 때문에 소성 조건을 변화시키며 국부적 후면 전계 형성의 최적화에 관한 연구를 수행하였다. 패이스트를 이용하여 SiNx를 식각 후 광학 현미경(Optical Microscopy)을 사용하여 SiNx의 식각 유무를 살펴보았고, RTP로 형성된 국부 전계층의 형성 두께, 주변 부분의 형상을 살피기 위해 도핑 영역을 혼합수용액으로 식각하여 주사 전자 현미경(SEM)을 이용하여 관찰 하였다. 또한 후면의 특성을 살펴보기 위해 분광 광도계(UV/VIS/NIR Spectrophotometer)를 사용하여 후면 SiNx층의 유무에 따른 반사도를 비교, 측정 하였다.

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천연 고분자-칼슘 포스페이트 복합 박막 제조 (Preparation of Natural Polymer-CaP Composite Films)

  • 김가은;모만진;이우걸
    • 공업화학
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    • 제16권1호
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    • pp.112-116
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    • 2005
  • 본 연구에서는 생체재료 표면개질의 방법으로 유-무기 박막 형성에 관한 방법을 연구하였다. Collagen의 분해 시 얻어진 gelatin을 polystyrene 배양접시에 2 h 동안 흡착시켜 gelatin 흡착층을 형성하였다. Gelatin 흡착중에 calcium과 phosphorus 과포화 이온용액을 주입하여 calcium phosphate (CaP) 박막을 제조하였다. 박막 형성 초기에 박막의 핵들이 나타나는 것을 관찰하였다. 처리시간에 따라 CaP 박막에 성장하여 배양접시의 바닥표면 전체에 형성된 것을 볼 수 있었다. 형성된 gelatin/CaP 복합 박막의 특징은 3차원 공간에서 다공성이 높은 표면 구조를 형성하였다. Attenuated total reflectance Fourier transform infra-red spectroscopy (ATR-FTIR)을 이용하여 CaP 박막의 화학적 성질을 분석한 결과, 박막 형성 초기에는 무결정 형태의 박막이 형성되고, 시간이 경과됨에 따라 결정성이 약간 증가하지만, 결정성이 낮은 CaP에서 나타나는 흡수피크의 존재 등을 통하여 본 연구에서 제조한 CaP 박막은 poorly crystalline CaP 박막임을 확인하였다.