• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.11a
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• pp.132-135
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• 2003

핸드폰에 장착된 반투과형 LCD (Liquid Crystal Display) 패널에서 반사판을 제거하면 투과형 LCD 마스크로 이용할 수 있다. LCD 패널의 광 흡수 실험에서 얻은 스펙트럼을 참고하여 다양한 파장대의 광원으로 리소그래피 하였다. 컴퓨터 이미지 프로그램으로 편집한 그림을 핸드폰 전용 통신 케이블을 통하여 LCD 패널로 전송하여, 다양한 모양의 패턴을 기판위에 전사하는데 성공하였다. 픽셀간의 경계가 현상되어 끊어지는 패턴이 형성되는 LCD 마스크의 단점을 극복하여 연속적인 패턴결과를 얻는데도 성공하였다. 이로부터 프로젝션 리소그래피의 응용에 쉽게 접근할 수 있는 발판이 마련된 것으로 생각된다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.17 no.6
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• pp.11-16
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• 2004

지난 40여년간의 반도체 집적 공정의 발전에 있어서 무어(Moore)의 법칙에 의한 소자의 미세화를 달성하기 위하여, 광리소그래피(optical lithography) 기술은 꾸준히 발전하여 왔으며, 소자의 선폭이 나노스케일인 공정에서 역시, 소자 제조의 핵심기술은 리소그래피 기술을 이용한 회로의 패터닝(patterning) 기술에 달려 있다고 해도 과언이 아니다. 그러나 현재 사용되고 있는 광리소그래피는 사용하는 파장의 길이에 따른 분해능(resolution)의 한계로 인하여, 이러한 나노 스케일의 소자를 제작하기 위해서는 새로운 리소그래피 기술이 필요하다는 것이 일반적으로 인정이되고 있다.(중략)