• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.15 no.1
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• pp.47-57
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• 2010

There have been many problems to apply SPC(Statistical Process Control) which is a traditional process control technology to the process of multi-product, small-sized production because a machine in the process manufactures small numbers, but various kinds of products. Therefore, we need the new process control system that can flexibly control the process by setting up the SPEC rules and the KNOWHOW rules. The SPEC rule contains the combination of diverse conditions to specify the characteristics of various products. The KNOWHOW rule is based on engineers' know-how. The study suggests the Rule-base Process Control that can be optimized to the multi-product, small-sized production. It was validated in the process of semiconductor production.

• Proceedings of the Safety Management and Science Conference
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• 2013.04a
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• pp.533-546
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• 2013

이 논문은 미세공정변동에서 극소불량을 감지하는 관리도의 경제적 설계를 개발하기 위한 조사연구이다. 일반적인 관리도의 설계는 통계적 설계와 경제적 설계로 구분할 수 있다. 공정의 변동 원인에 따라 샘플의 간격(h), 샘플의 크기(n), 관리한계선(k) 등의 설계 모수를 최적접근방법으로 결정을 하는 경제적 설계의 모델을 조사하였다. 관리도의 경제적 설계는 공정의 관리이상상태를 효율적으로 감지하여 관리상태로 정상화 시키는 것에 대한 공정의 개선비용과 기대품질비용을 절약 할 수 있는 최적설계 방안이다. 그리고 Shewhart 관리도의 X-bar 통계량으로 극소불량을 검출 하는것에 한계가 있기 때문에 Zp 통계량과 분포를 설계하여 극소불량을 빠르게 감지할 수 있는 Zp 관리도의 설계를 적용하고, 미세공정변동을 정확하게 감지할 수 있는 CUSUM 관리도를 동시에 적용하였다. 따라서, 미세공정변동과 극소불량을 동시에 관리 할 수 있는 Zp-CUSUM 관리도의 통계적 설계 구조를 체계화 하였으며, 기존의 경제적 설계의 모델을 비교 분석하여 새로운 경제적 설계에 대한 모델을 제안하고자 한다.

• Communications for Statistical Applications and Methods
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• v.2 no.1
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• pp.248-254
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• 1995

샘플링 등 전통적인 관리기법이 백만분의 일 단위의 불량에서는 전수검사가 되어버리는 등의 문제점을 해결하기 위해서는 보다 적극적인 예방품질을 확보하지 않은면 안되는 시점에서 검사, 재작업, 스크랩을 절감하려는 SPC 프로그램을 1980년대 후반부터 미국의 반도체업계에서 구체화시키기 시작했다. 아남산업은 1987년부터 고객(주로 미국)의 요구에 따라 SPC를 도입하여 지난 7년간 통계적 기법을 활용한 공정관리를 하고 있는 중이다. 현재 SPC팀은 품질관리실 소속으로 통계적 기법의 현장활용 및 고객 요구사항의 대응을 위한 SPC 전략수립과 SPC 전산화에 대한 업무를 진행하고 있다. 지난 7년간 아남산업(주)의 통계적 기법의 적용현황과 문제점 그리고 향후전망에 대해 기술하고 제조업체의 품질시스템 중 통계적 기법의 활용에 대해 조명해 보기로 하겠다.

• Journal of the Korean Data and Information Science Society
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• v.21 no.4
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• pp.681-688
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• 2010

In statistical process control, the primary method used to monitor the number of nonconformities is the c-chart. The conventional c-chart is based on the assumption that the occurrence of nonconformities in samples is well modeled by a Poisson distribution. When the Poisson assumption is not met, the X-chart is often used as an alternative charting scheme in practice. And EWMA control chart is used when it is desirable to detect out-of-control situations very quickly because of sensitive to a small or gradual drift in the process.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 2005.05a
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• pp.387-392
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• 2005

본 논문에서는 LCD 공정관리에서 SPC 시스템의 주요내용 및 운영방법론을 논하고자 한다. 주요내용으로는 실시간 프로세스 모니터링 방법론, 유의차분석 방법론, 이상데이터의 분석, 공정능력의 분석, 관리도 및 결과의 조회 등을 들 수 있다. 또한, TFT-LCD 공정을 크게 Fab 공정인 TFT 공정, LC 공정 및 Module 공정으로 나누어 각 공정에서의 중요한 특성과 관리방법론을 제시하고자 한다.

