• Title/Summary/Keyword: 표면압

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Properties of $TiO_2$ thin films deposited by ion-beam assisted reactive magnetron sputtering (이온빔 보조 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 $TiO_2$박막의 특성)

  • 김성화;이재홍;황보창권
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.11 no.3
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    • pp.141-150
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    • 2002
  • Titanium oxide thin films were deposited by DC reactive magnetron sputtering(RMS) with Ar ion-beam assistance using end-Hall ion source at low oxygen partial pressure and long target-to-substrate distance. The optical and structural properties of deposited films were investigated by the measurement of measured transmittance and reflectance, atomic force microscope(AFM), and X-ray diffraction(XRD). The results show that the Ax ion-beam assisted RMS for titanium oxide thin films induces the higher packing density, lower absorption, and smoother surface than the conventional RMS, suggesting that it can be employed in deposition of optical dielectric coatings.

플라즈마 전해산화 공정 중 전해액 내의 인산염 변화에 따른 알루미늄 합금 산화피막의 형성

  • Yun, Sang-Hui;Kim, Seong-Cheol;Seong, Gi-Hun;Gang, Du-Hong;Min, Gwan-Sik;Cha, Deok-Jun;Kim, Jin-Tae;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.298-298
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    • 2013
  • 플라즈마 전해산화기술은 알루미늄 소재에 대해 기존의 양극 산화막, 전해 경질크롬 도금 및 플라즈마 세라믹 용사기술 등에 의해 구현할 수 없는 고기능성을 부여하여 월등히 우수한 경도, 내부식, 내마모, 전기절연, 열저항, 피로강도 등을 얻을 수 있는 획기적인 기술이다. 또한 최근 환경에 대한 관심이 점차 높아지면서 친환경적 공정과정과 경금속 소재의 제품에 내구성을 향상시킬 필요성이 높아지고 있다. 이러한 요구에 부합하는 플라즈마 전해 산화기술은 알칼리 수용액 중에서 Al, Ti, Mg 등의 표면에 산화 피막을 형성시키는 기술로써 기존의 양극산화(Anodizing)을 대체 할 수 있다. 본 연구에서는 Al6061을 이용하여 플라즈마 전해산화 공정에 사용되는 전해액의 종류 및 농도, 시간의 변화에 따른 산화 피막의 변화를 내전압 측정 및 FE-SEM, EDS, XRD를 통해 분석하였다. 전해액에 sodium hexameta phosphate과 potassium phosphate를 이용하여 phosphate 종류의 변화에 따른 피막 특성의 변화를 연구하였다. 그로인해 phosphate의 종류 및 농도, 시간 변화를 이용하여 플라즈마 전해산화공정의 산화 피막 물성 제어를 할 수 있다.

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플라즈마 제트의 혈액 응고 작용과 정량적인 측정 방법에 관한 연구

  • Kim, Yun-Jung;Lee, Won-Yeong;No, Jun-Hyeong;Hyeon, Seong-Bo;Eo, Yun;Park, Jin-Yeong;Lee, Yong-Min;Kim, Hui-Ju;Gwon, Gi-Cheong;Jo, Gwang-Seop
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.514-514
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    • 2013
  • 플라즈마와 혈액의 상호작용 특성을 파악하기 위해 혈액응고 실험을 하였다. 생체에 적용 가능한 바이오 플라즈마 소스를 개발하여 다양한 조건으로 혈액에 플라즈마를 조사하였다. 혈액 응고의 정량적인 측정 방법으로 혈액의 저항을 측정하였다. 본 실험에 사용된 플라즈마 제트 장치는 의료용 바늘과 유리관, 외부 접지로 이루어져 있다. 플라즈마 제트 장치는 고전압 전극이 유리관 안에 위치하고 접지 전극이 유리관 바깥에 위치한다. 의료용 바늘을 통해 Ar gas를 주입하며, 약 2 kV의 전압을 인가하여 방전시켰다. 자연적으로 혈액을 응고시킨 경우, 칼슘 클로라이드를 첨가하여 응고시킨 경우, Ar gas 및 온풍을 단독적으로 불어넣은 경우, 그리고 플라즈마 제트를 조사한 경우로 나누어 실험을 진행하였다. 두개의 떨어진 전극 사이에 일정량의 혈액을 배치시켜 저항을 측정하여 응고 정도를 파악하였다. 플라즈마 제트를 조사하였을 경우 아무것도 처리하지 않은 자연상태의 혈액보다 혈액이 응고되는 속도가 빠르게 나타났다. Ar gas와 온풍을 단독으로 불어넣어 준 경우와 혈액 표면이 응고되었으나, 약 20초가 지나면 다시 원래 상태의 혈액으로 돌아감을 확인하였다. 플라즈마 제트를 혈액에 조사했을 때는 혈액이 이전의 혈액 상태로 돌아가는 경향이 나타나지 않았다.

