• Title/Summary/Keyword: 측정 정밀도

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광위상 간섭을 이용한 기계 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상

  • 이형석;김승우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1993.04b
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    • pp.204-207
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    • 1993
  • 현대는 급속히 발전하는 공업을 바탕으로 생산품의 고기능화, 고정도화, 고속화를 추구하고있다. 그중에서도 고정도화에 대항 요구는 초정밀 가공 분야의 경우 2000년대 초에는 수 nm 수준까지 도달할 것으로 예측된다. 현재 각 선진국에서는, 초정밀도의 형상 정밀도를 요구하는 대형 광학 부품들의 가공에대한 연구가 진행중이며, 이와 같은 연구에서 요구되는 가공 정밀도가 조만간 가공기의 강성한계에 도달할 것이다. 이와함께 초정밀 가공에 있어서, 이송 테이블의 운동오차는 심각한 문제로 대두되고 있으므로, 테이블의 운동오차의측정 및 실시간 보상에 대한 연구의 의미가 있을 것으로 생각된다. 본 연 구는 기계 이송 테이블의 기하학적 운동오차의 실시간보상(real-time correction)에 관한 것이다.

The Precision Analysis of Long Baseline Measurement by using Broadcast Ephemeris and Precise Ephemeris of GPS Satellites (GPS 위성의 방송력과 정밀력을 이용한 장기선측정 정밀도 분석)

  • Yoo, Hwan-Hee;Pior, Myoung-Young;Fujii, Yoichiro
    • Journal of Korean Society for Geospatial Information Science
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    • v.5 no.2 s.10
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    • pp.153-167
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    • 1997
  • The purpose of this study is to estimate the precision of GPS survey for the long baseline measurement. For this, we performed the simultaneous GPS observations at two points in Korea and nine points in Japan, and analyzed the precision of GPS survey by using broadcast ephemeris and precise ephemeris. As the results, in using precise emepheris and broadcast emepheris for the baseline less than 100km, each precisions are less than 0.1ppm. But the precision of precise emepheris is more improved than that of broadcast ephemeirs in the case of the baseline longer than 100km. That is, in comparing the results of VLBI and GPS survey, the precision is 0.13ppm for broadcast ephelneris and 0.04ppm for precise ephemeris. We expect that in the future this study will be used as the basic data for using broadcast ephemeris and precise ephemeris in GPS survey for the long baseline mearsurment.

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Measuring Allowable Vibration of Vibration-Sensitive Equipment (정밀 장비의 진동 허용치 측정 방법)

  • Yeo, Myeong Hwan;Park, Hae Dong;Jung, Jin Ho;Kim, Kang Boo
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2014.10a
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    • pp.162-166
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    • 2014
  • 정밀 장비의 진동 허용치는 장비의 성능을 저하시키지 않는 외부 진동의 허용 범위를 의미하는 것으로 BBN 기준, NIST 기준 등이 있다. 반도체 및 디스플레이 산업 현장에서 주로 적용되는 BBN 기준을 평가하기 위해 측정시 측정자에 따라 상이한 결과가 발생하기도 한다. 이는 계측기의 설정 및 분석 방법 등 측정 방법의 차이에서 기인하는 것으로 관련된 측정 방법에 대한 가이드가 없기 때문인 것으로 보인다. 본 논문에서는 BBN 기준 평가를 위해 정밀 장비의 진동 허용치를 측정시 분석 방법, 평균화 방법 및 등급 판정 방법에 대한 가이드를 제안한다.

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광산란을 이용한 미소표면결함의 비접촉측정법에 관한 연구

  • 강영준
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1991.04a
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    • pp.113-120
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    • 1991
  • 근년, 정밀가공기술의 진보에 따라 AI 합금이나 동등의 연질금속을 이용한 고출력 Laser용 Mirror, 전자계산용 자기Disc기반, Laser Printer용 PloygonMirror등의 Opto-electronics 부품이 경면(Mirror Surface)절삭가공에 의해서, 또 LSI용 Silicon Wafer의 가공은 연마가공에 의해서 nmRmax의 표면조도로 마무리 가공되고 있다. 본 연구에서는 고출력 Laser용 Mirror, 자기Disc기반, Silicon Wafer와 같은 경면(표면 조도 submicron이하)에 존재하는 미소표면결함을 정량적이며, 고속측정이 가능한 방법인 새로운 측정법을 제안하고, 이 시스템을 생산라인에서 가공과 동시에 검사하는 In-process측정이 가능한 특정 시스템의 개발을 최종목표로 하고 있다.

근사 함수에 기반한 대용량 3차원 모델 복원 알고리즘

  • 조현철;김선정;김창헌
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.307-307
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    • 2004
  • 본 논문에서는 3차원 스캔기기에서 실제 모델을 측정하여 얻어지는 점 데이터로부터 모델의 표면을 생성하는 알고리즘을 제안한다. 3차원 스캔기기가 정밀해지고 스캔 규모도 커짐에 따라 측정 데이터의 크기도 증가되어, 이러한 대용량 측정 데이터의 복원 알고리즘이 필요로 되고 있다. 그리고 여러 다른 각도에서 스캔닝 된 점 데이터들은 이어지는 부분이 정확히 맞지 않아 중첩되어 표현되거나 기계적인 또는 환경적인 제약 등의 이유로 오류가 포함될 수도 있다. 그러므로 복원 알고리즘은 이러한 중첩된 표현을 정리하고 오류를 보정해 주어야 한다.(중략)

