본 논문은 초고주파 영역에서 개방 단말 동축선을 대신해서 복소 유전율을 측정할 수 있는 MEMS 프로브와 그 응용예로 MEMS 프로브 어레이를 제안한다. MEMS 프로브는 기존의 동축선 프로브와 달리 커넥터와의 연결이 간단하여 일회용으로 프로브를 사용할 수 있다는 점에서 의료용으로 사용할 수 있는 가능성이 있다. 샘플의 유전율 분포를 구하기 위해서 기존의 센서는 반복 접촉을 요구하고 이로 인한 번거로움과 측정 오차를 줄일 목적으로 MEMS 프로브 어레이를 개발 하였다. MEMS 프로브 어레이는 RF 스위치를 사용하여 다수의 측정 포인트를 한번의 센서 접촉으로 측정할 수 있는 새로운 개념의 프로브이다. 1GHz부터 40GHz까지의 광대역에서 0.9% 식염수의 유전율을 측정하여 MEMS 프로브의 성능을 검증하였다.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.13
no.10
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pp.971-981
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2002
An open-ended coaxial probe method has been considered as one of effective tools for measuring electrical properties of its contacted material without shaping and fitting. The measured reflection coefficient at the probe's end is able to convert into the corresponding complex permittivity by employing the improved version of virtual transmission-line model Presented by our lab already. But the error of complex permittivity converted by equivalent model increases as the operating frequency ascends high. The errors of complex permittivity in the open-ended coaxial probe can be yielded compositively by the imperfect contact or probe, manufacture error of probe and complex permittivity error of reference material etc. Therefore it is necessary to limit the problem to identify the error causes in high frequency. In this paper, the errors which are resulted from the measurement of reflection coefficient are removed by using the FDTD(Finite-Difference Time-Domain) method, the error causes are limited the conversion model problem. And the error study of the improved conversion model is performed from several viewpoints. At first, the local minimum of parameter to be calculated by the iteration method in the conversion model is checked. At second, the modeling of the equivalent model is checked in the frequency range. From this study, we know the valid range of the improved conversion model.
In this paper, the sensitivity compensation method for three-dimensional acoustic intensity probe in the higher frequency range has been studied. The measurement error in the higher frequency range is generated from the phase mismatch between microphone's signals of the probe. If the wavelength of sound signal measured is less than those of the distance between microphones of the probe, that is, the higher frequency of the sound signal, the bigger measurement error is generated. In this study, we proposed the compensation methods for one-dimensional acoustic intensity probe with two-microphones, and the efficiency of those methods were investigated by numerical calculation of computer. It was most effective method to compensate the phase mismatch between microphone for the acoustic intensity probe was investigated for the sound estimated. and the efficiency of this method in a three-dimensional probe was investigated for the sound wave travelling in the arbitrary direction by numerical calculation of computer. In this result, the efficiency was proved that, for the measurement error of 1dB or less with the three-dimensional probe of 60mm space, the frequency should be less than 1.2kHz without the error compensation method, but the frequency increased up to 2.8kHz with the error compensation method.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.18
no.9
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pp.2358-2367
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1994
This paper presents techniques for evaluation and compensation of total measuring errors in a commercial CMM. The probe errors as well as the machine geometric errors are assessed from probing of the mechanical artefacts such as shpere, step, and rings. For the error compensation, the integrated volumetric error equations are considered, including the probe error adn the machine geometric error. The error compensation is performed on the absolute scale coordinate system, in order to overcome the redundant degree of freedom in the CMM with multi-axis probe. A interface box and corresponding software driver are developed for data intercepting/correction between the machine controller and machine, thus the volumetric errors can be compensated in real time with minimum interference to the operating software and hardware of a commercial CMM. The developed system applied to a practical CMM installed on the shop floor, and demonstrated its performance.
The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
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v.17
no.1
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pp.79-88
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2018
With the increasing popularity of electronic toll collection system using 5.8 GHz dedicated short-range communications (DSRC) technology, DSRC-based travel-time collection systems have been deployed on major urban and rural arterial routes in Korea. However, since probe sample sizes are frequently insufficient in probe-based systems, the gathered travel times from probe vehicles fluctuate significantly compared to those of the population; as a result, the accuracy of the collected travel times could decrease. To mitigate the fluctuations (also known as biases), smoothing techniques need to be applied. In this study, some smoothing techniques-moving average, the Loess, and Savitzky-Golay filtering-were applied to probe travel times. Resultantly, the error in the smoothed travel times at the lowest sampling plan (5%) decreased as much as 45% compared to those in non-smoothed travel times. The results of this study can be practically applied to probe-based travel-time estimation systems for providing reliable travel times along the travel corridor.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.20
no.3
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pp.945-959
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1996
In this paper, a comprehensive computer model is described which can be used to generate the volumetric error map combining the machine parametric errors and the measurement prove error, for most types of CMMs and axis configurations currently in use.
Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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2000.04a
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pp.709-712
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2000
본 연구는 turbine compressor airfoil의 측정 및 검사 업무에서 edge(leading edge/trailing edge) 부위에서 자주 발생하는 프로브 slip현상으로 인한 측정 오차를 최소화하기 위하여 터빈 압축기의 airfoil 형상 규격에 대하여 살펴보고, 균일 샘플링방법을 이용하여 최소제곱법으로 보상하여 최적의 형상을 구하는 방법을 제시하고자 한다. 국내 기업에서는 airfoil형상의 edge부위를 검사할 때 leading edge부위의 타원 형상과 trailing edge부위의 원 형상을 AutoCAD상에서 임의로 그려서 규격을 검사하고 있다. 따라서 본 연구에서는 edge부위에서 발생하는 측정오차를 최소화하기 위하여 보다 정확하고 체계적인 fitting 방법을 도입함으로써, airfoil의 형상치수에 관한 규격검사 업무의 신뢰성과 효율을 향상시키고자 한다.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.11
no.11
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pp.4121-4128
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2010
A probe card is used in testing semiconductor wafers. It must maintain a precise location tolerance for a fine pitch due to highly densified chips. However, high heat transferred from its lower chuck causes thermal deformations of the probe card. Vertical deformation due to the heat will bring contact problems to the pins in the probe card, while horizontal deformation will cause positional inaccuracies. Therefore, probe cards must be designed with proper materials and structures so that the thermal deformations are within allowable tolerances. In this paper, heat transfer analyses under realistic loading conditions are simulated using ANSYS$^{TM}$ finite element analysis program. Thermal deformations are calculated based on steady-state temperature gradients, and an optimal structure of the probe card is proposed by adjusting a set of relevant design parameters so that the deformations are minimized.
The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
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v.18
no.1
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pp.56-73
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2019
Probe-based systems have been gaining popularity in advanced traveler information systems. However, the high possibility of providing inaccurate travel-time information due to the inherent time-lag phenomenon is still an important issue to be resolved. To mitigate the time-lag problem, different prediction techniques have been applied, but the techniques are generally regarded as less effective for travel times with high variability. For this reason, current 5-min aggregated data have been commonly used for real-time travel-time provision on highways with high travel-time fluctuation. However, the 5-min aggregation interval itself can further increase the time-lags in the real-time travel-time information equivalent to 5 minutes. In this study, a new scheme that uses both individual probe and 5-min aggregated travel times is suggested to provide reliable real-time travel-time information. The scheme utilizes individual probe data under congested conditions and 5-min aggregated data under uncongested conditions, respectively. As a result of an evaluation with field data, the proposed scheme showed the best performance, with a maximum reduction in travel-time error of 18%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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