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A Surface-Bulk Micromachined Electromagnetic Gyroscope Operating at Atmospheric Pressure (표면 및 몸체 미세 가공 기술로 제작된 대기압에서 동작하는 전자력 검출형 각속도계의 연구)

  • Kim, Seong-Hyok;Kim, Yong-Kweon;Song, Jin-Woo;Lee, Jang-Gyu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2000.07c
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    • pp.2230-2232
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    • 2000
  • This paper reports an electrostatically driven and electromagnetically sensed planar vibratory gyroscope based on a surface-bulk combined micromachining. The fabricated structure has comb electrodes which are 400${\mu}m$ thick, 18${\mu}m$ wide, 600${\mu}m$ long and separated by 7${\mu}m$ so that the height-gap ratio is about 57. It also has electroplated gold springs which are 15${\mu}m$ wide, 14${\mu}m$ thick and 500${\mu}m$ long on both sides of the seismic mass. The open-loop characteristics of fabricated gyroscope at atmospheric pressure are measured on a rate table. The fabricated gyroscope has a sensitivity of 30mV/deg/sec, and a resolution of 0.1deg/sec at atmospheric pressure. It is expected that non linearity of full scale output is less than 0.8% with. the dynamic range of $\pm$500deg/sec.

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A study on the Surface Characteristics of Dielectric for Mold Transformer (몰드 변압기에 사용된 절연물의 연면손상 특성에 관한 연구)

  • Kim, N.S.;Bang, Y.K.;Song, W.C.;Lee, K.H.;Park, H.Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.10a
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    • pp.184-185
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    • 2006
  • 환경오염 등으로 최근 자주 발생하는 국지성 집중호우로 인해 건물 중에서 지하 변전실은 가장 먼저 침수가 발생하게 된다. 따라서 본 논문은 지하에 시설된 전기 설비 중 몰드 변압기의 표면이 수분과 같은 불순물에 의해 오염될 경우 절연물에 미치는 영향과 위험성을 알아보기 위한 것으로 건조 시와 수용액 분무 후에 대한 연면손상에 대해 연구하였다. 실험 장치는 고전압 발생장치, 전극, 촬영장치 등으로 구성되었으며, 실험 결과 불꽃의 형상은 건조 시에는 가늘고 강한 빛으로 거의 직선적이고, 수용액 분 후는 산발적으로 광범위하게 나타난다. 방전에 의한 연면손상 특성을 보면 건조 시와 수용액 분무 후 모두 전극 간격이 증가할수록 탄화의 흔적이나 손상의 정도가 감소함을 알 수 있었으며 전반적으로 수용액 분무 후는 건조 시 보다 탄화 및 손상의 정도가 낮은 반면 부위는 광범위한 것으로 나타났다.