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Measurement technique of Magnetic Substance for using Magnetic field (자계를 이용한 배관 내의 자성체 이동량 측정 기술)

  • Kim, Dug-Gun;Kim, Jae-Min;Seo, Kang;Park, Gwan-Soo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.04c
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    • pp.68-70
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    • 2008
  • 본 논문은 전자기원리를 이용하여 배관 내 자성체 이동량을 측정 가능한 자계 인가 시스템을 설계하고자 한다. Single 코일 타입, Helm-Holtz 코일타입, 수직자계, 반도체 소자 이용한 타입의 4가지 형태에 대해 전류 Source, 주파수, 배관 재질을 달리하여 설계 및 해석하였다. 전원이 AC일 경우 주파수가 높을수록, 배관의 도전율이 높을수록 자성체의 측정 정밀도를 감소시키며 DC 전원일 때 수직자계에서 반도체 소자를 이용하여 측정 정밀도를 높인다.

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펄스형 레이저 거리측정기를 위한 거리계산 카운터 개발

  • 유병헌;조성학;장원석;김재구;황경현
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.180-180
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    • 2004
  • 정밀한 계측의 필요성이 높아지면서 레이저는 그 신뢰성과 사용 편의성으로 인해 거리측정에도 높은 활용을 보이고 있다. 레이저 거리측정기(laser range finder, LRF)의 원리는 20ns 미만의 짧은 레이저 펄스를 표적에 발사한 후 반사되어 돌아오는 신호의 시간과 빛의 속도를 곱하여 거리를 계산하는 방식이다. 이러한 반사펄스(pulse-echo techniques)법은 수m-수백만 km까지의 거리측정에 사용되는 방식으로서 정밀하고 빠른 측정이 가능할 뿐 아니라 단지 목표물을 확인하고 측정버튼을 누름으로써 결과를 얻을 수 있는 사용 편의성을 장점으로 한다.(중략)

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회전속도 정밀측정 방식에 관하여

  • 고병준
    • 전기의세계
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    • v.10
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    • pp.29-37
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    • 1963
  • 일반적으로 이 함수의 측정은 원자로내에 Pile Oscillator봉이라고 칭하는 회전체를 넣어 이것에서 sinusoidal한 입력을 가할 수 있게 reactivity driving function을 얻는 것이 가장 중요한 역할을 하고 있는 관계로 이 봉의 회전속도변화(TRIGA MARK-II REACTOR 0.001-100cps, ARGONAUT REACTOR 0.01-20cps)를 매속 정확히 기록할 수 있어야 되는 것이다. 그러나 방사선으로 접근하기 어려운 원자로 근방에 있는 이 회전체의 속도측정은 원거리에서 취하여야 되는 고로 과거 사용하여온 110에서 25,000cpm을 측정할 수 있는 strobotac이나 100rpm에 대하여 2V을 발생시키는 tachometer등으로서는 어려운 문제가 되있는 것이다. 따라서 본연구에서는 이러한 점을 고려하여 binary switching circuit의 비선형적 특성의 해석과 이에 관계된 실험을 토시로한 pulse기술의 이용으로서 정밀도 0.0021에서 0.0043%를 갖는 정밀 회전속도측정기를 만들어 그 원리와 이용가치를 기술하고자 한다.

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A Study on the Approaches of Productivity Analysis for the Earthwork Automation (토공자동화를 위한 작업현장 스캐닝 생산성 분석 방법론 연구)

  • Kim, Seok;Kim, Tae-yeong;Park, Jae-woo
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2016.05a
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    • pp.275-276
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    • 2016
  • 토공 작업현장의 정확한 계측을 위해 3차원 스캐너(Terrestrial Laser Scanner, TLS)의 이용이 점차 확대되고 있으며, 스캐너를 통해 취득한 원지형 디지털 정보를 건설기계 장비 자동화를 위한 기초자료로 활용하는 연구가 이루어지고 있다. 3차원 지형정보를 취득하기 위해서는 현장측정 및 후처리작업이 필요하며, 현장측정과 후처리를 위한 방법 선택에 따라, 측정 정밀도 및 소요시간이 달라진다. 본 연구에서는 최적 스캐닝 플랫폼 구축을 위해 현장측정 및 후처리 방법에 따라 변화하는 정밀도 및 생산성을 계측 분석하는 방법을 제안하였다.

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Measurement of Geometric Errors of an Ultra Precision mMT Using PSDs (PSD를 이용한 초정밀소형공작기계의 기하학적 오차 측정)

  • Kwon, Seol-Ryung;Kweon, Sung-Hwan;Yang, Seung-Han
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.35 no.1
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    • pp.53-58
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    • 2011
  • Ultra-precision miniaturized machine tools essential for manufacturing accurate machine components in micro/meso-scale have been developed. To realize high accuracy using mMTs, geometric errors, which are considered as the main sources of inaccuracy should be identified and compensated. The conventional systems for measuring geometric errors, such as a laser interferometer, can measure only one geometric error in a single setup and they involve complicated measurement procedures. A measurement system using PSDs is a promising alternative but the measurable range of such systems is limited to the active range of the PSDs. The proposed measurement system using PSDs can overcome the limit of small measurable range. Further, the mounting errors that could occur during set-up process can be avoided. In this paper, an algorithm corresponding to the system was analyzed and experiments were carried out.