• Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
• /
• 2006.05a
• /
• pp.231-234
• /
• 2006

과거 디스플레이 장치로서 사용되던 CRT를 대신하여, 상대적으로 두께가 않고 가벼운 영상장치인 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)의 사용이 급증하고 있다. 이렇게 평판표시장치(Flat Panel Display) 산업의 폭발적인 성장과 함께 새로운 공정개발을 통해 짧은 시간에 더 많은 양을 생산하고, 불량률을 낮추는가에 생산업체의 사활이 달려있다. 본 논문은 FPD 공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 비중이 큰 박막 두께의 제어를 지능화 알고리즘을 통해 해결하고자 한다. 이는 불필요한 과정을 줄여 공정경비를 절감 및 소요시간을 단축하고, 정밀하게 두께를 측정하는 것을 가능하게 한다. 마지막으로, 제안한 알고리즘을 광 간섭 두께 측정기를 통해 얻은 실제 값을 가지고 시료의 두께를 측정한다.

• Proceedings of the KIPE Conference
• /
• 2017.07a
• /
• pp.501-505
• /
• 2017

반도체에 대한 수요가 늘어남에 따라 반도체 칩 생산을 위한 웨이퍼 공정 및 평판 디스플레이 제조 공정에서 수백~수십 나노 단위 크기의 트랜지스터, 커패시터 등의 회로소자 제조를 요구하고 있다. 이에 따라 반도체 공정의 미세화가 10nm 이하까지 다다랐고 이로 인해 수율과 신뢰성 측면에서 파티클, 금속입자, 잔류이온 등 진공챔버 내부의 오염원 제거 중요성이 점점 증가하고 있다. 이러한 오염원 제거를 위해서 과거에는 진공 챔버를 개방하여 액상물질로 주기적인 세정을 하였으나 2000년대 초반부터 생산성 향상을 위해 진공 상태에서 건식 세정하는 원격 플라즈마 발생장치(Remote Plasma Generator, RPG)를 개발하여 공정에 적용 해 왔다. 건식 세정을 위해서 화학적 반응성이 높은 고밀도의 라디칼이 필요하고 이를 위해 플라즈마를 이용하여 라디칼을 생성한다. RPG는 안테나 형태의 기존 유도 결합 플라즈마 (Inductively Coupled Plasma, ICP) 방식에 자성코어(Ferrite Core)를 추가함으로써 고밀도 플라즈마 생성이 가능하다. 본 세션에서는 이러한 건식세정과 관련된 플라즈마 기술 소개, 플라즈마 발생장치의 종류 및 효과적인 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 발생장치를 소개하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society for Emotion and Sensibility Conference
• /
• 2009.11a
• /
• pp.70-73
• /
• 2009

정보통신의 발달로 다양화되는 정보화 사회의 요구에 따라 디스플레이의 수요는 더욱 증가되고, 디스플레이 또한 다양해지고 있는 실정이다. 날로 소형화되고 있는 정보기기들의 디스플레이는 평판화를 통해 부피가 작고 가벼우며, 현장감과 몰입감의 증진을 위해 고감도의 그래픽을 제공하고 있다. 하지만 실험기기에 대해서는 아직 인터페이스나 디스플레이 GUI 디자인에 대한 관심이 약하고, 전체적인 제품의 외관 디자인에 관심을 보이고 있는 정도다. 이에 본 연구에서는 실험기기와 이의 주사용자인 과학자들의 특성을 고려하여 실험기기 컨트롤러 디스플레이 GUI 디자인에 대한 선호도를 분석해 보았다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2007.02a
• /
• pp.93-93
• /
• 2007

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 2010.05a
• /
• pp.863-864
• /
• 2010

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2006.02a
• /
• pp.140-140
• /
• 2006

• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
• /
• 2001.05a
• /
• pp.105-113
• /
• 2001

• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
• /
• 2001.05a
• /
• pp.44-47
• /
• 2001

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2007.08a
• /
• pp.86-86
• /
• 2007

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
• /
• v.11 no.1
• /
• pp.61-65
• /
• 2011

Recently, LCD (liquid crystal display) industry is needed to goods of high reliability and wide range temperature condition and it is interested in products for extremely cold condition without failure of light-up. In this experiment, we made the LED backlight unit for Automotive-navigation under the extremely cold condition. And for making this backlight unit, we used to eight side emitting type white LEDs with 3W high power LED. We could know that this backlight unit releases to 18,000 nit in 24W power consumption and start up voltage time is under the 1ms in the ambient temperature at -40.