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Optimum Mix Design for Waste Newsprint Paper Fiber Reinforced Cement Composites (폐지섬유보강 시멘트 복합체의 최적배합비 도출)

  • 원종필;배동인;박찬기;박종영
    • Journal of the Korea Concrete Institute
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    • v.13 no.4
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    • pp.346-353
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    • 2001
  • This research investigates the mixture proportioning of waste newsprint paper fiber for thin-cement product. Waste newsprint paper fibers obtained through shredded mechanically by a dry process. Waste newsprint paper fiber reinforced cement composites was manufacted by slurry-dewatering method. The waste newsprint paper fiber reinforcement conditions (fiber mass fraction, level of substitution of virgin fibers, level of fiber beating) and processing variables (pressed, unpressed) are optimized through experimental studies and statistical analyses based on factorial design of experiments and analyses of variance. The optimized recycled waste newsprint paper fiber reinforced cement composites were technically evaluated. The results are shown to possess acceptable properties and strong potentials of the recycling of waste newsprint paper of the reinforcement of thin-cement products.

Study on Characteristics of coated fabric using nano-particle (나노물질이 코팅된 직물의 기능성 향상에 관한 연구)

  • Kim, Jong-Won;Yoon, Seok-Han;Yeum, Jeong-Hyun;Bae, Eun-A
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.55-55
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    • 2011
  • 국내의 등산용 아웃도어 제품의 경우, 기능성인 투습도와 내수압만을 증대시키려는 연구가 주류를 이루고 있었다. 하지만, 실제 등산용 아웃도어의 경우 산악지형인 고지대에서 사용시간이 많으므로, 이에 따른 장시간의 직접적인 태양광 노출로 인한 인체에 치명적인 영향을 야기시키고 있지만, 인체 보호용 헬스케어 아웃도어 제품에 대한 연구는 미흡한 실정이다. 태양광은 자외선 2.5%, 가시광선 51.5%, 적외선 46.0%의 광량 비율을 가지고 있으며, 이 중 자외선은 광량은 적지만 에너지적으로 높아 유기물 분해 및 열화를 일으킨다. 이러한 자외선을 차단하기위해 아웃도어 의류에서는 유무기하이브리드 소재를 표면에 코팅시키게 되며, 기능성 코팅액내에 함유되어 있는 나노분말의 경우 이산화티타늄($TiO_2$), 산화세륨(CeO), 산화아연(ZnO), 삼산화텅스텐($WO_3$), 산화마그네슘(MgO) 등이 주로 사용되어 진다. 본 연구에서는 자외선 흡수소재로 나노산화아연분말을 이용하여, 그 입도 및 코팅용 희석 용매내의 분산성을 확인하고, 함유량을 달리한 코팅 수지를 제조하여, 코팅시편 제조 후 그 특성을 비교/분석하여 자외선 차단 효과를 확인하고자 한다.

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Buckling과 Freehang을 이용한 DLC 필름의 접착에너지 평가

