반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수를 측정하기 위한 방법들이 많이 개발되어 왔다. 전자 밀도와 온도는 정전 탐침이나 컷오프 프로브 등을 사용하여 활성종이나 중성종에 비해 상대적으로 쉽게 측정할 수 있고, 활성종과 중성종은 LIF (Laser Induced Fluorescence) 방법, OES (Optical Emission Spectrometry) 방법, 그리고 QMS (Quadrupole Mass Spectrometry) 방법 등을 이용하여 측정할 수 있으나 절대적인 크기를 측정할 수 있는 경우는 제한적인 것으로 알려져 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 측정한 전자 밀도와 전자 온도를 기반으로 하여 고려되는 종들의 밀도를 계산할 수 있는 프로그램도 제작된 바 있다. 개발된 프로그램의 입력 값으로 사용되는 플라즈마 화학반응 데이터베이스는 계산 결과의 정확성과 밀접한 관계가 있으며, 이런 이유로 신뢰성 높은 데이터베이스를 확보하기 위한 연구도 진행되었다. 개발된 프로그램을 이용하여 계산한 플라즈마 변수의 장비 변수에 대한 의존성이 진단 데이터와도 잘 부합하는 것으로 확인되었다.
A design method of Sirocco fan is developed for constructing 3-D impeller and scroll geometries, and for predicting both the aerodynamic performance and the noise characteristics of the designed fan. The aerodynamic blading design of fan is conducted by blade angle, camber line determinations and airfoil thickness distribution, and then the scroll geometry of fan is designed by using logarithmic spiral. The aerodynamic performance of designed fan is predicted by the meanline analysis with flow blockage, slip and pressure loss correlations. Based on the predicted performance data, fan noise is predicted by two models for cutoff frequency and broadband noise sources. The present predictions for the performance and the noise level of actual fans are well agreed with measurement results.
This study aims to analyze the flow characteristics of turbo-fan which is applied to the industrial field. Numerical analysis has been carried out to investigate the pulsation behavior of exhaust air flown out turbo fan by rotating impeller with constant speed. Moving mesh technique is proved as time-accurate solution for the flow inside impeller. As numerical results come within the error range of 1% by comparing with theoretical results, the numerical analysis can be verified. Cutoff angle has large influence on the amplitude of pulsation and the least pulsation of flow can be generated by the cutoff angle of $20^{\circ}$.
농약은 농산물 생산에 있어서 병해충 및 잡초를 방제함으로써 생산성을 높이는데 필수적인 농업자재로 인식하고 있다. 그런데 모든 화학물질이 그러하듯이 농약도 두 가지 양면성을 지니고 있다. 즉, 약효와 독성이다. 일반적으로 농약은 뿌려진 농약의 $0.1\%$이하만이 목표물이라고 할 수 있는 해충 및 잡초, 이병작물에 떨어지고 그 외는 비표적 생물 및 환경매체에 떨어짐으로써 생태계에 영향을 준다고 한다. 약효는 농약으로서 지녀야 하는 당연한 기능이지만 독성은 가능한 줄여야 할 기능이기 때문에 농약회사에서는 약효는 높으면서 사람과 생태계에는 좀 더 안전한 농약을 개발하기 위해 애쓰고 있다. 우리나라는 전세계적으로 볼 때 농약을 비교적 많이 사용하는 나라로 알려져 있으나 경제규모 및 사용량에 비해서 생태계에 대한 농약관리는 앞서가지 못하고 있는 것이 현실이다. 따라서 농약의 생태위해성 평가에 대한 기본적인 이해를 돕기 위해 이번호부터 연재를 통해 생태위해성에 대한 기본개념을 소개함과 동시에 국내외 농약등록제도에서의 생태위해성 의사결정 과정을 비교하고 마지막으로는 국내 농약관리제도에 있어서 생태독성분야의 의사결정에 대하여 개선방안을 제안하고자 한다.
본 시공사례는 목포에 위치한 한국제분 14기 Silo를 연속적 발파해체를 수행한 것이다. 주변현황을 고려하여 붕괴방향은 종방향으로 계획을 수행하였고, 좁은 공간에서 1기 Silo 당 발파 공수가 많아서 발파에 의한 Cut-off 문제, 거동에 관한 문제 및 구조물이 거동 후 파쇄에 대한 문제점이 고려되었다. 이에 14기의 Silo를 2차로 구분하여 발파를 하였다. 1차 A-Section 발파에서는 연결용 도폭선의 Cut-off 인하여 2회 발파를 수행하여 붕괴를 시키고, 이를 개선하여 2차 B-Section 발파 때에는 한 번에 원하는 방향으로 안전하게 시공한 사례이다.
In off-line phase of the preliminary Cut-off indoor positioning scheme, which is one of the indoor positioning scheme using the fingerprint, relative ranks of peak RSSIs received from beacons at each reference point are stored in the fingerprint map. In some reference points, signals of multiple beacons may be received. In this case, the relative ranks may be different when constructing fingerprint and when receiving signals in real-time. To solve this problem, we propose a method to utilize only up to five beacons with high ranking when constructing a fingerprint and when receiving signals in real-time and comparing them with stored information of a fingerprint. Experiments were conducted on the estimation probabilities and the average error when using this method. Those are compared with the previous methods. Experimental results show that the estimation probabilities and the average error are improved by removing only the remaining five beacons at each reference point of the fingerprint.
