• 제목/요약/키워드: 커플링구조

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Electrical characteristics of high-k stack layered tunnel barriers with Post-Rapid thermal Annealing (PRA) for nonvolatile memory application

  • 황영현;유희욱;손정우;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.186-186
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    • 2010
  • 소자의 축소화에 따라 floating gate 형의 flash 메모리 소자는 얇은 게이트 절연막 등의 이유로, 이웃 셀 간의 커플링 및 게이트 누설 전류와 같은 문제점을 지니고 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해 charge trap flash 메모리 (CTF) 소자가 연구되고 있지만, CTF 메모리 소자는 쓰기/지우기 속도와 데이터 보존 성능간의 trade-off 관계와 같은 문제점을 지니고 있다. 최근, 이를 극복하기 위한 방안으로, 다른 유전율을 갖는 유전체들을 적층시킨 터널 절연막을 이용한 Tunnel Barrier Engineered (TBE) 기술이 주목 받고 있다. 따라서, 본 논문에서는 TBE 기술을 적용한 MIS-capacitor를 높은 유전율을 가지는 Al2O3와 HfO2를 이용하여 제작하였다. 이를 위해 먼저 Si 기판 위에 Al2O3 /HfO2 /Al2O3 (AHA)를 Atomic Layer Deposition (ALD) 방법으로 약 2/1/3 nm의 두께를 가지도록 증착 하였고, Aluminum을 150 nm 증착 하여 게이트 전극으로 이용하였다. Capacitance-Voltage와 Current-Voltage 특성을 측정, 분석함으로써, AHA 구조를 가지는 터널 절연막의 전기적인 특성을 확인 하였다. 또한, high-k 물질을 이용한 터널 절연막을 급속 열처리 공정 (Rapid Thermal Annealing-RTA) 과 H2/N2분위기에서 후속열처리 공정 (Post-RTA)을 통하여 전기적인 특성을 개선 시켰다. 적층된 터널 절연막은 열처리를 통해 터널링 전류의 민감도의 향상과 함께 누설전류가 감소됨으로서 우수한 전기적인 특성이 나타남을 확인하였으며, 적층된 터널 절연막 구조와 적절한 열처리를 이용하여 빠른 쓰기/지우기 속도와 전기적인 특성이 향상된 비휘발성 메모리 소자를 기대할 수 있다.

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SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리 소자의 셀 간 간섭효과 감소

  • 김경원;김현우;유주형;김태환;이근우
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.125-125
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    • 2011
  • Silicon-oxide-silicon nitride-oxide silicon (SONOS) 구조를 가진 플래쉬 메모리 소자는 기존의 floating gate (FG)를 이용한 플래쉬 메모리 소자에 비해 구동 전압이 낮고, 공정 과정이 간단할 뿐만 아니라 비례 축소가 용이하다는 장점 때문에 차세대 플래쉬 메모리 소자로 많은 연구가 진행되고 있다. SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리에서 소자의 셀 사이즈가 감소함에 따라 발생하는 인접한 셀 간의 간섭 현상에 대한 연구가 소자의 성능 향상에 필요하다. 본 연구에서는 SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리에서 소자의 셀 사이즈가 작아짐에 따라 발생하는 인접한 셀 간의 간섭 현상에 대해 recess field 의 깊이에 따른 변화를 조사하였다. 게이트의 길이가 30nm 이하인 SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리 소자의 구조에서 recess field의 깊이의 변화에 따른 소자의 전기적 특성을 삼차원 시뮬레이션 툴인 sentaurus를 사용하여 계산하였다. 커플링 효과를 확인하기 위해 선택한 셀의 문턱전압이 주변 셀들의 프로그램 상태에 미치는 영향을 관찰하였다. 본 연구에서는 SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리에서 셀 사이에 recess field 를 삽입함으로 인접 셀 간 발생하는 간섭현상의 크기를 줄일 수 있음을 시뮬레이션 결과를 통하여 확인하였다. 시뮬레이션 결과는 recess field 깊이가 증가함에 따라 인접 셀 간 발생하는 간섭현상의 크기가 감소한 반면에 subthreshold leakage current가 같이 증가함을 보여주었다. SONOS 구조를 가진 플래쉬 메모리 소자의 성능향상을 위하여 recess field의 깊이를 최적화 할 필요가 있다.

