• 제목/요약/키워드: 패턴층

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Removal of Polymer residue on Graphene by Plasma treatment

  • 윤혜주;정대성;이건희;심지니;이정오;박종윤
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.375.2-375.2
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    • 2016
  • 그래핀(Graphene)은 원자 한 층 두께의 얇은 특성에 기인하여 우수한 투과도(~97.3%)를 나타내며, 높은 전자 이동도($200,000cm^2V^{-1}s^{-1}$)로 인하여 전기 전도도가 우수한 2차원 전자소재이다. 또한 유연하고 우수한 기계적 물성을 가지고 있어 실제로 다양한 소자에서 활용되고 있다. 그래핀을 이용하여 다양한 소자로 응용하기 위한 과정 중 하나인 포토리소그래피 공정(Photolithography process)은 원하는 패턴을 만들기 위해 제작하고자 하는 기판 위에 포토레지스트(Photoresist)를 코팅하는 과정을 거치게 된다. 하지만 이러한 과정은 소자 제작에 있어서 포토레지스트 잔여물을 남기게 된다. 그래핀 위에 남은 포토레지스트 잔여물은 그래핀의 우수한 전기적 특성을 저하시켜 소자특성에 불이익을 주게 된다. 본 연구에서는 수소 플라즈마를 이용하여 그래핀 위에 남은 중합체(Polymer) 잔여물을 제거한다. 사용한 그래핀은 화학 기상 증착법(Chemical vapor deposition)을 이용하여 성장시켰으며, PMMA(Poly(methyl methacrylate))를 이용하여 이산화규소(silicon dioxide) 기판에 전사하였다. 그래핀의 손상 없이 중합체 잔여물을 제거하기 위해 플라즈마 처리시간을 15초부터 1분까지 늘려가며 연구를 진행하였으며, 플라즈마 처리 시간에 따른 중합체 잔여물의 제거 정도와 그래핀의 보존 여부를 확인하기 위해 라만 분광법(Raman spectroscopy)과 원자간력현미경(Atomic force microscopy)을 사용하였다. 본 연구 결과를 통해 간단한 플라즈마 처리로 보다 나은 특성의 그래핀 소자를 얻게 됨으로써, 향상된 특성을 가진 그래핀 소자로 산업적 응용 가능성을 높일 수 있을 것이라 생각된다.

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주류 선택 유형에 따른 주류 소비 행태에 관한 연구 (A Study on the Liquor Market Segmentation by Patterns of Choosing Liquor)

  • 김영아;김동진;변광인
    • 한국조리학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.232-242
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    • 2010
  • 현대의 점점 다양해지는 소비자의 욕구와 이러한 소비자의 욕구를 충족시키려는 주류산업의 흐름에 따라 새로운 술들이 속속 개발 및 출시되고 있다. 이에 본 연구의 목적은 주류의 선택 유형에 따른 소비자들의 특징을 알아봄으로써 소비자들의 주류 소비 패턴과 성향을 파악하여, 앞으로의 주류 개발 및 시장세분화 마케팅 전략에 기초적 자료가 되고자 하는 것이다. 군집분석을 통하여 주류 선택 시 고려사항을 합리적 선택형, 맛 지향형, 광고 지향형, 주관적 선택형 등의 4가지 유형의 소비자 군집으로 구분하였고, 대응일치분석을 통해 각 군집의 특징을 밝혔다. 합리적 선택유형은 유행에 민감한 젊은 층과 관련이 있고, 50대 이상의 대졸 학력자로 이루어진 맛 지향형은 일주일에 3~4회 술을 마시고 업무적인 이유로 인한 음주량이 많은 유형, 광고 지향형은 대부분 여성인 전업주부로 광고에 민감한 유형, 30대 대학원 이상의 학력, 전문직과 관련성이 높은 주관적 선택형은 주류의 여러 가지 장점과 단점을 골고루 고려하여 음주하는 유형으로 나타났다.

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나노임프린트 방법을 이용한 폴리머 광도파로 열 격자 (Polymeric Arrayed Waveguide Grating Based on Nanoimprint Technique Using a PDMS Stamp)

  • 임정규;이상신;이기동
    • 한국광학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.317-322
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    • 2006
  • 본 논문에서는 폴리머 광도파로 열 격자(arrayed waveguide grating: AWG)를 나노임프린트 방법을 이용하여 제안하고 구현하였다. 빔전파방법을 도입하여 소자를 설계하고 해석하였다. 균일한 접착 및 분리 특성을 갖는 임프린트용 PDMS(polydimethylsiloxane) 스탬프(stamp)를 쿼츠 글래스 물질로 만들어진 마스터 몰드를 이용하여 개발하였다. 이 PDMS 스탬프로 폴리머층을 눌러서 소자 패턴을 형성하고 폴리머를 스핀코팅하여 소자를 완성하였다. 이러한 소자는 식각공정 없이 간단한 스핀코팅과 임프린트 공정만으로 만들어지기 때문에 대량 생산에 적합할 것이다. 제작된 폴리머 AWG 소자의 출력 채널 수는 8개, 채널 간격은 0.8nm, 각 채널의 중심파장은 1543.7nm $\sim$ 1548.3nm 였다. 평균적인 채널 누화와 대역폭은 각각 $\sim$10dB와 0.8nm였다.

