• 제목/요약/키워드: 한국인 유전체

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전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron $p^+$Poly pMOSFET 제작 및 특성

  • 김천수;이진호;윤창주;최상수;김대용
    • ETRI Journal
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    • 제14권1호
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    • pp.40-51
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    • 1992
  • $0.25{\mu} m$ 급 pMOSFET소자를 구현하기 위해, $P^+$ 폴리실리콘을 적용한 pMOS를 제작하였으며, $p^+$ 폴리실리콘 게이트 소자에서 심각하게 문제가 되고 있는 붕소이온 침투현상을 조사하고 붕소이온 침투가 일어나지 않는 최적열처리온도를 조사하였다. 소자제조 공정중 게이트 공정만 전자선 (EBML300)을 이용하여 직접묘사하고 그 이외의 공정은 stepper(gline) 을 사용하는 Mix & Match 방법을 사용하였다. 또한 붕소이온 침투현상을 억제하기 위한 한가지 예로서, 실리콘산화막과 실리콘질화막을 적층한 ONO(Oxide/Nitride/Oxide) 구조를 게이트 유전체로 적용한 소자를 제작하여 그 가능성을 조사하였다. 그 결과 $850^{\circ}C$의 온도와 $N_2$ 분위기에서 30분동안 열처리 하였을 경우, 붕소이온의 침투현상이 일어나지 않음을 SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer) 분석 및 C-V(Capacitance-Voltage) 측정으로 확인할 수 있었으며 그 이상의 온도에서는 붕소이온이 침투되어 flat band전압(Vfb)을 변화시킴을 알았다. 6nm의 얇은 게이트 산화막 및 $0.1{\mu} m$ 이하의 LDD(Lightly Doped Drain) $p^-$의 얇은 접합을 형성함으로써 소자의 채널길이가 $0.2 {\mu} m$까지 짧은 채널효과가 거의 없는 소자제작이 가능하였으며, 전류구동능력은 $0.26\muA$/$\mu$m(L=0.2$\mu$m, V$_DS$=2.5V)이었고, subthreshold 기울기는 89-85mV/dec.를 얻었다. 붕소이온의 침투현상을 억제하기 위한 한가지 방법으로 ONO 유전체를 소자에 적용한 결과, $900^{\circ}C$에서 30분의 열처리조건에서도 붕소이온 침투현상이 일어나지 않음으로 미루어 , $SiO_2$ 게이트 유전체보다 ONO 게이트 유전체가 boron 침투에 대해서 좋은 장벽 역활을 함을 알았다. ONO 게이트 유전체를 적용한 소자의 경우, subthreshold특성은 84mV/dec로서 좋은 turn on,off 특성을 얻었으나, ONO 게이트 유전체는 막자체의 누설전류와 실리콘과 유전체 계면의 고정전하량인 Qss의 양이 공정조건에 따라 변화가 심해서 문턱전압 조절이 어려워 소자적용시 문제가 된다. 최근 바닥 산화막(bottom oxide) 두께가 최적화된 ONO 게이트 유전체에 대하 연구가 활발히 진행됨을 미루어, 바닥 산화막 최적화가 된다면 더 좋은 결과가 예상된다.

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위상잡음 특성을 고려한 Ku-band 용 전압제어 유전체 공진 발진기 (Ku-band Voltage Control Dielectric Resonator Oscillator considering Phase Noise)

  • 유진혁;권성수;이태호;나극환
    • 한국전자파학회:학술대회논문집
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    • 한국전자파학회 2000년도 종합학술발표회 논문집 Vol.10 No.1
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    • pp.162-166
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    • 2000
  • 본 논문에서는 Ku-band용 전압제어 유전체 공진 발진기를 위상잡음 특성을 고려하여 설계하였다. 유전체의 높은 Q값은 좋은 위상잡음특성에 영향을 주나 전압제어를 위해 바렉터 다이오드의 연결된 튜닝 마이크로스트립라인의 길이에 따라 Q값의 변화하고 이로 인해 위상잡음 특성이 변화하am로 이를 고려하여 최적의 튜닝 마이크로스트립라인 길이를 시뮬레이션 견과를 통해 얻은 후 전압제어 유진체 발진기를 설계 하였다.