  • 정진원;문명운;이광렬;고대홍
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.127-127
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    • 2000
  • 다이아몬드상 카본(Diamond-like Carbon, DLC) 필름은 비정질 재료로서 다이아몬드와 유사한 높은 경도, 내마모성, 화학적 안정성, 그리고 광학적 특성을 가지고 있으며, 낮은 마찰계수와 높은 탄성률 등으로 인해 많은 분야에서 응용이 연구되고 있는 재료이다. 그러나 DLC 필름이 이러한 우수한 특성이 가지고 있음에도 불구하고 수 GPa에 이르는 높은 압축 잔류 응력으로 인해 응용에 제약을 받고 있다. 이러한 압축 잔류 응력이 상당한 값에 이르게 되면 기판의 구속에서 벗어나게 되어, 기판으로부터 떨어지게 되고 굽힘을 받게 되는 delamination buckling 현상이 일어나기도 한다. 본 연구에서는 높은 잔류 응력으로 인해 자연적으로 발생하는 buckling 현상과 식각 과정을 통해 인위적으로 기판의 제한으로부터 필름을 완화시키는 freehang 방법을 이용하여 필름이 기판에 접착되는데 필요한 에너지를 평가하려고 한다. 본 실험에서는 rf-PACVD 장비를 이용하여 필름을 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -100~700 Vb로 변화를 주었으며, 합성압력은 9mTorr로 고정하였다. 사용한 반응 가스는 메탄(CH4)이고, 아르곤(Ar)을 이용하여 모든 실험에서 동일하게 기판을 전처리 하였다. buckling 현상을 관찰하기 위해 사용된 기판은 slide glass이고, freehang을 제작하기 위해 사용된 기판은 (100) p-type Si wafer 이다. freehang 제작시 사용한 식각 용액은 KOH(5.6mol)이며 외부 요인을 제거하기 위해 7$0^{\circ}C$ 항온조를 사용하였다. Buckling 된 필름과 freehang은 광학 현미경과 전자 주사 현미경에 의해 관찰되었으며, 사인 함수 형태의 곡면을 가지고 있었다. 또한 freehang 제작시 각각의 주기와 진폭을 통해, 필름과 기판사이의 계면에너지와 buckling 되면서 새로 생성된 두 표면에너지 차이를 구할 수 있게 되고, 이를 통해 접착에너지를 평가할 수 있었다.

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진공 부품용 플라즈마 전해산화 피막 제조 및 특성 평가

  • Min, Gwan-Sik;Lee, Seung-Su;Yun, Ju-Yeong;Sin, Yong-Hyeon;Cha, Deok-Jun;Gang, Du-Hong;Seong, Gi-Hun;Kim, Seong-Cheol;O, Eun-Sun;Kim, Jin-Tae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.122.2-122.2
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    • 2013
  • 플라즈마 전해산화(plasma electrolytic oxidation) 기술을 이용하여 제작한 산화 피막은 피막의 하층부(기지 금속과 접해 있는 부분)는 ${\alpha}$-phase의 산화물이 대부분을 이루고 있으며, 기지 금속과의 접착성도 뛰어나다. 하지만 피막의 표면이 거칠고, 다공성을 띄는 특징을 보인다. 본 연구에서는 피막의 거칠기와 다공성을 제어하기 위한 방법으로 전해액에 포함된 불순물(Si, P 등) 조성비의 변화에 초점을 맞췄으며, 불순물(Si, P 등)의 조성비를 변화시켜 가면서 실험을 진행하였다. 실험에는 60 Hz, 35 kW(700 V, 50 A)의 power supply가 사용되었다. 또한, 실험의 결과로 제작된 시편의 내전압(10 V/s), 내플라즈마(200 W, 10 min, Ar 5 sccm, 200 mTorr), 내화학성(HCl 36.46 wt%, 120 min) 테스트를 진행하였으며, 실험 결과를 바탕으로 ${\phi}300$ 대면적 시편의 제작도 완료하였다.

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A Study on Modeling of Pneumatic System for an IDC Device (IDC장치에 대한 공압시스템의 모델링에 관한 연구)

  • Nguyen, C.T.;Le, Q.H.;Jeong, Y.M.;Yang, S.Y.
    • Journal of Drive and Control
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    • v.12 no.3
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    • pp.11-17
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    • 2015
  • An intelligent deburring control (IDC) device is used to control the constant force for a deburring tool mounted on the end-effector of a robotic arm. This device maintains a constant contact force between the deburring tool and the workpiece in order to provide a good deburring performance. In this paper, we build a mathematical model in Matlab/Simulink to estimate the force control mechanism of the pneumatic system for the IDC device. The Simulink blocks are built for each separate part and are linked into an integrated simulation system. Such a model also relies on the effects of the flow rate through the valve, air compressibility in the cylinder, and time delay in the pressure valve. The results of the simulation are compared to a simple experiment in which convenient math modeling is performed. These results are then used to optimize the mechanical design and to develop a force control algorithm for the pneumatic cylinder.