• Title/Summary/Keyword: 형상 측정기

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Optimization of chemical mechanical polishing for bulk AlN single crystal surface (화학적 기계적 연마 공정을 통한 bulk AlN 단결정의 표면 가공)

  • Lee, Jung Hun;Park, Cheol Woo;Park, Jae Hwa;Kang, Hyo Sang;Kang, Suk Hyun;Lee, Hee Ae;Lee, Joo Hyung;In, Jun Hyeong;Kang, Seung Min;Shim, Kwang Bo
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.28 no.1
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    • pp.51-56
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    • 2018
  • To evaluate surface characteristics of AlN single crystal grown by physical vapor transport (PVT) method, chemical mechanical polishing (CMP) were performed with diamond slurry and $SiO_2$ slurry after mechanical polishing (MP), then the surface morphology and analysis of polishing characteristics of the slurry types were analyzed. To estimate how pH of slurry effects polishing process, pH of $SiO_2$ slurry was controlled, the results from estimating the effect of zeta potential and MRR (material removal rate) were compared in accordance with each pH via zeta potential analyzer. Eventually, surface roughness RMS (0.2 nm) could be derived with atomic force microscope (AFM).

Analysis on Foaming Properties of the PANI added MWNT/PU Films (PANI 첨가 MWNT/PU 필름의 발포특성)

  • Ma, Hye-Young;Choi, La-Hee;Park, Mi-Ra;Kim, Seung-Jin
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2012.03a
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    • pp.63-63
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    • 2012
  • 전자제품 패키지에 요구되는 쿠션성과 정전방전 기능을 갖는 폴리우레탄 발포 필름의 제조기술을 확립하게 되면 IT산업용에 적용 가능한 필름제품이 개발되어 ESD(정전방전, Electrostatic Dissipation) 성능을 발휘하게 됨으로서 정전기 쇼크에 의한 각종 전자제품의 오작동이나 파손 방지가 가능하게 되어 포장재, 자동차 전자제품의 하우징 등으로 사용될 수 있게 된다. 전도성 고분자인 Polyaniline (PANI)은 다른 여러 고분자와 비교하여 볼 때 다른 유형의 전도성 고분자보다 합성하기가 쉽고 높은 전기전도도를 보임은 물론 열적 및 대기 안정성이 우수하며 가격이 저렴한 장점을 가지고 있다. 본연구는 CNT 나노기술을 응용한 IT산업용 적층간지용 ESD PU발포필름의 제조 가공기술 및 상품화 개발을 수행하고자 방수, 투습방수성을 가지는 유연재료인 폴리우레탄(PU)의 1액형 PU와 DMF에 PANI의 함량을 5, 10, 15, 20, 25, 30wt%로 변화시켜 제조한 PANI/DMF 분산용액과 IPA/MWNT 3wt% 분산용액의 혼용비에 변화를 주어 $120^{\circ}C$에서 2분 건조시켜 그라운드 필름을 제조하였다. 그리고 2액형 PU와 IPA/MWNT 3wt% 분산용액과 발포제를 사용하여 발포온도 $150^{\circ}C$에서 5분간 건조시켜 발포필름을 제조하였으며 이들의 전기적 특성과 역학적 특성을 조사하였다. 제조된 필름의 전기전도성은 전기저항측정기 KEITHLEY 8009를 사용하여 부피저항과, 표면저항을 각각 측정하여 확인하였으며, 필름의 마찰 대전압은 E.S.T-7 마찰 대전압 시험기를 이용하여 표면 마찰 대전압을 측정하여 확인하고, 필름의 물리적 특성은 인장시험기를 이용하여 breaking stress, breaking strain을 측정하였다. 필름단면의 CNT 발포특성은 주사전자현미경(SEM)을 사용하여 측정하여 발포특성과 물성과의 연관성을 확인하였다. 그 결과 필름의 전기적 특성은 PANI가 30% 함량일 때 전반적으로 낮은 저항값이 측정되었으며, 마찰대전압을 측정한 결과 대부분의 시료가 0에 가까운 낮은 값을 가졌다. 필름의 물리적 인장특성은 PANI가 10wt%의 함량일 때 가장 높은 절단강도를 가졌으며 분산용액의 혼용비에 따른 경향성은 나타나지 않았다. 필름의 단면형상을 확인하여 발포특성을 분석한 결과 PANI의 함량에 따라 발포 cell의 크기는 뚜렷한 경향성을 보이지 않았으나 30wt%의 PANI/DMF 분산용액 20part(gr)와 3wt% IPA/MWNT 분산용액 40part(gr)로 제조한 시료의 cell이 가장 균일하고 고르게 발포되었으며, 3.90E+06ohm으로 가장 낮은 표면저항 값으로 측정되어 가장 좋은 전기전도성을 가짐을 확인하였다.