• The Korean Journal of Applied Statistics
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• v.11 no.1
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• pp.13-28
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• 1998

Corrent measurement system assessment is crucial in helping improve process or quality. In this article, we would like to apply several methods of measurement system assessment in statistical process control. Specifically, focus is on accuracy, precision (both repeatability and reproducibility included), and stability of the measurement process.

• IE interfaces
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• v.10 no.1
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• pp.109-117
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• 1997

본 논문에선 반도체 공정과 각 공정의 문제점 및 중요점을 살펴본 다음 종합품질경영(TQM)기법의 적용에 대해서 고찰하였다. TQM과 방침관리를 소개하고, 반도체 공장 전체의 관리 입장에서 적용할 수 있게 제안하였다. 또한 각 공정에서 사용할 수 있게 기존의 통계적 품질관리 기법중 관리도와 $6{\delta}$ 기법을 반도체 공정에 맞게 수정하여 제안하였다. 또한 반도체 공정의 특성에 맞추어 모든 관리 기법이 동적으로 변화해야 한다는 관점에서 지속적 개선을 소개하고 적용을 추천하였다.

• Proceedings of the Safety Management and Science Conference
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• 2013.04a
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• pp.581-591
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• 2013

제조공정에서 사용되어 지는 SPC(Statistical Process Control)관리 기법은 가피원인을 탐지하여 변동을 감소시키는 통계적 공정관리 시스템이다. SPC의 대표적인 관리 기법으로는 Shewhart관리도, Cusum관리도, EWMA관리도가 있으며 이러한 관리 기법들은 공정을 보다 안정적으로 관리 할 수 있도록 유지 및 예측하는데 사용 되어 진다. 하지만 제조 공정의 유형에 따라 샘플링 방법, 관리한계선 등을 다양하게 설정하여 보다 효율적인 관리를 모색하고 있다. 공정 형태에 따라 다양한 관리 방법과 분석 결과가 나타난다. 일반적으로 Xbar-R 관리도와 같은 Shewhart 관리도를 사용하지만 Batch 단위의 공정, 연속 공정의 라인에서 사용되기에는 부분적인 한계를 보이고 있다. 본 논문에서는 일반적인 관리도와 공정 변화에 민감하게 반응 할 수 있는 누적합 관리도와 지수가중치이동평균 관리도를 비교해 보고 작은 변동에 대한 탐지 능력이 우수한 지수가중치이동평균 관리도에 대한 연구동향과 사례를 분석하여 제조 공정에 적합한 관리 방법을 모색하고자 한다.

• The Korean Journal of Applied Statistics
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• v.10 no.1
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• pp.29-36
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• 1997

Four statistical packages useful for statistical process control are reviewed. MINITAB, RS, SAS, and SPSS are compared in terms of general capability, control chart, process capability, design of experiment and Taguchi method.

• The Korean Journal of Applied Statistics
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• v.35 no.6
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• pp.725-737
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• 2022

In the standard assumption of statistical process monitoring (SPM) under consideration, the in-control region of the control parameter of quality characteristic consists of a single point. However, if small deviations from the ideal situation may not be of practical importance, the parametric space can consist of three regions: In-control, indifference, and out-of-control. In this paper, we propose two exponentially weighted moving average (EWMA) charting procedures applicable to the situation with three parameter regions, and compare the efficiency of the proposed procedures with the Shewhart chart and the cumulative sum (CUSUM) chart.