형광 미세입자를 이용한 박테리아 군집의 3차원 형상 분석 및 유동성 생물막의 가시화 (Analysis of Three-Dimensional Profile of Bacterial Colony and Visualization of Fluidic Biofilm Using Fluorescent Microbeads)

  • 김경훈;박은정;김중경
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제36권11호
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    • pp.1119-1126
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    • 2012
  • 세균의 집단 행동은 생물막의 형성에 중요한 역할을 하고 있다. 본 연구에서는 대장균(E. coli) 및 고초균(B. subtilis) 군집에서 형성된 유동성 생물막의 유체역학적 특성을 비교하고자 초기에 아가 플레이트 내에서 층을 이루다가 성장하는 군집 표면 위로 자발적으로 분포되는 200 nm의 형광입자를 가시화 하였다. 대장균 군집에서는 유동하지 않는 200 nm 크기의 형광입자를 이용하여 성장하는 세균 군집의 3차원 형상 프로파일을 측정하였다. 고초균 군집의 경계에서 나타나는 와류 패턴은 고초균이 분비하는 계면활성제 내에서 유동하는 형광입자를 추적하여 가시화하였다. 본 연구는 세균의 생리 기능을 조절하는 새로운 물리적인 요소를 밝혀내고 세균의 증식 및 군집 이동에 영향을 미치는 유동성 생물막의 효과를 파악하는 첫걸음이 될 것이다.

최적화기법에 의한 나뭇잎 그물맥 시뮬레이션 (Simulation of Woody Leaf Netted Venation Based on Optimization Technique)

  • 첸레이;리웨이정;장강원;백태현
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권4호
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    • pp.323-329
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    • 2013
  • 본 연구에서는 나뭇잎 그물맥 구조를 시뮬레이션하기 위해 잎 그물맥을 상 하 보강 박막판과 비압축성 유체가 흐르는 중간층 구조로 모델링하여 다중물리 현상으로 간주하고, 위상 최적화법을 다중물리 설계영역에 적용하였다. Mindlin-Reissner 판 모델에 기인한 횡방향 전단잠금 문제를 해결하기 위해 P1 비적합 요소와 선택 감소 적분법을 이용하였다. 다시-스토크스 유체 유동 채널에 대해 최적설계법을 적용하여 유동 시스템의 다중물리 모델을 해석하였으며, 잎의 그물맥 시뮬레이션을 수행하였다. 계산된 최적형상을 잎의 자연 그물 맥 패턴과 비교하였으며 비슷한 형상을 얻었다. 이와 같은 학제간 연구를 통해 나무 잎 그물맥 시스템을 이해할 수 있는 계기가 될 것으로 사료된다.

광역대도시 노동시장의 양극화와 사회적 배제의 형성: 노동시장 변동의 지역성에 대한 이해 (Labor Market Polarization and the Formation of Social Exclusion in the Metropolitan Areas: Understanding the Spatiality of the Labor Market Changes)

  • 이원호
    • 한국경제지리학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.129-142
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    • 2011
  • 본 연구는 우리나라 광역대도시를 대상으로 노동시장의 양극화 패턴을 고찰하고, 양극화의 구조화 과정 속에서 나타나는 지역노동시장의 특성과 역할을 분석하였다. 노동시장의 양극화는 무엇보다도 저임금 일자리의 확대와 근로빈곤층의 양산에 기여함으로써 지역 내 사회적 배제의 심화를 창출하는 중요한 기제로 작용하고 있다. 노동시장 양극화가 갖는 역동성을 이해하는 중요한 수단으로서 지역노동시장에 기초한 공간적인 접근의 중요성이 강조되어야 한다. 본 연구는 우리나라 광역대도시 노동시장의 양극화 요인에 대한 분석결과를 토대로 보다 차별적이고 체계적인 정책적 접근이 필요하다고 주장한다. 노동시장 역동성의 공간적 차별성에 대한 이해는 광역대도시 노동시장 내 빈곤과 사회적 배제의 구조화를 이해하는데 중요한 단초를 제공하기 때문이다.