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동차선형요소를 사용한 다공질 매체의 커플링 유한요소해석 (Finite element method for porous media using equal order element)

  • 박대효;탁문호
    • 한국전산구조공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산구조공학회 2008년도 정기 학술대회
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    • pp.20-25
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    • 2008
  • The finite element analysis for porous media is severe job because constituents have different physical peoperties, and element's continuity and stability should be considered. Thus, we propose the new mixed finite element method in order to overcome the problems. In this method, multi time step, remeshing step, and sub iteration step are introduced. The multi time step and remeshing step make it possible to satisfy a stability and an accuracy during sub iteration in which global time is determined. Finally, the proposed method is compared with the ABAQUS(2007) software and exact solution(Schiffman 1967) through two dimensional consolidation model.

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넓은 좌우 허용편차와 감소된 전자기장(EMF) 방출 특성을 가지는 도로급전 전기자동차용 급·집전 시스템 (Inductive Power Transfer with Large Tolerance and Low Electromagnetic Fields for Roadway Powered Electric Vehicles)

  • 정석용;장기찬;곽형걸;임춘택
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2016년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.26-27
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    • 2016
  • 본 논문에서는 도로 급전 전기 자동차(RPEVs, Roadway Powered Electric Vehicles)의 좌우 허용편차를 증가시키기 위한 급 집전 코일 구조를 제안하였다. 급전 코일의 폭을 집전 코일 폭보다 좁게 비대칭 구조로 설계를 하여 넓은 좌우 허용편차를 달성하였으며 EMF(Electromagnetic Fields) 문제를 동시에 해결하였다. 급전 코일은 3cm의 좁은 폭을 가지는 S형 모듈을 사용하여 좌우허용편차를 최대 30cm까지 증가시켰으며, 집전 코일에는 디커플링 기술을 적용하여 좌우 허용편차를 기존 24cm에서 46cm로 약 두 배 향상시켰다.

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마이크로스트립 라인 가변 위상 천이기 (Microstrip line tunable phase shifter)

  • 채동규;;윤기완;박재영;고영준
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 춘계종합학술대회
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    • pp.215-218
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    • 2002
  • 본 논문에서 마이크로스트립 라인을 사용한 가변 위상 천이기를 제안한다. 인가 전압의 변화에 따라 강유전체의 상대 유전율이 변하는 특성을 이용하여 tunable 특성을 얻었고. 구조는 Au/BSTO/MgO/Au로 설계하였다. 제한 된 면적에서 특정 주파수에서의 위상 편이를 증가시키기 위여 여러 개의 커플링을 연결한 구조를 이용하였고. 금속 도체의 선폭을 줄여 손실을 줄였다.

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터빈발전기의 고정자권선 진단을 위한 새로운 부분방전 센서설계 (Novel PD Sensor Design for Stator Winding Diagnosis of Turbine Generators)

  • 이상화;황돈하;강동식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.2042-2043
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    • 2007
  • 고압회전기의 운전중 부분방전을 효과적으로 측정하고 진단하기위해 고정자 권선과 슬롯사이에 취부 되는 방향성 결합기형태의 부분방전센서가 일부 사용되고 있다. 기존 결합기형 센서는 마이크로스트립 등의 전송선로 타입으로, 센서 출력 단자의 효과적인 매칭을 목표로 설계되었으나, 센싱도체의 폭이 좁아 권선으로부터 효과적인 커플링이 힘들다. 본 논문에서는 고정자 권선 및 슬롯 구조의 전계분포 계산결과를 바탕으로 부분방전 신호 측정에 효과적인 형태의 센서를 설계하였다. 제작된 센서를 실제와 동일한 고정자 권선 및 슬롯 구조에서 타 센서와 비교하여 성능을 시험한 결과, 기존 마이크로스트립타입의 센서와 상용센서에 비해 좋은 감도를 가지는 것으로 나타났다.