반도체 및 디스플레이 등과 같은 전자산업분야에 플라즈마를 이용한 생산공정이 폭넓게 활용됨에 따라서 공정 결과를 예측하고 조절할 수 있는 플라즈마 변수 측정 및 진단기술의 중요성은 더욱 증가되고 있다. 플라즈마 진단을 위해 가장 많이 사용되고 있는 량뮤어 탐침(Langmuir Probe)은 수십 볼트(V)의 전압을 탐침에 인가하여 들어오는 전류(I)를 측정한 I-V curve의 해석을 바탕으로 플라즈마 변수들(전자밀도, 전자온도, 플라즈마 전위, ${\cdots}$)을 측정하는 방법으로 탐침에 인가한 전압으로 인하여 플라즈마가 영향을 받고 이로인하여 공정 결과에 변화를 줄 수 있다. 또한, 증착공정과 같이 공정과정 중에 탐침의 증착으로 인해 탐침으로 들어와야하는 전자 및 이온의 양이 감소하여 측정에 오차가 발생할 수 있어 공정 플라즈마 진단에 적합하지 않다. 따라서 공정 플라즈마의 정확한 측정을 위해서는 플라즈마에 대한 영향을 최소화하고 증착으로 인하여 탐침이 오염 되는 환경에서도 플라즈마 변수를 정확히 측정할 수 있는 진단 장치가 요구된다. 마이크로웨이브를 이용한 진단장치들은 1 mW 이하의 매우 작은 파워를 사용하기 때문에 플라즈마에 영향을 최소화하여 보다 정확한 플라즈마 진단이 가능하다. 또, 유전체 투과특성이 있는 마이크로웨이브를 이용하기 때문에 탐침이 유전체로 증착되었다 하더라도 측정에는 문제가 없어 공정 플라즈마 진단에 용이하다. 이런 장점들로 인하여 헤어핀 탐침(Hairpin probe), 컷오프 탐침(cutoff probe), 임피던스 탐침(Impedance probe) 등과 같이 마이크로웨이브를 이용하여 다양한 형태의 진단 장치들이 개발되었다. 본 발표에서는 마이크로웨이브를 이용한 다양한 형태의 진단 장치들을 소개하고 각각이 가지는 장단점을 정리하여 각 진단장치들이 측정이 적합한 영역을 소개할 예정이다.
In this paper, study on the mode characteristics analysis of the SH-EMAT (shear horizontal, electromagnetic acoustic transducer) waves for evaluating the thickness reduction in plates such as corrosion and friction is presented. Noncontact methods for ultrasonic wave generation and detection have been a great concern and highly demanded due to their capability of wave generation and reception on surface of high temperature or on rough surface. Mode identification of the SH-EMAT wave is carried out in an aluminum plate with thinning defects using time frequency analysis method such as wavelet transform, compared with theoretically calculated group velocity dispersion curve. The changes of various wave features such as the amplitude and the time-of-flight have been observed and the correlations with the thickness reduction have been investigated. Firstly, experiments have been conducted to confirm that it is possible to selectively generate and receive specific desired SH modes. These modes have then been analyzed to select the parameters that are sensitive to the thickness change. The results show that the mode cutoff and the time-of-flight changes are feasible as key parameters to evaluate the thickness reduction.
We have previously proposed a preliminary cut-off indoor positioning scheme considering the reference point with the same signal similarity. This scheme estimates the position using the relative rank of the peak of received signal strength from the beacons around user. However, this scheme has a weak point with lower accuracy when there are more than one nearest reference points having the same signal similarity. In order to tackle this, we propose a weighted preliminary cut-off indoor positioning scheme. Firstly, if the above problem occurs, the similarity to the peak of signal strength is considered as well as the relative rank. Next, weights are assigned to the nearest reference points using the similarity to the peak of the received signal strength. Finally, the user's position is estimated by applying the weights. As a result, the weighted preliminary cut-off scheme improves the positioning accuracy by about 7.9% compared to the previous scheme.
본 연구에서는 리튬이온전지의 방전특성에 따른 열발생 속도를 계산하여 전지의 특성을 평가하였다. 이를 위하여 Butler-Volmer 식을 지배방정식으로 하여, 유사 2차원 모델링을 적용하고, 편미분 연산자인 FEMLAB을 이용하여 전산모사를 수행하였다. 전류밀도를 5 $A/m^2$에서 25 $A/m^2$까지 증가시켜 계산을 수행한 결과, 전류밀도가 증가함에 따라 전극표면에서 고체상 리튬의 소모량이 증가되는 것으로 나타났다. 이로 인한 확산제한의 발생시점이 단축되었으며, 동시에 리튬이온전지의 내부 전위가 컷오프 전위에 도달하는 시점에서 열발생 속도가 급격하게 증가되는 현상을 보여주었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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