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경사진 평판에서의 자연대류 열전달 (Natural Convection Heat Transfer on Inclined Plates)

  • 임철규;허정환;정범진
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제35권7호
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    • pp.701-708
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    • 2011
  • 기울어진 평판에서 발생하는 자연대류 열전달현상을 $R_{a_L}$ $1.69{\times}10^{11}$$7.23{\times}10^{12}$에 대하여 실험적으로 연구하였다. 유사성을 이용하여 열전달실험을 물질전달 실험으로 대체하였고 물질전달계로 전기도금계를 사용하였다. 평판의 기울기는 상향수평에서 하향수평까지 $10^{\circ}$씩 변화시켰다. 하향평판에서는 수직 벽면에 대한 자연대류 열전달 상관식에서 g 대신 g $cos{\theta}$로 대체함으로써 열전달계수를 구할 수 있다는 기존의 이론과 일치하는 결과를 얻었다. 상향평판의 경우 경계층이 벽면을 따라 발달되는 경우와 벽면으로부터 박리되는 2가지 영역으로 구분되는데 박리에 따른 열전달 증가를 확인하였다. 아울러 도금패턴을 이용하여 박리지점을 시각화하였고 박리지점에 대한 분석이 수행되었다.

XPS와 SEM을 이용한 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막에 대한 연구 (A Study on the Polysilicon Etch Residue by XPS and SEM)

  • 김태형;이종완;최상준;이창원
    • 한국진공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.169-175
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    • 1998
  • HBr/$Cl_2/He-O_2$ 반응 기체를 이용한 반응성 이온 식각후, 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막을 x-선 광전자 분광법(x-ray photoelectron spectroscopy, XPS)과 전자 현미경 (scanning electron mocroscopy, SEM)을 이용하여 관찰하였다. 그 결과 잔류물은 패턴된 폴 리실리콘의 맨 윗부분에 자존하고 있었으며, 화학 결합 상태는 실리콘 산화물임이 밝혀졌다. 잔류물인 실리콘 산화물의 형성 메카니즘을 규명하기 위하여 원래의 혼합 기체 성분중 한가 지씩의 반응 기체를 제외시켜 가면서 실험하였다. 비록 플라즈마 성질이 다를지라도, 잔류물 은 산소의 존재하에서 잘 형성됨을 알 수 있었는데, 이는 휘발성이 낮은 실리콘-할로겐 화 합물이 산소에 의해 산화됨으로써 형성되는 것으로 이해하게 되었다. 또한 반응성 이온 식 각후 형성된 잔류층은 소자의 전기적 특성과 후처리 공정에 영향을 미치는 것으로 알려져 있어서, 이를 제거하기 위해 습식과 건식 후처리 공정을 도입하여 비교하였다. 그 결과 건식 공정의 경우 기체에 의해 새로운 잔류물이 형성됨을 XPS를 통하여 관찰하였다. 따라서 잔 류물을 제거하고 깨끗한 표면을 얻기 위해서는 습식 공정이 더 적합함을 알았다.

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하이브리드 로켓 모터 연소 중 발생하는 streamwise 와류 특성 (The Patterns of Streamwise Vortex on the Fuel Surface in Hybrid Rocket Combustion)

  • 신경훈;박경수;몬킨우;이창진
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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    • pp.649-652
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    • 2011
  • 산화제 유동 변화를 위한 디스크를 예혼합실에 장착하여, 디스크의 직경과 길이를 변경하며 PMMA/GOx를 이용한 하이브리드 로켓 모터의 지상연소시험을 수행하였다. 디스크에 의해 산화제 유동의 와류유출(vortex shedding)이 발생하여, 연소율과 압력 진동 등의 연소 특성이 변화하였다. 연소실험 후 PMMA를 축방향으로 잘라내어 연소면을 관찰하여, PMMA의 연소면 전체에서 딤플 형태의 패턴이 발견하었다. 이는 연소 과정 중 연소면 근처에서 발생하는 blowing 효과에 의해 변화된 산화제 유동의 경계층 특성에 기인한 것으로 보이며, LES 기법을 이용하여 수행한 수치적 연구 결과와 일치한다. 이는 하이브리드 로켓 모터의 연소불안정 현상을 이해하는데 중요한 자료로 판단된다.

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인공신경망 기법에 근거한 지반물성치의 불확실성을 최소화하기 위한 터널 역해석 사례연구 (A case study on a tunnel back analysis to minimize the uncertainty of ground properties based on artificial neural network)

  • 유광호;송원영
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제14권1호
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    • pp.37-53
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    • 2012
  • 터널 설계 시 사용되는 지반 물성치는 불확실성을 내포한다. 본 연구에서는 최적의 지반물성치를 찾기 위해 터널 계측자료를 활용하여 MATLAB 프로그램의 인공신경망 분석 기능을 이용한 역해석을 수행하였다. 터널 내공변위에 많은 영향을 주는 탄성계수와 측압계수를 변화시켜 총 81개의 학습자료를 구축하였다. 최적의 학습모델을 구축하기 위해 은닉층 수와 노드(node) 수 및 학습율과 관성항을 변화시켜가며 매개변수 연구를 수행하였다. 한편 최적의 학습모델은 평균제곱오차(MSE, Mean Squared Error)와 결정계수($R^2$)를 비교하여 선정되었고, 이를 이용하여 정확한 지층의 탄성계수와 측압계수를 찾았다. 향후 주어진 지반조건에서 최적의 터널 지보패턴을 결정하는 등의 목적으로 본 연구에서 제시된 방법이 적용될 수 있을 것으로 기대된다.