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A Study on Rotary Type Embossing Process System for Spacer Tape Production (스페이서 테이프 생산을 위한 회전형 엠보싱 처리 시스템에 대한 연구)

  • Han, Seung-Chul;Kim, Jin-Ho;Lee, Sung-Kyu
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.13 no.6
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    • pp.2458-2464
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    • 2012
  • Recently, component materials for display are being developed into higher value-added industries which can strengthen national industrial competitiveness. However, a system for production of component materials for display is nearly depending on import, and its development level is inadequate. For this reason, localization of the embossing treatment system for production of the spacer tape and system improvement for increasing of productivity are needed. Therefore, in this paper, we propose rotary type embossing process system for spacer tape production for localization of system and increasing productivity. The system consists of unwinding, forming, cleaning, winding and testing parts. The mold of forming part is designed to rotary type. And we designed each part and made a prototype to test its performance. We measured embossing shapes, diameter and distance between each embossing and opposite embossing using three coordinate measuring machine. Also, we measured impurity level and the number of impurity particles of sample through the testing and cleaning part. Additionally, the productivity of spacer tape produced by the prototype is measured.

Evaluation of at Rest Lateral Stress Coefficient Influenced by Particle Condition (입자의 조건에 따른 정지토압계수 평가)

  • Lee, Jung-Hwoon;Lee, Dong-Ryeol;Yun, Tae-Sup;Lee, Jun-Hwan
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.28 no.8
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    • pp.21-29
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    • 2012
  • At-rest lateral stress coefficient that is used for the evaluation of geotechnical structures such as foundations and retaining walls plays a significant role in the analysis and design, as a state variable of in-situ stress condition. In the widely applied Jaky's Ko equation stress condition can be inferred from the internal friction angle obtainable from the laboratory experimentation whereas the eguation mares it challenging to evaluate the influences and criteria of particle characteristics which is essential for the application of friction angles in practices. Thus, this study experimentally explored the behaviors of Ko depending on the relative density, particle shape, and surface roughness effect during a range of loading stages. The Ko values of Jumumjin sand, glass beads, and etched glass beads were measured using a customized Ko device housing strain gauges during loading-unloading-reloading steps, and the effect of dominant factors on Ko is analyzed. Results show that the high Ko prevails for both round and angular specimens with low relative density and the surface roughness has a nominal effect. The angular particles exhibit low Ko for specimens with similar relative density. The characteristics of relevance between Ko and friction angles with varying relative density are also investigated based on the experimental results using empirical correlations and previously reported values.

A study on magnetron source design and characteristics for super high rate deposition (초고속 증착용 마그네트론원 설계 및 특성에 관한 연구)

