• 제목/요약/키워드: 펨토초 레이저 가공

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세포 포집 소자 제작을 위한 펨토초 레이저 미세 가공

  • 박현애;이준기;최병덕
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.303-303
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    • 2011
  • 최근 세포 포집 소자 제작에 있어 세포의 종류와 크기의 다양성을 고려하여 정확하게 포집하기 위한 고정밀화, 소형화 된 도구 제작 기술 개발이 중요한 현안으로 떠오르고 있다. 본 연구에서는 선행 기술에서의 세포 포집 한계를 극복하기 위한 방안으로 펨토초 레이저 가공을 통한 미세 세포 포집 장치 제작에 관한 실험을 진행하였다. 펨토초 레이저의 짧은 파장의 대역 범위와 전력 특성이 미세 소자 제작을 가능하게 함에 따라 수백, 수천 개의 세포 포집에 있어 보다 안정적이고 신뢰도 높은 포집 장치 구현을 실현시킬 수 있다. 실험에서는 펨토초 레이저의 가공 조건을 가변하며 MEMS 소자에 홀(hole)을 형성시켰다. flatness 200인 Polycarbonate 재질의 기판 위에 CNC공작기계를 사용하여 유로를 제작하고 상부에 젤라틴 코팅 부분 2를 포함한 총 두께 12의 membrane 필름을 부착하였다. 이후 775 nm 파장의 펨토초 레이저를 사용하여 10${\times}$10 개수의 홀을 형성 한 후 홀 주위의 thermal damage와 레이저의 파워에 따른 홀의 형태와 크기 변화를 비교하였다. 실험 결과 membrane 막의 젤라틴 코팅 측면 홀의 평균 직경은 레이저의 파워와 비례하여 증가하였으며, 레이저 파워가 일정한 임계치에 도달하면 특정 시점에서 수렴됨을 확인하였다. 또한 PET 측면의 직경은 서서히 증가하고 빠르게 일정한 값으로 수렴됨을 확인하였다. 본 실험에서는 펨토초 레이저의 특성 파라미터와 레이저의 가공 조건을 수립함으로써 실험에서 사용 된 레이저를 이용한 드릴링 방안을 제시한다.

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펨토초 레이저를 이용한 극미세 가공에의 응용

  • 조성학
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.8-8
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    • 2004
  • 펨토기술은 펨토초영역에서 일어나는 물리화학적 현상을 이용하여 공학적으로 이용하는 학문이다. 펨토초(femtosecond)는 시간의 단위로서 1펨토초는 1000조분의 1초($10^{-15}$)에 해당된다. 일반적으로 사람의 머리카락 두께는 약 100fm 인데 100 펨토초라고 하더라도 빛이 머리카락 두께의 1/2도 진행하지 못하는 극도의 짧은 시간에 불과하다. 이러한 펨토기술은 극초단 레이저의 발달로 가능해졌다. 1960년대 초 레이저 펄스폭을 줄일 수 있는 기술이 개발돼 나노초 시대가 열린 이후 60년대 중반에 펄스폭을 더욱 줄일 수 있는 모든 잠금기술이 개발돼 피코초 시대가 도래했다.(중략)

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치과용 세라믹 보철물 소재 레이저 가공성 평가 (A study on the processing of dental ceramic composites by using laser)

  • 황준호;권성민;이찬우;김현덕;김임선;이규복
    • 대한치과보철학회지
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    • 제57권1호
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    • pp.1-7
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    • 2019
  • 목적: 레이저를 이용한 치과 보철물 세라믹 복합소재 Lava Ultimate와 IPS e.max의 가공성 평가를 하고자 한다. 재료 및 방법: 3M, Lava Ultimate와 Ivoclar vivadent, IPS e.max의 가공성 평가를 위해 $CO_2$ 레이저, 피코초 레이저, 펨토초 레이저를 사용하였으며, 공초첨 현미경을 이용하여 가공 형상을 분석하였다. 결과: 세라믹 복합체의 취성 및 탄화, 균열 등은 소재의 열축적에 영향을 받고 레이저 출력 및 펄스 시간에 의해 제어가 가능함을 알 수 있었다. 결론: $CO_2$ 레이저를 이용하여 세라믹 복합소재 가공 시 미세 균열과 탄화가 즉시 발생하였으며, 피코초 레이저 가공의 경우 미세 균열은 일부 개선되었으나 탄화 현상은 지속적으로 발생되었다. 하지만 펨토초 레이저를 이용한 레이저 가공 시 출력 대비 높은 효율의 가공성을 확인하였으며, 특히 세라믹 레진 복합소재인 Lava Ultimate의 경우 펨토초 레이저를 이용하여 가공 시 가장 우수한 가공성을 보였다.

나노초 및 펨토초 레이저를 이용한 젤라틴의 미세가공 (Processing of gelatin using nanosecond and femtosecond pulsed lasers)

  • 서창호;안대환;김동식
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.1-5
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    • 2012
  • Gelatin is used as a model for soft biological tissues in studying laser interaction with the soft tissues. In this work, we analyze the interaction between gelatin and excimer and Ti:Sapphire femtosecond laser under various conditions, especially by varying the laser, laser fluence and pulse number. The results show that swelling of the surface and ablation depth can be controlled by adjusting the process parameters.

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펨토초레이저를 이용한 금속 재료의 레이저 밀링 가공에 대한 연구 (Study on Laser Milling Process of Metal by Femtosecond Laser)

  • 강필식;박종인
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.10-14
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    • 2014
  • By the specific character of femtosecond laser controlled volume of magnitude of micrometer scale could be ablated without melting phase in SKD11 and SUS304. According to the laser machining parameters various sectional shapes could be engraved on the surface of metals. Typical engraved lines were $10{\mu}m$ wide and deep. Coarse-milled surface was made $10{\mu}m$ lower than the original elevation by a bunch of laser-engraved lines in suitable spacing. The repeated banks with a height of $10{\mu}m$ could be made with the combination of the intact area.

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