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평행사변형 구조를 갖는 매니퓰레이터 동역학의 선형화 및 단순화 설계 (A Design of Linearized and Simplited Arm Dynamics for the Manipulator with a Paralled Drive Mechanism)

  • 최진태;이병룡;정규원
    • 대한기계학회논문집
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    • 제13권5호
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    • pp.855-861
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    • 1989
  • 본 연구에서는 평행 사변형 구조를 갖는 매니퓰레이터의 운동에너지와 포텐셜 에너지를 구하고, 운동 에너지 식에서 매니퓰레이터 관성 모멘트 행렬 (manipulator inertia matrix)를 구한다.

구조물의 효율적인 해석을 위한 모델 축소기법 연구 (A Study on Model Reduction for Effective Analysis of Structure)

  • 박영창;황재혁;오화석
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2001년도 추계학술대회논문집 II
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    • pp.1370-1375
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    • 2001
  • Substructure coupling or component mode synthesis may be employed in the solution of dynamic problems for structure. The model is partitioned into several subdomains. and a generalized Craig-Bampton representation is derived. In this paper the mode sets(normal modes. constraint modes) have been employed for model reduction. A generalized model reduction procedure has been described. Those reduction methods which adapt constraint modes have been described in detail. As examples. a flexible structure and a 10 DOF damped system are analyzed. Comparison with a conventional reduction method based on a complete model has been made via eigenpairs and dynamic responses.

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LTCC 기술을 이용한 Ka-밴드 대역통과필터 설계 (Design of a Ka-band Bandpass Filter Using LTCC Technology)

  • 최병건;박철순
    • 한국통신학회논문지
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    • 제29권2A호
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    • pp.214-217
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    • 2004
  • 본 논문에서는 최초로 저온동시소성세라믹(low temperature co-fired ceramic, LTCC) 기술을 이용하여, Ka-밴드 대역의 협대역 대역통과필터를 설계 및 제작하였다. 높은 집적도 및 수직적층능력과 같은 LTCC 기술의 장점을 활용하여, 3차원 구조를 가지는 종단 커플링 마이크로스트립 형태의 대역통과필터를 설계하였다. 종단 커플링 공진기를 평면상에서 구성할 경우, LTCC 공정의 설계규격 중 도선의 선폭 및 선간 간격의 공정 한계로 인해 인접한 두 공진기 사이의 간격이 제한되어지는데, 이러한 문제는 인접한 두 개의 공진기를 LTCC 기판의 서로 다른 층에 위치시킴으로서 극복할 수 있었다. 제작된 대역통과필터는 중심주파수가 28.7 ㎓ 이며, 이때 삽입손실은 3 dB 이다. 최소 삽입손실이 나타나는 주파수로부터 3 dB 의 손실을 가지는 통과대역은 27.9 ㎓ 에서 29.2 ㎓ 범위이며, 대역폭비율이 4.5 % 로서 고주파에서 높은 협대역 특성을 가진다. 그리고, 반사손실은 통과대역에서 10 dB이하를 나타내었다.

중파방송 송신소 내 eLoran용 송신 안테나 동일 장소 배치 및 분석 (Co-Location and Analysis of an eLoran Transmitting Antenna in an MF Transmitting Site)

  • 김기남;목하균;구한이;남상욱
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제27권12호
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    • pp.1053-1058
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    • 2016
  • 본 논문에서는 중파방송 송신소 내 중파송신 안테나와 동일 장소에 배치(Co-location)된 eLoran 송신 안테나의 모델을 제시하고, 이를 분석하였다. 먼저 eLoran 송신 안테나의 적합한 구조로 가장 일반적인 형태인 우산형 상부장하소자(TLE: Top-loading wire)가 연결된 모노폴 안테나를 적용하였다. 설계된 eLoran용 송신 안테나를 중파송신 안테나와 동일 장소 내 배치 유무에 따른 방사패턴과 반사손실을 비교하여 서로 일치함을 보였다. 또한, 동일 장소 배치에 따른 송신회로의 영향을 확인하기 위해 eLoran 및 중파송신 안테나 매칭회로를 모두 포함한 커플링을 분석하였다. 그 결과, eLoran 중심주파수인 100 kHz에서 -53.3 dB, 중파송신 안테나의 동작주파수인 1,053 kHz에서 -64.8 dB로 커플링에 의한 영향은 미미함을 확인하여 설계 타당성을 보였다.