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다양한 시간지연을 갖는 유전체 공진기 대역통과 필터의 구현 (Design and Implementation of Dielectric Resonator Bandpass Filters with Various Time-Delay)

  • 최우성;박노준
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제14권11호
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    • pp.2397-2402
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    • 2010
  • 본 논문에서는 800MHz 대역에서 다양한 시간자연 특성을 갖는 유전체 공진기 대역통과 필터를 설계 및 제작하였다. 각각의 경우에 삽입손실은 모두 2dB 이내이었고 ripple은 0.2dB 이내이었으며 반사손실은 20dB 이상의 값을 가지는 우수한 특성을 보였다. 지연시간의 경우에는 각각 6ns, 12ns, 20ns를 구현하였으며 이때 평탄도의 범위는 1ns 이내이었다. 또한 유전체 블록이 2-hole을 갖는 경우에는 2~4ns의 범위를 갖는 것을 확인하였으며 각각의 유전체 필터를 조합하여 다양한 지연시간을 갖는 유전체 공진기 필터를 구현하였다.

새로운 구조의 저 위상잡음 유전체 공진 병렬 궤환 발진기 (The Design of New Phase Noise Dielectric Resonator Parallel Feedback Oscillator)

  • 전광일;박진우
    • 한국통신학회논문지
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    • 제24권7A호
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    • pp.947-954
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    • 1999
  • 본 논문에서는 저렴하고 성능이 우수하면서 간단한 구조를 갖는 새로운 저 위상잡음 유전체 공진 병렬 궤환 발진기가 제안된다. 제안된 유전체 공진 병렬 궤환 발진기는 저잡음 증폭기, 전력증폭기, 전력 감쇠기, 전력 분배기, 그리고 두 개의 마이크로스트립 선로와 결합된 유전체 공진기로 이루어지는 병렬 유전체 공진 궤환 요소로 구성된 궤환 루프 발진기 구조를 가지고 있다. 유전체 공진 병렬 궤환 발진기의 측정된 위상잡음은 캐리어 주파수 10.75 GHz, 오프셋 주파수 1kHz에서 81dBc/Hz 보다 작게 나타났으며, 온도에 따른 주파수 안정도는 주변온도 -4$0^{\circ}C$에서 6$0^{\circ}C$까지 +/- 200kHz를 나타내었다.

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유전체 판과 금속 나노선 사이에 구속된 표면 플라즈몬 모드 (Surface Plasmon Modes Confined in the Gap Between Metal Nanowire and Dielectric Slab)

  • 한철웅;오차환;송석호
    • 한국광학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.269-275
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    • 2011
  • 회절한계 이하의 모드 크기를 가지는 금속-유전체 혼합 광도파로 구조를 제안하고자 한다. 제안된 혼합 광도파로는 금속 나노선이 유전체 평면 위에 놓인 구조로서, 금속선과 유전체 사이에 구속된 파장보다 작은 크기의 표면-플라즈몬 모드의 특성을 기존의 유전체 나노선을 이용하는 구조와 비교 분석하였다. 두 도파로의 모드 크기와 전파 거리는 나노선의 직경이 큰 경우에는 비슷한 경향을 보이나, 직경이 작아짐에 따라 서로 상이한 값을 가진다. 회절 한계보다 100배 이상 작은 모드를 갖는 파장길이의 나노 공진기 구현을 위해서는 제안된 금속 나노선-유전체 광 도파로 구조가 적합함을 보였다.

유전체 구형 도파로 해석에 대한 고찰 (Review of analysis for dielectric rectangual waveguides)

  • 김영태;김병철;이무영
    • 한국통신학회논문지
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    • 제22권12호
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    • pp.2819-2827
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    • 1997
  • 유전체 구형 도파로를 quasi TE모드와 quasi TM모드에 의하여 분석한다. 전기장과 자장의 각 성분을 근사화하지 않고 또한 각 유전체 경계면에서 경계 조건을 만족시키도록 하여 유전체 구형 도파로를 분석했다. 경계 조건을 도입하여 얻어지는 행렬식을 풀어 보면 전자파의 진행 방향인 z방향에 대한 전파 상수를 구할 수 있다. 수치해석에 의하여 유전체 구형 도파로를 분석 할 경우, 종종 발생하여 프로그래밍을 복잡하게 하는 spurious 모드를이 이 분석법에는 나타나지 않았다. 그러므로 이 방법에 의해 구해진 전파 상수 값들은 유전체 구형 도파로 분석에서 많이 사용되는 유한요소법이나 유한차등법 등과 비교하는데 유용하게 사용될 수 있다.

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Pb-free 백색유전체에서 filler함량에 따른 유전체 특성 (Dielectric Characteristics of Different Filler Content in Pb-free White Dielectric Layer)

  • 안용태;최병현;이정민;지미정;김형순
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.36-36
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    • 2007
  • $R_2O_3$(R=Bi, B)-RO(R=Ba, Zn)를 주성분으로 하는 Pb-free유리프리트에 높은 굴절률을 가지고 있는 $TiO_2$ filler를 첨가하여 PDP용 백색유전체를 제조하였다. $TiO_2$ type, 함량에 따른 백색유전체로의 반사율 및 유전 특성을 조사하였다. 백색유전체를 소성한 결과 rutile과 anatase를 중량비로 75:25로 혼합하여 $520^{\circ}C$에서 소성한 경우 밀도 및 수축율의 변화를 거의 나타나지 않았다. 그러나 $TiO_2$함량이 15wt.%를 혼합하여 첨가했을 경우 반사율은 높고 접합특성 또한 우수하였다. 또한, 유전상수는 $TiO_2$첨가량이 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었다.

