$10^{-10}$ Pa 영역에서의 스퍼터 이온펌프와 Non-Evaporable Getter (NEG) 펌프조합의 배기 특성
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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- pp.148-148
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- 2013