  • 빈진호;남경훈;한전건
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2001.06a
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    • pp.8-8
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    • 2001
  • 초고속 증착은 짧은 시간에 박막 형성을 가능하게 하므로 window glass 코팅등의 대면적 코팅에 있어서 비용을 절감 시키고, 대량생산을 가능하게 만들기 때문에 관심이 집중되고 있다. 고속증착 공정으로는 high current arc, laser arc, hollow cathode discharge ion plating 그리고 마그네트론 스퍼터링법 등이 있다. 특별히 마그네트론 스퍼터링법은 3m이상의 넓이에 코팅을 할때 두께가 매우 균일하며, 증착율은 evaporation 공정에 비해 경제적, 기능적인 면에서 효율적이다. 그리고 증착된 박막은 매우 조밀하고 좋은 밀착력을 갖고 있으며, 고융점 금속을 포함하여 금속 합금 및 혼합물의 비율을 조정 및 금속 산화물, 질화물, 탄화물 등과 같은 금속의 증착도 stoichiometry를 조정하여 박막을 합성 시키는데 있어서 효과적이다. 이러한 초고속 증착을 만들기 위한 마그네트론 스퍼터링법의 요건은 마그네트론 원이 높은 타켓 power density를 가져야 하며, 타켓에서 효율적으로 플라즈마를 구속하여 스퍼터 되는 이온의 양을 최대화 시킬 수 있어 한다. 따라서 본 실험에서는 초고속 증착을 위해서 직경 50mm 타켓의 UBM magnetron원을 설계 제작하였다. 고밀도의 플라즈마를 형성시키기 위해서, Poisson simulation c code를 이용하여 자기장의 방향, 세기 및 밀도를 측정 하였고, 자기장 측정기(Gauss meter)를 이용하여 실제 자장을 측정 비교 분석하였다. 상기의 data를 바탕으로 여러 형상의 마그네트론원을 설계, 제작하였고. 마그네트론 원의 특성 분석을 위해 I-V 방전 특성을 평가하였고 substrate ion current density와 박막의 증착율을 측정하였다.duty-on 시간의 증가에 따라 $Cr_2N$ 상의 형성이 점점 많아져 80% duty-on 시간 경우에는 거의 CrN과 $Cr_2N$ 상이 공존하는 것으로 나타났다. 또한 duty-on 시간이 증가할수록 회절피크의 세기가 증가하여 결정화가 더 많이 진행되어짐을 알 수 있었다. 마찬가지로 바이어스 펄스이 주파수에 다른 결정성의 변화도 펄스의 주파수가 증가할수록 박막이 결정성이 좋아지고 $Cr_2N$ 상이 쉽게 형성되었다. 증착 진공도에 따른 결정성은 상대적으로 질소의 농도가 높은 낮은 진공도에서는 CrN 상이 주로 형성되었으며, 반대로 높은 진공도에서는 $Cr_2N$ 상이 많이 만들어졌다. 즉 $1.3{\times}10^{-2}Torr$의 증착 진공도에서는 CrN 상만이 보이는 반면 $9.0{\tiems}1-^{-2}Torr$ 진공도에서부터 $Cr_2N$ 상이 형성되기 시작하여 $5.0{\tiems}10^{-2}Torr$ 진공도에서는 두개의 상이 혼재되어 있음을 알 수 있었다. 박막의 내마모성을 조사한 결과 CrN 박막의 마찰 계수는 초기에 급격하게 증가한 후 0.5에서 0.6 사이의 값으로 큰 변화를 보이지 않았으며, $Cr_2N$ 박막도 비슷한 거동을 보였다.차 이, 목적의 차이, 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$

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ANALYSIS OF ER:YAG LASER IRRADIATION ON CUTTING EFFICACY OF ENAMEL AND DENTIN (Er:YAG 레이저의 법랑질 및 상아질의 삭제효과 비교)

  • Hong, Seong-Su;Lee, Sang-Ho;Lee, Chang-Seop;Kim, Su-Gwan
    • Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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    • v.28 no.4
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    • pp.728-734
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    • 2001
  • The purpose of this study was to investigate the effects of Er:YAG laser on cutting of efficacy of enamel and dentin in primary and permanent teeth. We used the enamel and dentin specimens of human teeth which contain the physiologic saline and maintain the pulpal pressure in dentinal tubules. Each specimen was exposed to Er:YAG laser with non-contact mode under different treatment condition of irradiation energy, pulse repetition rate. We investigated the cutting efficacy of Er:YAG laser by Scanning Intensity Microscopy, and obtained following results. 1. Cutting volume of enamel and dentin in primary and permanent teeth were increased by increasing the irradiation energy, pulse repetition rate. 2. Cutting volume of primary teeth was larger than that of permanent teeth. 3. Cutting volume of dentin was larger than that of enamel in primary and permanent teeth. From these results, Er:YAG laser would be more effective in cutting dentin than enamel, and in cutting primary teeth than permanent teeth for clinical application.

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