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유전체 염기서열의 base-composition에 대한 연구 (Study on base-compositions of biological sequence)

  • 정철희;윤경오;최진영;박현석
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2001년도 봄 학술발표논문집 Vol.28 No.1 (A)
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    • pp.757-759
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    • 2001
  • 생물체가 생명을 영위하기 위해 수행하는 모든 기능들에 대한 정보는 각 개체가 가지고 있는 유전체가 들어있다. 그런데 각 생물체마다, 심지어는 한 생물체의 서로 다른 염색체마다 그 전체 염기서열에서의 base-composition은 같지 않고, 또한 이 구성비에는 일정한 특징이 있다. 따라서 이 논문에서는 각 생물체들의 전체 염기서열을 구성하는 염기의 구성비에 대해 조사하고 비교해 보고자 한다.

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Li을 첨가한 $MgTiO_{3}-CaTiO_{3}$계 세라믹 유전체의 마이크로파 유전특성 (Effect of Li Addition on the Microwave Dielectric Properties of $MgTiO_{3}-CaTiO_{3}$ Ceramic Dielectrics)

  • 한진우;김동영;전동석;이상석
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.196-199
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    • 2000
  • 마이크로파용 세라믹 유전체로 사용되는 MgTiO$_3$-CaTiO$_3$계 유전체에 Li을 첨가하여 이때 얻어지는 마이크로파 유전특성과 소결특성에 대하여 알아보았다. 94MgTiO$_3$-6CaTiO$_3$으로 주조성을 고정시키고 여기에 Li$_2$CO$_3$를 Li원자 기준으로 0 ~ 10 mol% 범위 안에서 첨가하여 1200~140$0^{\circ}C$의 온도에서 4시간 소결하였다. Li의 첨가량이 적을 때에는 유전체의 품질계수와 유전상수가 모두 감소하였으나 약 lmol% 이상 되면 다시 증가하였으며, 이후 첨가량이 과도해지면 다시 서서히 감소하는 경향을 볼 수 있었다. 1.0 ~ 3.0 mol%의 첨가량 범위 안에서 Li은 MgTiO$_3$-CaTiO$_3$계 유전체의 품질계수를 증가시켜주는 역할을 하는 것으로 나타났다 1.5mol%의 Li을 첨가하고 1275$^{\circ}C$에서 4시간 소결한 시편에서 유전상수는($\varepsilon$$_{r}$) 20.0, Qf는 78,000 그리고 공진주파수 온도계수($\tau$$_{f}$)는 -1.6ppm/$^{\circ}C$의 결과를 얻을 수 있었다.다.

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시퀀스 유사도에 기반한 유전체 데이터베이스 압축 및 영향 분석 (The Analysis of Genome Database Compaction based on Sequence Similarity)

  • 권선영;이병한;박승현;조정희;윤성로
    • 정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지
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    • 제23권4호
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    • pp.250-255
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    • 2017
  • 유전체 데이터의 급증 및 정밀의료 등 응용 분야 확대에 따라 유전체 데이터베이스의 효율적 관리에 대한 중요성이 커지고 있다. 전통적인 압축 기법을 통해 유전체 데이터를 압축할 경우, 압축효과는 크지만, 압축된 상태에서 데이터베이스를 비교하거나 검색하는 등의 작업이 용이하지 않게 된다. 유전체 데이터 분석에 소요되는 시간은 데이터베이스에 존재하는 시퀀스 수에 비례하며, 중복되거나 유사한 시퀀스가 다수 존재한다는 점에 착안하여, 본 논문에서는 유전체 데이터베이스 상에 존재하는 유사 시퀀스를 제거함으로써 전체 데이터베이스 크기를 줄이는 기법을 제안한다. 실험을 통해 시퀀스 유사도 1% 기준으로도 전체의 약 84% 시퀀스가 제거되며, 약 10배 빠른 분류분석이 가능함을 보인다. 또한 큰 폭의 압축효과에도 불구하고, 범주 다양성 및 분류 분석 등에 미치는 변화가 미미함을 확인함으로써, 시퀀스 유사도 기반의 제안 압축 기법이 유전체 데이터베이스 압축에 효과적인 방법임을 제시한다.