마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 $(Bi1-xSbx)_2Te_3 $ 박막의 결정성과 열전특성
(Thermoelectric Properties and Crystallization of $(Bi1-xSbx)_2Te_3 $ Thin Films Prepared by Magenetron Sputtering Process)
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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- pp.62-62
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- 2000